海南高温无氧烘箱固化半导体晶圆

真空烘箱安装工作

1、真空烘箱查缉配件。

2、将真空烘箱箱体与各附件就位，并调试水准高度差。

3、连署收并管理道及真空系统。周密的抽气机连署见随机附带的抽气机运用文字说明。

4、连署扼制电路。

5、关闭真空烘箱箱门尝试真空功能。

6、设定加热温度，开启加热尝试加热功能。

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买无氧光刻胶固化炉选择YAMATO光刻胶烤箱。海南高温无氧烘箱固化半导体晶圆

DNN630C厌氧高温气氛炉 相关参数及规格（YAMATO）

规格：

内尺寸（宽×深×高mm）：660×500×660

外形尺寸（宽×深×高mm）：1300×1000×1750

内容积：216L

棚板层数/层间距：19层/30mm

排气口：40KF法兰

氮气入口：Rc1/2

冷却水入口：Rc3/4

热水出口：Rc3/4，2个

电源（50/60Hz）额定电流：3相AC380V 19A

重量：约1000kg

选购品：棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯（待机/ 运行/ 故障）、以太网通信功能

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实验室设备高温无氧烘箱使用方法洁净度100级、氧浓度低于20ppm的光刻胶烤箱，主要应用于固化半导体晶圆等。

选购气氛炉考虑哪些方面的特点操作

      1、耐火材料：采用还原性气体，为了不影响砌体的使用寿命，以及不破环正常炉内气氛，要求炉膛砌体采用抗渗碳耐火材料。

     2、自动化程度：密封性要求高，出料操作过程复杂，要求一台炉子多用，大批量生产时，多组成大型联合热处理专项使用或者两用以上的机组，因而要求有较高的机械化，自动化程度。

     3、密封性：为了控制炉内的气氛，维持炉内的压力，炉内工作空间始终要与外界空气隔绝，故要求炉壳，砌体，炉门及所有外界连接零件如风扇，哪些方面的特点操作热电偶，辐射管，推拉料机等采用密封装置。

     4、防爆装置：还原气体和空气混合达到一定混合比，购买设备应考虑在一定温度下易引起爆裂，故对炉子的前，后室，淬火室以及缓冷室等均设有防爆装置，炉子供气和排气的控制系统也要有防爆措施。

在使用烘箱时需要知道的五个知识点  

       现在烘箱很多地方都能用到，但有些地方是不可以用的，用时也有很多注意事项的，下面来列举一下，在使用烘箱时常见的五个知识点，希望对您有所帮助。

  1、可燃性和挥发性的化学物品切勿放入箱内。

  2、如在使用过程中出现异常、气味、烟雾等情况，请立即关闭电源，用户切勿盲目修理，应通知本公司修理部，由专业人员查看修理。

  3、烘箱箱壁内胆和设备表面要经常擦试，以保持清洁，增加玻璃的透明度。请勿用酸、碱或其它腐蚀性溶液来擦试外表面。可选用中性洗涤剂来清洁。

  4、烘箱长期不用，应拨掉电源线以防止设备损伤。并应定期(一般一季度)按使用条件运行2-3天，以驱除电器部分的潮气，避免损坏有关器件。

  5、烘箱箱体顶部为电气控制柜，方便于集中检查维修，维修前请与我司售后联系确认。

*文章为个人观点，不作为技术参考。具体操作请在技术人员指导下进行。 高温充氮烘箱在使用中干燥物品速度非常快，这是一般的烘箱所不能比的。

高温无氧烘箱分为常压高温无氧烘箱和真空高温无氧烘箱两类

      高温无氧烘箱分为常压高温无氧烘箱和真空高温无氧烘箱两类，在真空下操作可降低空间的湿分蒸汽分压而加速干燥过程，且可降低湿分沸点和物料干燥温度，蒸汽不易外泄，所以，真空高温无氧烘箱适用于干燥热敏性、易氧化、易爆和有毒物料以及湿分蒸汽需要回收的场合。 高温无氧烘箱通过加热使物料中的湿分（一般指水分或其他可挥发性液体成分）汽化逸出，以获得规定湿含量的固体物料。 高温无氧烘箱，高质量不锈钢内胆，使用安全。钢板外体，造型大方、新颖。雅玛拓高温无氧烘箱用氩气和氮气的区别

对于正压运转的高温炉，室内气废气阀是另一个应作为备用物品保留的物品。海南高温无氧烘箱固化半导体晶圆

高温无氧烘箱箱体结构

      1、烘箱由箱体部分、电器控制柜部分、电加热及风道系统部分组装而成，结构合理，外观美观大方；

      2、全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘；

      3、箱体材料：外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防止微尘；

      4、内胆材料：1.5厚度 SUS304#不锈钢；

      5、 保温材料：硅酸铝棉，保温层厚度100mm；

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浚和（上海）仪器有限公司是一家供应国内外先进仪器和设备的专业供应商和服务商，致力于为客户提供专业的定制化解决方案。多年来，持续为医药、化工、高校、科研单位、检测院等多个行业提供先进的产品和专业的服务。

浚和在不断引进国内外先进仪器设备的同时，结合行业和市场需求，加强和客户之间的沟通，并与国际上多家**仪器设备制造商保持着长期稳定的合作关系，不定期地与合作商进行技术交流，努力加强自身技术力量。公司配备了数名有着多年行业经验的技术人员，依靠雄厚的技术实力、科学合理的配置方案、专业的安装调试和周到的售后服务，得到了广大用户的支持与信赖。

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