江苏一体化DBC底板贴装机

VDMOS功率器件工艺流程是在功率场效应晶体管(VDMOS)的基础上，在其承受高压的飘移区(N型IGBT的N-层)之下增加一层P+薄层引入了电导调制效应，从而较大程度上提高了器件的电流处理能力。IGBT制造流程主要是包括芯片设计，晶圆制造，封装测试；IGBT芯片的制程正面和标准VDMOS差异不大，背面工艺包括:1) 背面减薄；2) 背面注入；3) 背面清洗；4)背面金属化；5) 背面Alloy；这里介绍下IGBT封装的工艺流程及其设备。首先了解下IGBT模块跟单管主要优势有以下几个。多个IGBT芯片并联，IGBT的电流规格更大。多个IGBT芯片按照特定的电路形式组合，如半桥、全桥等，可以减少外部电路连接的复杂性。多个IGBT芯片处于同一个金属基板上，等于是在单独的散热器与IGBT芯片之间增加了一块均热板，工作更可靠。一个模块内的多个IGBT芯片经过了模块制造商的筛选，其参数一致性比市售分立元件要好。IGBT主要的物料有IGBT芯片，二极管，五金件，键合丝，陶瓷基板，外壳等。江苏一体化DBC底板贴装机

wafer阶段测试。目前wafer阶段测试，大部分晶圆厂或封装厂采用的都是静态测试。但是静态测试的条件比较有限，IGBT只能在低电压大电流或者高电压小电流的条件下工作，对芯片的筛选能力有限。而动态测试条件下，IGBT要在高电压和大电流下开通和关断，对其性能要求更加严苛，筛选标准更严格，若再配合高温短路测试，则筛选能力大幅提高。但是针对wafer的动态测试技术难度很高，实现起来非常困难，且测试设备极其昂贵，也不容易买到。所以wafer阶段的动态参数测试，现阶段不容易实现。天津动态测试真空灌胶自动线一般来说，车规级IGBT需要2年左右的车型导入周期。

IGBT的工作原理，IGBT是将晶体管的特性和开关电路的特性结合在一起，使其成为一种可以控制电流的新型电子元件。IGBT的结构使其可以实现从开启到关断的电流控制，而不会产生过大的漏电流，也不会影响其他电路的工作。IGBT的工作原理是将电路的电流控制分为两个部分：绝缘栅极的电流控制和双极型晶体管的电流控制。当绝缘栅极上的电压变化时，它会影响到晶体管的导通，从而控制电流的流动。当双极型晶体管的电流控制发挥作用时，它会进一步控制电流的流动，从而使IGBT的效率更高。IGBT的主要参数：1、电压限制：IGBT的电压范围一般在600V-6.5kV之间。2、功率限制：IGBT的功率范围一般在1W-15MW之间。3、漏电流：IGBT的漏电流比MOSFET要小得多，一般在1mA-100mA之间。4、损耗：IGBT的损耗一般比MOSFET要低，可以达到1W-15MW之间。5、热效应：IGBT的热效应比MOSFET要小，可以达到20°C-150°C之间。6、反应时间：IGBT的反应时间一般比MOSFET要快，可以达到1ns-50ns之间。

IGBT模块工艺流程简介：（1）检测：使用检测设备对焊接口进行平面和立体成像检测，不合格的产品经人工维修合格后进入下一工序；X射线检测，用来检查IGBT模块内部的焊接效果，有无空洞等缺陷，（2）晶圆键合、一体针上锡：使用键合机利用键合线连接一体针与DBC基板的上铜层、DBC基板与底板，该过程需使用二次焊组装机设备利用焊锡丝进行焊点预上锡。引线键合环节，机器人通过图像识别技术定位，然后使用超声波引线键合技术将芯片与芯片之间的电路自动连接完整。汽车IGBT模块对产品性能和质量的要求要明显高于消费和工控领域。

陶瓷封装，在实际应用中，它已经成为[敏感词]的封装介质，因为它易于组装，易于实现内部连接和低成本。陶瓷可以承受苛刻的外部环境、高温、机械冲击和振动。它是一种坚硬的材料，具有接近硅材料的热膨胀系数值。这类设备的封装可以使用共晶焊接的陶瓷腔体上部有一个密封环，用于与盖板共晶焊接，以获得气密和真空焊接。金层通常需要1.5。μm，但由于工艺处理和高温烘烤，腔体和密封环都需要电镀2.5μ大量的黄金用于保护镍的迁移。镀金可伐盖板可用作气密封焊陶瓷管壳的材料，一般在共晶前进行真空烘烤。IGBT模块动态、静态测试系统是IGBT模块研发和制造过程中重要的测试系统。无功老化测试设备现货直发

IGBT可以用于发电机控制，用于发电机自动控制系统。江苏一体化DBC底板贴装机

IGBT模块承担着电力电子转换的主要任务，随着全球制造业向中国的转移，中国已逐渐成为全球较大的IGBT消费市场。在EV、HEV等产业普及的大力推动下，国内IGBT市场需求快速持续增长，近年来IGBT的国产化进程也明显加速。功率半导体主要被用作半导体开关，分类中被大家所熟知的非IGBT这个主流大佬莫属了，现在火热的电动汽车领域中也有着其身影。IGBT 的优点：1、控制电路简单，安装和使用方便。2、有良好的负载特性，控制输出电压、电流均稳定可靠，开关损耗小。3、比双极型开关管的功率损耗低。4、可以由小的控制信号，控制较大的电流或电压。江苏一体化DBC底板贴装机