压电纳米扫描台

带宽：平台运动的振幅下降3dB的频率范围。它反映了平台可以跟随驱动信号的速度。漂移：位置随时间的变化，包括温度变化和其他环境的影响。漂移可能来自于机械系统和电子设备。摩擦。摩擦被定义为运动过程中接触面之间的阻力。因为他们使用弯曲，所以摩擦可能是恒定的或与速度有关。而Piezoconcept的纳米定位器是无摩擦的。滞后：前向扫描和后向扫描之间的定位误差。闭环控制是这个问题的理想解决方案，通过使用高分辨率硅传感器网络提供反馈信号来完成。正交性误差:两个定义的运动轴的角度偏移，使其相互之间成为正交。它可以被解释为串扰的一部分。阶跃响应时间：阶跃响应时间是纳米定位器从指令值的10%到指令值的90%所需的时间。阶跃响应时间反映了系统的动态特性。压电纳米定位台的工作原理及典型应用。压电纳米扫描台

压电纳米定位台这种高精度的纳米定位工具，可以在纳米级别上实现物体的定位并进行精确的移动。在激光数据存储中，压电纳米定位台可以用于实现激光束的精确定位，以便将数据准确地写入存储介质。具体来说，激光数据存储是一种基于激光技术的高密度数据存储方案，利用激光束在存储介质上形成微小的凹坑和凸起，来表示二进制数据。在这个过程中，压电纳米定位台可以控制激光束的精确位置和移动方向，以确保数据的写入准确无误。激光数据存储需要将激光束的聚焦点大小控制在非常小的范围内，以便实现高密度的信息存储。为了达到这个目的，需要使用高数值孔径的物镜头，并通过多重叠加来增加数值孔径，从而进一步提高聚焦质量。一般来说，物镜头的重量越大，数值孔径就越大，聚焦质量越好，但成本也相应地越高。这就要求压电纳米定位台具有较高的承载能力。此外，压电纳米定位台还可以用于快速读取存储介质上的数据。通过将激光束聚焦在存储介质的特定位置上，并利用压电纳米定位台控制激光束的移动，可以实现快速准确地读取数据。 压电陶瓷精密位移低温真空无磁型压电纳米定位台非常适用于半导体加工、检测等应用。

压电纳米位移台的结构压电纳米定位台具有移动面，是通过带有柔性铰链的机械结构将压电陶瓷产生的位移及出力等进行输出，分直驱与放大两种结构。以压电陶瓷作为驱动源，结合柔性铰链机构实现X轴、Z轴、XY轴、XZ轴、XYZ轴精密运动的压电平台，驱动形式包含压电陶瓷直驱机构式、放大机构式。具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可实现纳米级分辨率及定位精度且具有较高的可靠性，在精密定位领域中发挥着主要作用。

纳米平移台参数运动范围：纳米定位器的极大位移。分辨率：平台可以移动的极小步长。本底噪声：当平移台处于静态指令时，平移台晃动的振幅。它通常用峰值来测量和指定。它是传感器噪声、驱动器电子噪声和指令噪声等的组合。由于我们使用的硅HR传感器的信噪比非常高，所以我们平台的位置噪声非常有限。重复性：用相同的方法，同一试验材料，在相同的条件下获得的一系列结果之间的一致程度。相同的条件是指同一操作者，同一设备，同一实验室和短暂的时间间隔。线性度误差:实际位置和一阶极佳拟合线（直线）之间的误差。我们的纳米定位产品通过激光干涉仪进行校准，非线性误差被补偿到全行程的0.02%。共振频率：压电台是以共振频率为特征的振荡机械系统。我们给出的谐振频率是纳米定位器上可以看到的极低谐振频率。一般来说，系统的谐振频率越高，系统的稳定性就越高，工作带宽就越宽。压电台的谐振频率是由坚固性和质量之比的平方根决定的。 “纳米定位”则是它的功能，它的移动端面可以产生纳米级精度的步进运动。

在传统的磁性硬盘中，读取头需要不断地寻道和定位，通过压电纳米定位台的精细调整可以实现读取头的精确定位和快速寻道，提高数据读取的速度和效率，并且大幅度减少数据读取的误差。压电纳米定位台实现更快的数据读取速度：压电纳米定位台可以实现对光学读写头的微小调节，以达到更高的读写精度。同时，通过压电陶瓷的电场作用，可以快速准确地控制纳米机械部件的位移，从而实现更快的数据读取速度。研究表明，使用压电纳米定位台可以实现高达10TB/squareinch的数据存储密度，这是传统光学存储技术所不能比拟的。下方为芯明天封装压电促动器，它可以产生直线运动，响应速度达毫秒级。 纳米定位平台的工作原理图。压电陶瓷精密位移

根据压电纳米定位台的应用环境，它又分为标准版、低温真空、无磁版本。压电纳米扫描台

压电纳米位移平台同压电微扫平台一样，采用压电陶瓷叠堆直推技术，压电陶瓷叠堆执行器虽然可以有体积紧凑、重量轻集成度高的特点，但是输出位移小。采用位移放大机构实现压电陶瓷叠堆执行器输出位移的放大。压电纳米定位台的工作原理纳米位移台主要采用超精密运动控制技术超精密技术是由光、机、电、控制软件等多领域技术集成的运动控制技术。内部由一个或多个压电陶瓷作为驱动，其产生单轴或者多轴的运动;通过柔性铰链技术将压电陶瓷产生的运动传递和放大;经超精密电容传感器将运动信息传递给控制系统，再由控制系统对该运动进行修正、补偿和控制;在对运动系统进行闭环控制时，可实现纳米、亚纳米级别的运动分辨率和运动控制精度。 压电纳米扫描台