高稳定度纳米电磁定位平台

由压电陶瓷控制器控制的压电纳米定位台用于移动3D干涉仪系统中的干涉物镜或光纤连接器以产生位相移动，分5步位相移动，每移动一步后由CCD摄像头读取干涉条纹。压电纳米定位台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，一体化的结构设计。机构放大式驱动原理，内置高性能压电陶瓷，可实现纳米级位移。具有高刚性、高负载、无摩擦等特点，可适应匹配光纤端面检测的需求。压电纳米定位台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，一体化的结构设计。机构放大式驱动原理，内置高性能压电陶瓷，可实现纳米级位移。具有高刚性、高负载、无摩擦等特点。此外，压电纳米定位台还可用于：光路调整；纳米操控技术；纳米光刻，生物科技；激光干涉；CCD图像处理；纳米测量、显微操作；纳米压印、纳米定位；显微成像、共焦显微。 压电纳米定位台配备有机械固定安装接口与负载安装接口。高稳定度纳米电磁定位平台

双轴压电微扫平台带有一个中孔，用于安装透射镜，是一款面向航天、航空、兵器工业等应用方向产品，采用开环前馈控制，具有结构紧凑、体积小、运动范围大、成本低等特点。主要用于动态稳像领域，在移动平台上，根据陀螺仪反馈回的速度和加速度信息，在拍摄时高速沿移动平台运动方向反向位移，用以平衡运动状态造成的拖影。双轴压电微扫平台由叠堆型压电陶瓷执行器提供驱动力，经过位移放大机构，柔性机构推动透镜进行2X2扫描，由于叠堆型压电陶瓷执行器响应速度快，体积小，出力大刚度高，可以根据控制信号实现毫秒级快速定位响应。 纳米精密角位控制系统纳米位移系统只有经过有效校准，才能成为真正的高精度定位系统。

人们普遍认为，如果了解了纳米定位平台的共振频率，就可以准确地展示其性能，尤其是动态性能。简单来说，共振频率越高，每个平台轴的运动就越快。然而，就像生活中的许多事情一样，它并没有那么简单!实际上，共振频率由几个因素决定。这些因素都会影响平台的性能，因此在正确选择纳米定位系统之前，需要综合考虑以下因素：制造平台的材料，因为材料的刚度和密度会影响共振频率。低密度材料的运动质量越小，共振频率越高；然而，如果增加负载，则共振频率将迅速下降。相比之下，高刚度平台，即使是由重型材料制造，也能更好地保持其共振频率。施加到纳米定位台的负荷定义了加载的共振频率，通常被认为是每个轴的前一个共振。控制和反馈电子设备，对于控制诸如前一和第二共振对每个平台轴动态位置的影响等因素至关重要。整个系统，包括平台及其所有安装附件或柔性铰链，以及安装平台的设备，每个组件都可能产生不同的共振频率。

压电纳米位移台的工作原理：压电纳米位移台主要采用超精密运动控制技术，超精密运动控制技术是由光、机、电、控制软件等多领域技术集成的运动控制技术。内部由一个或多个压电陶瓷作为驱动，其产生单轴或者多轴的运动；通过柔性铰链技术将压电陶瓷产生的运动传递和放大；经超精密电容传感器将运动信息传递给控制系统，再由控制系统对该运动进行修正、补偿和控制；在对运动系统进行闭环控制时，可实现纳米、亚纳米级别的运动分辨率和运动控制精度。 压电纳米定位台广泛应用于半导体设备、显微成像、纳米技术、激光与光学、生物医学、航天航空等领域。

压电纳米位移台的结构压电纳米定位台具有移动面，是通过带有柔性铰链的机械结构将压电陶瓷产生的位移及出力等进行输出，分直驱与放大两种结构。以压电陶瓷作为驱动源，结合柔性铰链机构实现X轴、Z轴、XY轴、XZ轴、XYZ轴精密运动的压电平台，驱动形式包含压电陶瓷直驱机构式、放大机构式。具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可实现纳米级分辨率及定位精度且具有较高的可靠性，在精密定位领域中发挥着主要作用。 压电纳米定位台具有移动面。压电扫描台报价

压电纳米定位台的工作原理及典型应用。高稳定度纳米电磁定位平台

压电纳米位移台断电时保持自锁，从而不消耗能量，不发热，可以很好的保持位置的机械稳定性。由压电马达驱动的纳米位移台一般把马达安装在位移台的基座上，而动子则是安装位移台滑动台面部分，压电驱动纳米位移台没有传统电磁马达(伺服或步进电机)驱动的位移台所需的丝杆或蜗轮蜗杆组部件，是一个直接驱动，稳定性更高，惯性更小，没有回程间隙和机械部件之间的空回，响应时间没有所延迟。压电陶瓷的形变量小，可以达到非常高的平台位移精度，可以说压电马达驱动的位移台是名副其实的纳米位移台。 高稳定度纳米电磁定位平台