河南五金平磨平面加工

    平面抛光机在使用磨料进行加工的各道研磨工序中，被研表面光洁度主要是大量磨粒切削刃尖在被研表面上所形成的无数切痕互相重迭的结果。从总的方面来说，被研表面光洁度的高低，取决于磨粒的粗细，或者说取决于磨粒压下工件表面的深度及通过工件单位横截表面的有效磨粒数量。但在实际研磨过程中，并不仅是选择了细的磨料(如)，就能研出理想的表面光洁度来(如▽14)，还有很多因素影响工件在平面抛光机中的研磨质量。试作如下分析：选择合适的磨料粒度磨料的粒度愈小，获得的表面光洁度就愈高。如要进一步提高表面光洁度，可对使用的磨料再次分选，这样使磨粒的大小均匀程度及基本颗粒的数量比，都可以得到改善。对一般的敷砂研磨来说，滚动的磨粒数量愈少，表面光洁度愈就高。为了提高表面光洁度，可用浸煤油的棉花将敷砂粒擦净，再作一次干研磨，其加工量为～1微米。当研磨软质材料工件时，磨粒容易嵌入工件表面，使研痕加深，从而破坏了表面光洁度。为了得到较高的表面光洁度，可采用嵌砂研具或者材质软的研具进行研磨。一般说来，被研表面光洁度是随着被研工件材料硬度的增加而得到改善的，因此，对于淬硬钢工件表面光洁度的提高，可通过提高淬火硬度的方法来达到。

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    超精密双面抛光加工应用化学机械抛光(cNrn)技术，靠工件、磨粒、抛光液及抛光盘的力学作用，在工件的抛光过程中，产生局部的高温和高压，从而使直接的物理化学变化直接发生在工件与磨粒、抛光液及抛光盘之间，导致工件的表面产生物理化学变化的反应物。由于力学作用与化学作用的重迭，使得工件表面的反应物不断被磨去，从而使工件表面平滑化。双面抛光技术是在单面抛光加工技术的基础上发展起来的，由于它在薄片工件的加工过程中能有效地避免应力差与粘结误差引起的变形问题。因此与单面抛光加工相比，双面抛光具有加工效率高，表面变形小，易获得超光滑加工表面的优点。一般的超精密双面抛光系统是由承载工件和下抛光盘的工作台、施加载荷的上抛光盘、带动工件旋转运动的行星轮以及供给抛光液的装置四大构件组成，在双面抛光的过程中，由于抛光液与抛光垫之间的物理运动，导致抛光液内部的化学溶液以及磨粒于工件产生化学变化，同时在上抛光盘对工件的旋转压力的作用下，使工件表面产生的化学反应物得到切除。其原理就是，在不断的化学变化中工件表面生成一种化学膜，同时由于旋转机械摩擦切除作用去除这一层化学膜，在不停地交替中获得超精密表面。 河南五金平磨平面加工研磨速度是控制余量去除速度和研磨表面质量的重要工艺参数。

    无级调速简称CV(continuouslyviable)变速，是通过两组可以改变直径的齿轮或者皮带轮组成，由链条或皮带连接，通过改变齿轮或皮带轮的直径来控制变速比平面抛光机是采用无级调速系统控制，那么其变速控制方法是怎样的呢?平面抛光机在进行研磨加工有三个阶段，即开始阶段、正式阶段和结束阶段，开始阶段磨具升速旋转，正式阶段磨具恒速旋转，结束阶段磨具降速旋转，其特征在于，在研磨加工开始阶段，人为控制磨具转速的加速度从零由慢到快地增大，当磨具转速升到正式研磨速度的一半时，加速度的变化出现一个拐点，控制磨具转速的加速度由最大值由快到慢地减小，直到磨具转速达到正式的研磨速度，磨具转速的加速度降为零。平面抛光机的主机采用调速电机驱动，配置大功率减速系统，软启动、软停止，运转平稳。通过上、下研磨盘、太阳轮、游星轮在加工时形成四个方向、速度相互协调的研磨运动，达到上下表面同时研磨的高效运作。平面抛光机是采用无级调速系统控制，可轻易调整出适合研磨各种部件的研磨速度。采用电—气比例阀闭环反馈压力控制，可调控压力装置。上盘设置缓降功能，有效的防止薄脆工件的破碎。通过一个时间继电器和一个研磨计数器。

    对外延片以Lapping的方式虽然加工品质较好。但是移除率太低，比较高也只能达到3um/min左右，如果全程使用Lapping的话，此加工就需耗时约2h，时间成本过高。目前的解决方式是在Lapping之前加入Grinding的制程，通过钻石砂轮与减薄机的配合来达到快速减薄的目的。，既能达到较高的移除率，又能修复Grinding制程留下的较深刮伤。一般来说切割过程中发生裂片都是由于Grinding制程中较深的刮伤没有去除，因此此时对钻石液的要求也比较高。除了裂片之外，有些芯片厂家为了增加芯片的亮度，在Lapping的制程之后还会在外延片背面镀铜，此时对Lapping之后的表面提出了更高的要求。虽然有些刮伤不会引起裂片，但是会影响背镀的效果。此时可以采用3um多晶钻石液或者更小的细微性来进行Lapping制程，以达到更好的表面品质。 同时适时、适量添加研磨剂，保证研磨剂流动连续性。

    粗光的加方法通常是采用经过校正后的嵌好沙的研磨盘研具，敷涂上，需要将洗净了的粗研过的工件放在辐板孔中，然后以适当压力进行研磨加工、精密研磨。通过本工序的加工，工件的几何形状的精度和表面的光洁度获得的较明显的提高，这也为下一道工序做好了准备，工序中所预留的加工余量为。003毫米左右。进行半精研磨时，其加工方法与上一道工序相类似，所不同的是采用的金刚石粉研磨膏为W1，通常加工中预留量为1到。平面研磨机中的精研磨的加工方法与第三道工序有所不同的是研具嵌砂粒度为W1~，所采用的研磨剂是，这道工序又分为去余量的研磨和精密研磨两个分工加工，其中，去余量的研磨的分工序其加工留量一般为，所达到的工件表面光洁度为▽13，而终精研磨除了表面光洁度可达到▽14级以外。还需要的达到量块所规定的国家标准的各项精度要求。 在密封面表面形成氧化膜提高密封面质量。河南五金平磨平面加工

采用差值法，在其基础上磨料粒度尺寸上升4倍要求。河南五金平磨平面加工

    为了验证所施加的轴向振动工件被研磨的表面特征，在新的研制的立式平面研磨抛光机设备上，会对氧化锆陶瓷以及度炮钢进行粗精密研磨试验。砂轮的径向振动与油石向着振动研磨材料加工出的工件表面，径向平面研磨抛光机振动磨粒所刻划的工件表面呈现贝壳状的破碎，会产生这种破碎的原因主要是由于磨粒会在普通的加工基础上，磨粒出现周期性的着呢东会对底部造成不断的冲击，当磨粒的冲击应力超过了所加工工件材料的断裂极限的时候，会出现径向裂纹急剧扩展的现象，会在磨粒的便捷横向裂纹不断的向着工件表面延伸，出现工件表面脱落现象。当油石的轴向施加超声振动的时候，磨粒的切深并不会因为振动的施加而变得更大，磨粒所刻划的底部很难发现出现裂碎的现象。但是由于磨粒的轴向振动，会使磨粒对垂直于其运动方向上所隆起的沟槽壁会产生不断的冲击，磨粒在压入和运动的时候会形成横向裂纹，在冲击作用下会延伸到工件的表面，形成工件表面破碎与脱落的现象，会终形成比较宽的加工痕，此外，在磨削的沟槽底部会出现微小痕迹，在轴向加工的时候，磨粒会对磨削的沟槽边沿冲击的时候痕迹清晰可见。在轴向振动的时候，被研磨的工件表面会由于磨粒的切深不变。 河南五金平磨平面加工

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