普陀区工业真空泵共同合作

真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。 了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。 真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。 真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。普陀区工业真空泵共同合作

真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。 立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的重心较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。 卧式泵的进气口在上，排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重心低，高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。普陀区工业真空泵共同合作真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。

真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。这种传动方式的缺点是：a.主动轴上有三个轴承，增加了泵的加工和装配难度，齿轮的拆装及调整也不便；b.整体结构不匀称，泵的重心偏向电动机和齿轮箱一侧。真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。 由于分子泵对水蒸气的抽速为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。真空泵用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。普陀区工业真空泵共同合作

真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。普陀区工业真空泵共同合作

随着社会的发展，创新、协调、绿色、开放、共享的五大发展理念对机械及行业设备行业提出了更高的要求，研发技术含量高、附加价值高、智能化程度高而碳排放量少的新型设备。细分市场看，推土机、平地机市场呈现出较大的回落趋势，上述两个有限责任公司（自然）市场出口也在收缩。(下滑具有一定的周期性，推土机在2018年销量大涨)而汽车起重机则成为了工程机械行业“明星产品”。真空泵，空压泵，阀门产业的再制造已经成为其产业链中的重要一环。它不仅为客户提供降低产品全生命周期成本的极优方式，也支持了我国提倡的发展绿色循环经济的号召，成为工程机械行业未来发展的重要方向。生产型企业围绕生产源头、制造过程和产品性能三个方面加强科技研发，应用制造工艺，实现绿色制造。推广节能低碳技术，采用制造工艺，发展循环经济，形成低加入、低消耗、低排放的业态模式，实现低碳制造。普陀区工业真空泵共同合作

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