上海半导体陶瓷吸盘哪里买

时间:2023年03月23日 来源:

在进行解键合工艺时会用多孔吸盘来吸附100um厚度的半导体晶圆,此项工艺作业时会将键合粘结剂与键合wafer上的金属残留在多孔吸盘上。残留的有机粘结剂杂质在温度120℃时处于完全液态,易被吸附进多孔吸盘的孔洞内,而其中无机物金属颗粒(例如ni-auge合金)通常是附着在多孔吸盘的表层。有机粘结剂在加热状态下液化,受真空吸附力影响会流动到多孔吸盘的孔洞内,金属颗粒会在此加热状态下进行一定程度延展拉伸式的合金化,合金化金属结合力会增强,从而造成有机粘结剂在多孔吸盘的孔洞内和表面存在,合金化金属覆盖在有机粘结剂表面并将有机粘结剂进行包裹。陶瓷吸盘的基本尺寸精度可以控制在0.01mm左右。上海半导体陶瓷吸盘哪里买

传统的陶瓷吸盘都是一体式结构,直接安装在工作台上。在晶片磨削过程中,往往伴随着大量颗粒和污水,并且会进入吸盘和工作台之间,造成精度误差;在晶圆抛光和清洗过程中,抛光液和水雾进入工作台,还会引起设备的腐蚀生锈;在晶片的加工中,由于碎片导致工作台堵塞会影响设备运转,极大地降低了生产效率。然而,当发生以上设备常见问题时,传统的一体式真空吸盘,拆卸清理维修时又必须将整个吸盘,以及连接在吸盘上的各种真空接头,管路一起拆卸,极为不便。并且由于一体式的结构,防水布置困难,易发生工作台系统腐蚀生锈,也难以局部更换。深圳多孔陶瓷吸盘售价陶瓷吸盘的透气性好,吸附力均匀。

陶瓷吸盘对形状特殊和尺寸大的氧化锆结构陶瓷,需采用等静压成型。等静压成型的坯体由于各方向所受压力均匀相等,且压力大,因此成型后的坯体密度高,均匀性好,烧成收缩小,不易变形、开裂、分层。该成型方法可避免干压时易出现的分层,特别是成型较厚的氧化锆制品,干压时极易出现分层,而等静压成型则可避免,因此该成型方法是生产氧化锆制品常用的方法。但等静压成型后的坯体需要加工,因此会浪费一部分原料,同时由于坯体很硬,加工比较麻烦,且加工速度要求缓慢,否则坯体易发生断裂,生产效率不高。

陶瓷真空吸盘(多孔陶瓷真空吸盘),特殊的多孔陶瓷材料其孔径为2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面积吸附, 同时也可作气浮平台,普遍应用半导体、面板、雷射制程及非接触线性滑轨。多孔陶瓷真空吸盘是密封的空气来维持传输,装置应用只限用于平坦,无孔表面的工作平台。使用者通常是机器操作员。在金属加工领域,这是一项安全可靠的工件传输。自动化移载、物件吸取、定位、精密网板印刷用工作台,利用孔洞透气性陶瓷(氧化铝或碳化硅)接上真空吸力,将工作物(包括晶圆、玻璃、PET 膜或其它薄型工作物)放置陶瓷工作吸盘上,利用真空吸力使工作物固定,进行清洗、切割、研磨、网版印刷及其它加工程序。陶容吸盘又称多孔陶瓷,同时称之为纳米微孔真空吸盘。

在天然物质和人造物质中,多孔体特别多,比如:水成岩、水铝英石、粘土、木材等建筑材料,无机和有机保温材料,天然纤维等都是多孔体。工业材料中的催化剂、硅胶、活性炭等吸附剂,过滤剂,绝热材料等都利用了多孔性质。因此,我们认为,掌握多孔材料的结构和性质是非常重要的。为了正确地分析出材料孔容孔径,就需要对材料孔结构有着清楚的认识,选择正确的预处理方式(温度、氛围、真空度等)及合适的分析模型,进而得到准确科学的实验结果。多孔陶瓷材料由于其特殊的结构,使其具有高比表面积,高孔隙率,高吸附性等诸多优异的理化性能,因而在半导体、化工、环保、功能材料等领域均有普遍应用,气体吸附法是表征多孔材料孔隙结构特性重要的方法之一。陶瓷吸盘加工精度高,光洁度好,因为陶瓷吸盘当工件在加工过程中发热而变形时,能够自由伸长。无锡精密陶瓷吸盘多少钱

陶瓷吸盘具有优异的材料性能,电阻值可以达到105~109Ω/sq。上海半导体陶瓷吸盘哪里买

微孔陶瓷吸盘在防腐蚀,抗氧化,抗冷热冲击这几方面拥有的优势:微孔陶瓷吸盘的热容量小,它本身不蓄热,可以直接散热,微孔陶瓷吸盘不会像金属散热片一样形成“热 阶梯”,影响它的散热性能。微孔陶瓷吸盘比较大的特点,它本身就是微孔洞的结构,这种工件增加了与空气接触的面积,可以大幅度增强它的散热性效果,同比条件下,微孔陶瓷材料的散热效果比超铜、铝,密闭环境下,主动辐射散热能力8.8倍与金属材料,散热优势更加明显。微孔陶瓷吸盘本身具备有绝缘、耐高温、抗氧化、耐酸碱、耐冷热冲击、热膨胀系数低,从而还保证了在高低温环境或者其他恶劣环境下陶瓷散热片的稳定性。上海半导体陶瓷吸盘哪里买

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