广州CMOS除异物设备

旋风清洁目前应用在芯片封装领域，并可根据用户客户需求扩大应用：-CPU Board制造时的清洁工程–DRAM器件芯片的BOC封装清洁–FCBGA倒装芯片球栅格阵列、图形加速芯片实装前的清洁–FBGA Board基板、印刷、镀层、背胶、AOI检测等制造环节的清洁。为什么要使用除异物设备呢？随着工艺点减少挤压良品率，就势将促进清洁设备的需求上升。由于工艺节点缩小，经济效益要求半导体企业在清洁工艺上不断突破，提高清洁设备的工艺参数要求。有效的非破坏性清洁将是制造商所面临的一大挑战，特别是10nm芯片，7nm芯片，甚至更小的芯片。晶圆片清洁质量的好坏对器件性能有严重的影响，其主要原因是圆片表面沾污造成的，这些沾污包括：超细微的颗粒、有机残留物、无机残留物和需要去除的氧化层；颗粒和金属杂质沾污会严重影响器件的质量和成品率。在目前的集成电路生产中，由于晶圆片表面沾污问题，导致50%以上的材料被损耗掉和80%的芯片电学失效。除异物设备可以增加边缘高度和填料的公差，提高包装的机械强度。广州CMOS除异物设备

用户可以在新设工艺产线中加入卷对卷（薄膜、卷板)对应型-旋风超高精密除尘模组设备，或在原有工艺设备中的必要节点加装旋风模组单元，均可达到升级改善原有洁净度、提升良率、减少人工、增进效率的良好效果。除异物设备清洗速度快，除异物设备的速率比其他清洗方式都高，比浸泡式清洗快10～20倍，比喷淋式清洗提高20%一50%的功效。与喷淋相比，专业的除异物设备清洗薄的和微小线路板时，也会保证线路板的完好。除异物设备与喷淋和与浸泡相比，它没有清洗死角，因此更适用于内外结构复杂，微观不平，有狭缝、小孔、拐角、线路密集的电子PCBA线路板。除异物设备适应清洗多种污渍。可以用于除油、去污、除锈、除氧化皮、钝化等多种顽固污渍。除异物设备适用于钢、铸铁、不锈钢、铜、铝、玻璃、电路板、电子和光学元件等各种零件的清洁工作。广州CMOS除异物设备晶圆除异物设备适用于晶圆级和3D封装应用的理想设备。

旋风式非接触除尘设备有如下优势：对比水洗机的工艺简单、便于现场控制管理-效果在同类干式非接触式除尘设备属于较好。晶圆除异物设备用于在晶圆凸点工艺前去除污染，还可以去除有机污染、去除氟和其它卤素污染、去除金属和金属氧化，也可以改善旋涂膜粘接和清洁金属焊盘。预处理晶圆的残留光刻胶和BCB，重新分配图形介电层，线条/光刻胶刻蚀，应用于晶圆材料的附着力增强，去除多余的塑封材料/环氧树脂，增强金焊料凸点的附着力，晶圆减压减少破碎，提高旋涂膜附着力，清洁铝焊盘。通过其处理能够改善材料的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。

微小器件对应型-旋风超高精密除尘模组设备目前已有应用的行业有，手机摄像头、半导体封装、医疗美容包装等领域，并在其行业头部企业及其产业链中的使用评价良好。随着倒装芯片封装技术的出现，除异物设备与倒装芯片封装相辅相成，成为提高其产量的重要帮助。通过除异物设备处理芯片和封装载板，不仅可以获得超清洁的焊接表面，还可以提高焊接表面的活性，有效防止虚焊，减少空洞，提高填料的边缘高度和包容性，提高封装的机械强度，减少不同材料的热膨胀系数在界面之间形成的内应剪切力，提高产品的可靠性和使用寿命。随着半导体技术的不断发展，对工艺技术的要求越来越高，特别是对半导体晶圆的表面质量要求越来越严，其主要原因是晶圆表面的颗粒和金属杂质沾污会严重影响器件的质量和成品率。除异物设备降低因不同材料热膨胀系数在界面间形成的内部剪切力。

卷对卷（薄膜、卷板)对应型-旋风超高精密除尘模组设备目前已应用的行业有，新能源材料、光学薄膜、复合功能膜、MLCC器件制造、新型钢板、特殊纸张等领域。PCB电路板生产的过程中会产生大量的粉尘，影响产品品质。在线路板生产工艺中，线路板在裁切、钻孔、锣边的加工过程中，都会产生颗粒性金属碎屑和由于机械传动所产生的粉尘，如果不及时去除，会直接影响加工以及加工出来的产品良率，导致废板的产生。随着孔径的缩小，一些细小杂物，如磨刷碎屑等一旦残留在小孔里面，将使化学沉铜、电镀铜失去作用，出现孔无铜，成为PCB板品质的致命原因。因此，除异物设备的性能对于提升产品良率至关重要。光学膜除异物设备采用紧凑型驱动不锈钢支撑胶辊，解决了加工薄材料的一大难题。摄像头除异物设备供货费用

晶圆除异物设备是用于典型的后道封装前的晶圆加工的理想设备。广州CMOS除异物设备

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