济南电子级除异物设备

各种晶圆的制程工艺极其精密复杂，各大厂有不同的工艺管控能力。作为前后道主制程工艺的辅助清洁设备单元，旋风清洁/除尘/除异物系统，以非接触式、高效清洁、方便加装等优势，得到了晶圆厂及设备商的采用。因为晶圆清洁处理是半导体制造过程中很重要、频繁的步骤，其工艺质量将直接影响器件的良率、性能和可靠性，所以国内外各大公司和研究机构一直在不断研究处理工艺。除异物设备具有绿色环保的特点。随着微电子工业的快速发展，除异物设备在半导体行业得到越来越多的应用。除异物设备具有工艺简单、操作方便、无废物处理和环境污染等优点。具有操作方便、效率高、表面清洁、无划痕等优点，有利于保证产品质量，而且不使用酸、碱、有机溶剂，越来越受到人们的重视。除异物设备提高了封装设备的可靠性。济南电子级除异物设备

用户可以在新设工艺产线中加入旋风清洁设备，或在原有工艺设备中的必要节点加装旋风模组单元，均可达到升级改善原有洁净度、提升良率、减少人工、增进效率的良好效果。半导体行业为什么需要除异物设备呢？半导体制造需要一些有机和无机物质参与，此外，由于工艺总是由净化室的人进行，半导体晶片不可避免地会受到各种杂质的污染。根据污染物的来源和性质，大致可以分为四类：颗粒、有机物、金属离子和氧化物。随着半导体技术的不断发展，对工艺技术的要求越来越高，尤其是对半导体晶片的表面质量。主要原因是晶片表面的颗粒和金属杂质的污染会严重影响器件的质量和成品率。在半导体生产过程中，几乎每个工序都需要清洁处理，晶圆清洁处理的质量对器件性能有着严重的影响。石家庄电子级除异物设备除异物设备降低因不同材料热膨胀系数在界面间形成的内部剪切力。

平面对应型-旋风超高精密除尘模组设备内部由旋风高璇转轴及特制气嘴组成，其排列组合以多年现场经验和所积累的气流模拟量算法布置排列，可针对用户的不同使用场景设定使用。在半导体生产工艺中，几乎每道工序中都需要进行清洁，晶圆清洁质量的好坏对器件性能有严重的影响。正是由于晶圆清洁是半导体制造工艺中比较重要、比较频繁的工步，而且其工艺质量将直接影响到器件的成品率、性能和可靠性，除异物设备作为一种先进的干式清洁技术，具有绿色环保等特点，随着微电子行业的迅速发展，除异物设备也在半导体行业的应用越来越多。随着人们对能源的需求越来越高，晶圆以其高效，环保，安全的优势得到快速的发展。在目前的集成电路生产中，由于晶圆表面沾污问题，仍有50%以上的材料被损失掉。除异物设备在半导体晶圆清洁工艺上的应用。除异物设备具有工艺简单、操作方便、没有废料处理和环境污染等问题。但它不能去除碳和其它非挥发性金属或金属氧化物杂质。

卷对卷（薄膜、卷板)对应型-旋风超高精密除尘模组设备是指对以Roll To Roll工艺生产的卷板、薄膜、膜片等产品进行非接触式精密清洁。光学膜除异物设备适用于清洁各种光学膜片、扩散膜、反射膜、增光膜、复合膜、光学PET等材料表面粉尘异物以及静电，提高生产效率和产品质量。光学膜除异物设备应用制程领域：裁切、分条、组装、检查、包装、涂布等作业的板面清洁。光学膜除异物设备适用位置：裁切机连线清洁、质量检验包装前清洁、组装前清洁。光学膜除异物设备特点：采用双面双辊清洁技术、上下各2支粘尘（与材料接触）胶辊，可迅速去除表面微尘与杂质；出料停、调速清洁、正反转功能均可编程设置。除异物设备不用酸、碱及有机溶剂等，因此越来越受到人们重视。

旋风超精密除尘、除异物设备适用于严苛工艺要求的产品制造环节。集成电路引线键合的质量对微电子器件的可靠性有着决定性的影响，粘合区域必须没有污染物并且具有良好的粘合特性。氧化物和有机残留物等污染物的存在将严重削弱引线键合的拉力值。传统的湿法清洗不能完全去除或不能去除粘合区域的污染物。除异物设备能有效去除键合区的表面污染，活化表面，显著提高引线的键合张力。提高了封装设备的可靠性。芯片封装过程中经常用到除异物设备对芯片元件进行处理，去除元件上的有机物、微小颗粒等，活化提升元件表明的附着力和粘接力，使得封装过程中胶水能更好的把元件粘接牢固、密封稳定。除异物设备针对高效率光刻胶去除工艺到芯片封装领域独特的工艺。济南电子级除异物设备

除异物设备与传统湿法清洗相比，成品率有较大提高。济南电子级除异物设备

卷对卷（薄膜、卷板)对应型-旋风超高精密除尘模组设备是指对以Roll To Roll工艺生产的卷板、薄膜、膜片等产品进行非接触式精密清洁。薄膜除异物设备运用静电设备中和薄膜按键板面静电、粘尘滚筒(粘尘胶辊)将薄膜按键上的异物清洁，并将异物转移至粘尘纸卷的一种薄膜按键表面除尘机除静电除尘设备，它还适用于其他3C行业平面材料表面清洁粘尘。由于近几年3C产品越做越薄，所以有些平面耗材也相对以前的薄，那么薄膜除异物设备也是当前选择比较多的除异物设备之一，薄膜除异物设备作为薄膜材料的主要除异物设备，技术方面已然成熟，薄膜除异物设备体积小，美观，操作方便，维护便捷，针对薄膜材料不卡料、卷料、无压伤等特点，是薄膜材料除异物选择。济南电子级除异物设备

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