南昌非接触式除异物设备

微小器件对应型旋风模组头的设计是在一般平面型的基础上，针对微小型产品更高精度的除尘清洁要求，使用升级定制的高旋转轴及螺旋气嘴，并以多年现场经验和积累的气流模拟量算法布置排列，可针对用户的不同使用场景设定使用。光学膜除异物设备采用集尘辊上下集尘，集尘辊为可剥离式集尘纸卷（收集并转移微尘作用）为日用耗材，可用免刀（带刻印线）集尘纸卷，很大程度上提高工作效率，清洁性能较好；进、出口配4支强劲除静电离子棒除静电功能，完全消除静电干扰、轻易除尘，减少二次污染；速度0-45米/min可调。光学膜除异物设备是专门针对各类膜片双面赃物、灰尘、静电清洁之作用的机器、该机器由静电消除器、矽胶除尘轮、高粘集尘纸卷组成，利用静电消除器对各类板材表面静电进行去除，使其表面赃物及尘埃不具吸附性，再由矽胶除尘轮对其表面进行除尘、由高粘集尘纸卷将矽胶除尘轮上赃物转移，使其保证洁净避免再次污染。除异物设备适用于晶圆级封装、3D封装、倒装，以及传统封装。南昌非接触式除异物设备

目前旋风除尘设备应用在以下功能薄膜、IT薄膜、特殊纸张的的制造工艺设备中，可根据客户需求、应用场景，匹配相应型号旋风模组设备。半导体圆片暴露在含氧气及水的环境下表面会形成自然氧化层，这层氧化薄膜不但会妨碍半导体制造的许多工步，还包含了某些金属杂质，在一定条件下，它们会转移到圆片中形成电学缺陷。这层氧化薄膜的去除常采用稀氢氟酸浸泡完成。除异物设备在半导体晶圆清洗工艺上的应用：具有工艺简单、操作方便、没有废料处理和环境污染等问题。除异物设备在去胶工艺中具有操作方便、效率高、表面干净、无划伤、有利于确保产品的质量等优点，而且它不用酸、碱及有机溶剂等，因此越来越受到人们重视。南昌非接触式除异物设备除异物设备提高了封装设备的可靠性。

旋风清洁/除尘/除异物系统目前在如下场景有应用：1)FAB设备中内置轻型旋风模组头，以辅助搬运机器人传递晶圆过程中的清洁。2)晶圆Grinding Disk Wheel的旋风清洁。3)晶圆切割后的异物去除。4)内存芯片激光器标记后残留异物的去除。5)芯片流转用托盘异物的去除。6)芯片贴片前后的去除异物。除异物设备针对高效率光刻胶去除工艺到芯片封装领域独特的工艺，适用于芯片封装批理生产的多功能设备，满足客户需求，适合大批量生产，也能满足实验室要求。除异物设备针对光刻胶去除到芯片封装工艺设计用于基板表面处理；晶圆表面污染物去除；BGA植球前处理；改善金球焊接；改善压膜分层；改善倒装焊底部填充；掩膜去除；环氧树脂去除；改善塑封/封胶。晶圆级封装前采用除异物设备处理的能去除表面的无机物，还原氧化层，增加铜表面的粗糙度，提高产品的可靠性。

用户可以在新设工艺产线中加入旋风清洁设备，或在原有工艺设备中的必要节点加装旋风模组单元，均可达到升级改善原有洁净度、提升良率、减少人工、增进效率的良好效果。半导体行业为什么需要除异物设备呢？半导体制造需要一些有机和无机物质参与，此外，由于工艺总是由净化室的人进行，半导体晶片不可避免地会受到各种杂质的污染。根据污染物的来源和性质，大致可以分为四类：颗粒、有机物、金属离子和氧化物。随着半导体技术的不断发展，对工艺技术的要求越来越高，尤其是对半导体晶片的表面质量。主要原因是晶片表面的颗粒和金属杂质的污染会严重影响器件的质量和成品率。在半导体生产过程中，几乎每个工序都需要清洁处理，晶圆清洁处理的质量对器件性能有着严重的影响。除异物设备提高产品的可靠性和使用寿命。

各种晶圆的制程工艺极其精密复杂，各大厂有不同的工艺管控能力。作为前后道主制程工艺的辅助清洁设备单元，旋风清洁/除尘/除异物系统，以非接触式、高效清洁、方便加装等优势，得到了晶圆厂及设备商的采用。为什么要使用除异物设备呢？晶圆是制造半导体芯片的重要材料。晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之集成电路产品。晶圆为什么需要清洁处理呢？晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅。晶圆一般需要经过化学、物理处理。因而，中间产物的晶圆上可能残留各种杂质，譬如胶质。杂质的存在，极大影响了晶圆的性能，甚至造成不能正常工作的情况。除异物设备对半导体器件功能性、可靠性、集成度等显得尤为重要。非接触式除异物设备经销商

除异物设备可以提高导热系数，提高IC封装的可靠性和稳定性，提高产品的使用寿命。南昌非接触式除异物设备

用户可以在新设工艺产线中加入旋风清洁设备，或在原有工艺设备中的必要节点加装旋风模组单元，均可达到升级改善原有洁净度、提升良率、减少人工、增进效率的良好效果。如果半导体表面必须涂漆、印刷或胶合，则需要良好的表面润湿性以获得良好的附着力。许多表面显示润湿性不足，即使在清洁状态之下也因杂质而恶化。结果，粘合剂和油墨等液体会脱落。这是因为表面张力非常低，不足以进一步处理。如果对未经处理的材料进行处理，结果往往是油漆和清漆不能完全粘附并迅速松动，或粘合部件脱落。这可以通过除异物设备来防止。除异物设备处理后的表面增加其表面能，并产生与液体相关联的分子基团，这表现在改善的润湿性，并导致合适的液体的较佳结合。南昌非接触式除异物设备

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