晟鼎精密桌面型快速退火炉有什么优势？

东莞市晟鼎精密仪器有限公司2024-07-25

RTP快速退火炉是一种广泛应用在IC晶圆、LED晶圆、MEMS、化合物半导体、欧姆接触快速合金、离子注入退火、氧化物/氮化物生长等工艺中的加热设备，能够在短时间内将半导体材料迅速加热到高温，具备良好的热均匀性。RTP快速退火炉提供了更先进的温度控制，可以实现秒级退火，提高退火效率的同时可有效节约企业的生产成本。

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简介：晟鼎精密主营产品RTP快速退火炉、等离子清洗机、等离子去胶机、接触角测量等表面性能处理及检测设备。

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司 2024-07-27

RTP-Table-6为桌面式4-6英寸晶圆快速退火炉，使用上下两层红外卤素灯管作为热源加热，内部石英腔体保温隔热，腔体外壳为水冷铝合金，使得制品加热均匀，且表面温度低。RTP-Table-6采用PID控制系统，能快速调节红外卤素灯管的输出功率，控温更加准确。

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司 2024-07-28

产品优势 ◎升温速度快：升温速率可达150℃/s，有效节省工艺时间 ◎精确的温度控制：配备PID控温，实时调节灯管功率输出，保证良好的温度重现性和温度均匀性 ◎标配三组工艺气体：如氮气、氩气等，满足不同材料的热处理需求。 ◎实时监控：软件主界面能实时显示气体、温度、真空度等参数 ◎紧凑的桌面式设计：适合实验室和小型生产环境，节省空间，便于移动和部署 ◎保障使用安全：拥有炉门安全温度开启保护、温控器开启权限保护、设备急停安全保护三重措施

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