为什么等离子输出无高频

深圳市神州天柱科技有限公司2023-10-07

一、等离子输出无高频原因等离子输出无高频的原因可能有很多，以下是一些常见的原因： 1.电极材料等离子离子源的电极材料通常是钨或钼，这些材料的电阻率很高，使得等离子体在电极之间的存在时间较短。由于等离子在电极之间的时间过短，因此等离子输出无高频。 2.等离子体密度不足等离子体密度不足可能是等离子输出无高频的另一个原因。如果等离子体的密度不足，那么其抵抗电场的能力就会降低，因此等离子输出的能量也会变得更低。这会导致等离子输出无法达到高频。 3.功率过低功率过低也是等离子输出无高频的原因之一。等离子输出的功率需要达到一定的程度才能产生高频。如果功率过低，那么等离子输出的频率就会降低。二、可能的解决方案 1.改变电极材料为了解决等离子输出无高频的问题，可以考虑改变电极材料。使用导电性更好的材料，如铜或银，可能会显著提高等离子输出的频率。 2.提高等离子体密度为了提高等离子输出的频率，可以尝试提高等离子体的密度。这可以通过增加等离子体的能量、减少漏电等因素实现。 3.增加功率输出如果等离子输出无高频的原因是功率过低，那么可以尝试增加功率输出。这可以通过