等离子去胶机也叫脱胶机吗？是怎么去除光刻胶的？

深圳市神州天柱科技有限公司2023-12-05

等离子去胶机，有的地方也叫等离子脱胶机；目前，在市场上的各种脱胶方法中，等离子体脱胶是一种相对简单的脱胶方法。 等离子体脱胶机一般采用等离子体脱胶。它是等离子体去除光刻胶的机械设备。等离子体去除光刻胶的工作方法如下： 等离子体脱胶机将O₂变成氧原子的等离子体，然后氧原子与缓蚀剂中的C原子和H原子快速反应。生成了三种CO、CO₂和H₂O的组合气体。，光刻胶被下游的光刻胶台金徕等离子除胶器去除，它可以从半导体上去除光刻胶、残留胶和电路板的残留胶；在脱胶过程中，对设备的损坏程度较低，可以一次性满足用户的需求。

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