上海一种BOE蚀刻液溶剂

一种蚀刻方法，其特征在于，使用根据权利要求1至7中任一项所述的蚀刻液，在铜的存在下选择性地蚀刻钛。蚀刻液及蚀刻方法技术领域[0001]本发明涉及一种用来在铜的存在下选择性地蚀刻钛的蚀刻液及使用该蚀刻液的蚀刻方法。背景技术[0002]以往，在蚀刻钛时一直使用含有氢氟酸或过氧化氢的蚀刻液。例如文献1中提出了一种钛的蚀刻液，该钛的蚀刻液是用来在铜或铝的存在下蚀刻钛，并且该蚀刻液的特征在于：利用由10重量％至40重量％的过氧化氢、0.05重量％至5重量％的磷酸、0.001重量％至0.1重量％的膦酸系化合物及氨所构成的水溶液将pH值调整为7至9。[0003]但是，含有氢氟酸的蚀刻液存在毒性高来苏州，来博洋，BOE蚀刻液专业厂商。上海一种BOE蚀刻液溶剂

    微蚀液包括过硫酸钠/硫酸体系和双氧水/硫酸体系，在近几年的运用在PCB之表面处理制程，例如：沉铜（PTH)制程，电镀制程、内层前处理、绿油前处理、OSP处理等生产线。我们公司目前对过硫酸钠/硫酸和双氧水/硫酸两种体系的微蚀工序研发设计了不同的循环再生设备。无论是过硫酸钠/硫酸体系还是双氧水/硫酸体系,我司设备均可把饱和微蚀液处理再生后，返回客户生产线继续使用，回用时，不改变客户原生产工艺参数；在运行我们公司设备时可不停机亦可更换药水，从而达到稳定生产的目的。这两种体系再生设备设备不仅可以节省约30%的物料成本，还降低废水处理成本，且可以电解出金属铜。二、蚀刻液再生循环系统在电子线路版（PCB）蚀刻过程中，蚀刻液中的铜含量渐渐增加。蚀刻液要达到的蚀刻效果，每公升蚀刻液需含120至180克铜及相应分量的蚀刻盐（NH4CI）及氨水（NH3）。要持续蚀刻液中上述各种成份的浓度水平，蚀刻用过后的（以下称[用后蚀刻液]）溶液需不断由添加的药剂所取缔。本系统将大量原本需要排放的用后蚀刻液再生还原成为可再次使用的再生蚀刻液。只需极少量的补充剂及氨水，补偿因运作时被带走而失去的部份。从而取代蚀刻子液，既可达到蚀刻工艺的要求。上海一种BOE蚀刻液溶剂优先苏州博洋化学股份有限公司。

在环保管理方面，公司始终坚持秉承恪守环保，珍惜资源，减废省能的发展道路，努力构建面向未来的创新型喝学习型企业，积极推广、使用节能新技术、新设备喝新工艺，降低生产成本，减少能源、资源的浪费，实现三废的资源化利用，达到环境效益、社会效益喝经济效益的“三赢”搭建安全发展平台，构筑平安幸福企业。员工是企业的宝贵财富，是企业发展的推动者，员工的安全是每个家庭幸福的保证，也是企业的责任。公司严格按照国家化学品管理和存储的相关法律法规，对各类化学品进行分类存储，公司拥有甲类仓库、乙类仓库、氧化剂仓库等及储罐区。

    蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术，蚀刻技术分为湿蚀刻和干蚀刻，其中，湿蚀刻是采用化学试剂，经由化学反应达到蚀刻的目的，薄膜场效应晶体管液晶显示器(tft～lcd)、发光二极管(led)、有机发光二极管(oled)等行业用作面板过程中铟锡氧化物半导体透明导电膜(ito)的蚀刻通常采用盐酸和硝酸的混合水溶液。现有的制备装置在进行制备时会发热反应，使得装置外壳稳定较高，工作人员直接接触有烫伤风险，热水与盐酸接触会产生较为剧烈的反应，溅出容易伤害工作人员，保护性不足，盐酸硝酸具有较强的腐蚀性，常规的搅拌装置容易被腐蚀，影响蚀刻液的质量，用防腐蚀的聚四氟乙烯搅拌浆进行搅拌，成本过高，且混合的效果不好。所以，如何设计一种ito蚀刻液制备装置，成为当前要解决的问题。 BOE蚀刻液价格咨询，请联系苏州博洋化学。

    线路板制造流程中的蚀刻工序,是线路板制造的一道重要工序,此工序过程中产生的废液是一种高含铜量的废液(含铜110-160克/升)。对此蚀刻废液，传统的做法是由当地有资质的回收公司把废液拉走，然后使用化学方法(中和法或置换法)回收废液内的铜做成海绵铜或硫酸铜。这些方法工艺落后，铜回收不彻底，处理的经济效益不明显，提完铜后的废液直接外排，造成“二次污染”，对当地水体生态系统造成较大破坏。因此，市面上出现了众多的蚀刻液铜回收系统，采用电解的方式获得阴极铜板，虽然对铜回收有了进一步的成效，但依然存在以下几点不足：(1)阴极铜板表面易被氧化，发黑，纯度低；(2)阴极板上四周都会长铜，且铜分布不均匀，四周被很厚的铜包裹，而中间薄，厚度不一致，阴极板上铜的有效面积小，导致后续很难将铜拆下来；(3)在电解的过程中，挥发出的有害气体溢出，对人体有害；(4)需要人工搬运输送阴极铜板，消耗很多的人力，且效率低。 博洋化学BOE蚀刻液的专业供应商。山东无机BOE蚀刻液生产

BOE蚀刻液的溶液配比。上海一种BOE蚀刻液溶剂

    三氯化铁蚀刻液在印制电路、电子和金属精饰等工业中被采用，一般用来蚀刻铜、铜合金、不锈钢、铁及锌、铝等。虽然近些年来越来越要求再生容易，更加环保的蚀刻液，但由于三氯化铁蚀刻液它的工艺稳定，操作方便，价格便宜，因此还仍然被广大蚀刻加工企事业单位采用。三氯化铁蚀刻液适用于网印抗蚀印料、液体感光胶、干膜、镀金抗蚀层等抗蚀层的印制板的蚀刻。（但不适用于镍、锡、锡－铅合金等抗蚀层）1.蚀刻时的主要化学反应三氯化铁蚀刻液对铜箔的蚀刻是一个氧化－还原过程。在铜表面Fe3+使铜氧化成氯化亚铜。同时Fe3+被还原成Fe2+。FeCl3＋Cu→FeCl2＋CuClCuCl具有还原性，可以和FeCl3进一步发生反应生成氯化铜。FeCl3＋CuCl→FeCl2＋CuCl2Cu2+具有氧化性，与铜发生氧化反应：CuCl2＋Cu→2CuCl所以，FeCl3蚀刻液对Cu的蚀刻时靠Fe3+和Cu2+共同完成的。其中Fe3+的蚀刻速率快，蚀刻质量好；而Cu2+的蚀刻速率慢，蚀刻质量差。新配制的蚀刻液中只有Fe3+，所以蚀刻速率较快。但是随着蚀刻反应的进行，Fe3+不断消耗，而Cu2+不断增加。当Fe3+消耗掉35％时，Cu2+已增加到相当大的浓度，这时Fe3+和Cu2+对Cu的蚀刻量几乎相等；当Fe3+消耗掉50％时。上海一种BOE蚀刻液溶剂

苏州博洋化学股份有限公司成立于1999年，公司座落于苏州市高新区化工工业园，是一家集研发、生产、销售为一体的大型精细化工企业，主要为先进半导体封装测试、TFT、FPD平板显示、LED、晶体硅太阳能、PCB等行业提供专业的化学品解决方案。努力构建面向未来的创新型和学习型企业。博洋股份于2015年11月在全国中小企业股份转让系统成功挂牌。（证券代码：834329）拥有先进的理化分析、应用测试仪器以及一支以本科、硕士、博士为主的多层次研发团队，致力于超净高纯、功能性微电子化学品的研究开发;并根据客户的个性化需求量身定制整套化学品解决方案，力求持续的为客户创造价值。博洋除拥有完善的自主研发能力外，与华东理工大学共同建立省级研究生工作站;长期保持与苏州大学、中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所的合作关系，以辅助新产品的开发测试。对新技术、新工艺的研究精益求精，立志成为微电子材料领域个性化解决方案的***