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一种蚀刻方法，其特征在于，使用根据权利要求1至7中任一项所述的蚀刻液，在铜的存在下选择性地蚀刻钛。蚀刻液及蚀刻方法技术领域[0001]本发明涉及一种用来在铜的存在下选择性地蚀刻钛的蚀刻液及使用该蚀刻液的蚀刻方法。背景技术[0002]以往，在蚀刻钛时一直使用含有氢氟酸或过氧化氢的蚀刻液。例如文献1中提出了一种钛的蚀刻液，该钛的蚀刻液是用来在铜或铝的存在下蚀刻钛，并且该蚀刻液的特征在于：利用由10重量％至40重量％的过氧化氢、0.05重量％至5重量％的磷酸、0.001重量％至0.1重量％的膦酸系化合物及氨所构成的水溶液将pH值调整为7至9。[0003]但是，含有氢氟酸的蚀刻液存在毒性高BOE蚀刻液的主要成分。上海了解BOE蚀刻液推荐厂家
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*EL级：控制十多个金属元素，单项金属元素控制在100ppb。
*MOS级：介于EL级与UP级之间，控制0.5µm颗粒，控制三十多个金属元素，单项金属元素控制在10~50ppb。
*UP级：控制0.3µm颗粒，控制三十多个金属元素，单项金属元素控制在10ppb一下。
*UP-H级：控制0.1µm颗粒，控制在三十多个金属元素，单项金属元素控制在1ppb以下。
危险品OEM，博洋拥有各种资质。多种材质反应釜，能适合各种化学品。多种配套设备，能满足客户多样的要求。 上海了解BOE蚀刻液推荐厂家BOE蚀刻液的溶液配比。
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酸性蚀刻液是什么？对于蚀刻液用法的理解,我们可以用个比较通俗的说法，那就是使用具有腐蚀性的一些化学材料对某种物品进行腐蚀，将不需要的部分腐蚀掉，从而将其雕刻成所需要的目标物品的过程。那这个具有腐蚀性的化学材料，就称为蚀刻液了。那专业的蚀刻液解释又是什么呢？蚀刻液是通过侵蚀材料的特性来进行雕刻的一种液体，是一种铜版画雕刻用原料。从理论上讲，凡能氧化钢而生成可溶性铜盐的试剂，都可以用来蚀刻敷铜箔板，但是蚀刻液用途要权衡对抗蚀层的破坏情况、蚀刻速度，溶液再生及铜的回收、环境保护及经济效果等各方面的影响因素选择合适的试剂。蚀刻液一般分为酸性蚀刻液和碱性蚀刻液两种。酸性蚀刻液主要成分氯化铜、盐酸、氯化钠和氯化铵。它的机理是：，；酸性蚀刻液具有蚀刻速率易控制,蚀刻液在稳定状态下能达到高的蚀刻质量的特性；同时，它的溶铜量大；酸性蚀刻液也较容易再生与回收，从而减少污染。有研究表明，酸性氯化铜蚀刻液的蚀刻系数通常为3，以硝酸为基础的蚀刻系统可以做到几乎没有侧蚀，达到蚀刻的线条侧壁接近垂直，其蚀刻效果非常好。结合以上特性，酸性蚀刻液一般用于多层印制板的内层电路图形的制作或微波印制板阴板法直接蚀刻图形的制作。BOE蚀刻液专业生产厂家。
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