一种BOE蚀刻液

时间:2022年03月01日 来源:

    离子膜电解法是电解槽30阳极可以为石墨板或钛阳极板,阴极为钛板,用离子膜将阳极液和阴极液隔离开,阳极为需要再生的蚀刻母液,阴极为铜离子20~100g/l,酸度,电解槽30由数个单元电解槽串联组成,单元电解槽30由一个或者数个阳极模框组成,酸性蚀刻废液经循环槽20阳极循环区229进入电解阳极区301,溢流回循环槽20蚀刻循环区230。调整好循环槽20的阴极循环区231的开槽铜离子浓度20~100g/l,经电解槽30阴极然后溢流回循环槽20阴极循环区231完成正常循环,电解过程中阴极钛板生成金属铜,一定时间后铜可以剥离下来,剩下的废水成为再生液,再生液因电解使铜离子浓度越来越低,酸度上升,同时比重下降时,通过比重自动添加器添加母液来提高再生液铜离子的浓度。当循环槽20阳极循环区229铜离子因蚀刻线生产使铜离子升高,比重上升时,通过比重自动添加器添加再生液,完成盐酸添加。电流由orp检测自动控制器控制,orp一般控制在300~600mv,其电流密度相应控制在0~9000ma/dm2。当orp偏低时orp检测自动控制器自动上调电流,使蚀刻液废液中的cu+离子通过阳极氧化重新转变为cu2+离子而恢复其蚀刻能力,当orp偏高时orp检测器自动降低电流防止氯气的产生。苏州博洋化学股份有限公司,BOE蚀刻液。一种BOE蚀刻液

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一种蚀刻方法,其特征在于,使用根据权利要求1至7中任一项所述的蚀刻液,在铜的存在下选择性地蚀刻钛。蚀刻液及蚀刻方法技术领域[0001]本发明涉及一种用来在铜的存在下选择性地蚀刻钛的蚀刻液及使用该蚀刻液的蚀刻方法。背景技术[0002]以往,在蚀刻钛时一直使用含有氢氟酸或过氧化氢的蚀刻液。例如文献1中提出了一种钛的蚀刻液,该钛的蚀刻液是用来在铜或铝的存在下蚀刻钛,并且该蚀刻液的特征在于:利用由10重量%至40重量%的过氧化氢、0.05重量%至5重量%的磷酸、0.001重量%至0.1重量%的膦酸系化合物及氨所构成的水溶液将pH值调整为7至9。[0003]但是,含有氢氟酸的蚀刻液存在毒性高福建电子级BOE蚀刻液厂家现货苏州博洋化学股份专业生产BOE蚀刻液。

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    蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术,蚀刻技术分为湿蚀刻和干蚀刻,其中,湿蚀刻是采用化学试剂,经由化学反应达到蚀刻的目的,薄膜场效应晶体管液晶显示器(tft~lcd)、发光二极管(led)、有机发光二极管(oled)等行业用作面板过程中铟锡氧化物半导体透明导电膜(ito)的蚀刻通常采用盐酸和硝酸的混合水溶液。现有的制备装置在进行制备时会发热反应,使得装置外壳稳定较高,工作人员直接接触有烫伤风险,热水与盐酸接触会产生较为剧烈的反应,溅出容易伤害工作人员,保护性不足,盐酸硝酸具有较强的腐蚀性,常规的搅拌装置容易被腐蚀,影响蚀刻液的质量,用防腐蚀的聚四氟乙烯搅拌浆进行搅拌,成本过高,且混合的效果不好。所以,如何设计一种ito蚀刻液制备装置,成为当前要解决的问题。

    线路板制造流程中的蚀刻工序,是线路板制造的一道重要工序,此工序过程中产生的废液是一种高含铜量的废液(含铜110-160克/升)。对此蚀刻废液,传统的做法是由当地有资质的回收公司把废液拉走,然后使用化学方法(中和法或置换法)回收废液内的铜做成海绵铜或硫酸铜。这些方法工艺落后,铜回收不彻底,处理的经济效益不明显,提完铜后的废液直接外排,造成“二次污染”,对当地水体生态系统造成较大破坏。因此,市面上出现了众多的蚀刻液铜回收系统,采用电解的方式获得阴极铜板,虽然对铜回收有了进一步的成效,但依然存在以下几点不足:(1)阴极铜板表面易被氧化,发黑,纯度低;(2)阴极板上四周都会长铜,且铜分布不均匀,四周被很厚的铜包裹,而中间薄,厚度不一致,阴极板上铜的有效面积小,导致后续很难将铜拆下来;(3)在电解的过程中,挥发出的有害气体溢出,对人体有害;(4)需要人工搬运输送阴极铜板,消耗很多的人力,且效率低。 选择苏州博洋化学股份有限公司,安心,放心,舒心。

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BOE蚀刻液的溶液成分。一种BOE蚀刻液

    在电子线路版(PCB)蚀刻过程中,蚀刻液中的铜含量渐渐增加。蚀刻液要达到比较好的蚀刻效果,每公升蚀刻液需含120至180克铜及相应分量的蚀刻盐(NH4CI)及氨水(NH3)。要持续蚀刻液中上述各种成份的浓度比较好水平,蚀刻用过后的(以下称[用后蚀刻液])溶液需不断由添加的药剂所取缔。本系统将大量原本需要排放的用后蚀刻液再生还原成为可再次使用的再生蚀刻液。只需极少量的补充剂及氨水,补偿因运作时被带走而失去的部份。从而取代蚀刻子液,既可达到蚀刻工艺的要求,又可节省生产成本。蚀刻液再生循环系统有酸性、碱性两大系统,两大系统又可分为萃取法、直接电解法。可将大量原本需要排放的用后蚀刻液还原再生成为可再次使用的再生蚀刻液。从而减少生产废液的排放,回用降低生产成本,且可提取出高纯度电解金属铜。 一种BOE蚀刻液

苏州博洋化学股份有限公司成立于1999年,公司座落于苏州市高新区化工工业园,是一家集研发、生产、销售为一体的大型精细化工企业,主要为先进半导体封装测试、TFT、FPD平板显示、LED、晶体硅太阳能、PCB等行业提供专业的化学品解决方案。努力构建面向未来的创新型和学习型企业。博洋股份于2015年11月在全国中小企业股份转让系统成功挂牌。(证券代码:834329)拥有先进的理化分析、应用测试仪器以及一支以本科、硕士、博士为主的多层次研发团队,致力于超净高纯、功能性微电子化学品的研究开发;并根据客户的个性化需求量身定制整套化学品解决方案,力求持续的为客户创造价值。博洋除拥有完善的自主研发能力外,与华东理工大学共同建立省级研究生工作站;长期保持与苏州大学、中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所的合作关系,以辅助新产品的开发测试。对新技术、新工艺的研究精益求精,立志成为微电子材料领域个性化解决方案的***

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