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Buffered Oxide Etch，BOE就是buffer oxide etch， B.O.E 缓冲蚀刻液 BOE是HF与NH4F依不同比例混合而成。6:1 BOE蚀刻即表示49%HF水溶液：40%NH4F水溶液=1：6（体积比）的成分混合而成。刻蚀速度约10nm每秒。HF为主要的蚀刻液，NH4F则作为缓冲剂使用。利用NH4F固定〔H+〕的浓度，使之保持一定的蚀刻率。HF会浸蚀玻璃及任何含硅石的物质，对皮肤有强烈的腐蚀性，不小心被溅到，应用大量水冲洗。

BOE（Buffered Oxide Etch），缓冲氧化物刻蚀液。由氢氟酸（49%）与水或氟化铵与水混合而成。 河南如何分类BOE蚀刻液主要作用如何选择一家好的做BOE蚀刻液的公司。

在PCB行业中会产生大量微蚀液、蚀刻液、硝酸铜等含有不同浓度的重金属废水，如果不进行处理就直接排放一方面造成资源的严重浪费，另一方面还会严重影响我们环境和自身健康！ 以前对于这些废液的处理方法是通过投加大量的药剂实现的，但是传统的加化学药剂，操作成本高，且造成大量铜污泥产生及排放废水导电度过高（溶解性盐类造成），导致废水回用难度加大或者根本无法回收使用的后续问题。因此现在一般都是使用提取再生的方式，蚀刻液提取再生的方法有酸性、碱性两大系统，可将大量的废蚀刻液提取再生成为新的蚀刻液。从而减少生产废液的排放，回用降低生产成本，且可提取出高纯度电解金属铜。 酸性蚀刻生产线——废液收集槽——中间储存罐——电解槽——配药槽——再生液储存罐——添加槽 碱性蚀刻生产线——废液收集——萃铜及废液再生——调配——氨水洗收集——铜回收及氨水洗再生——再生水储存——反萃——电解——出铜

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缓冲氧化物蚀刻剂(BOE)是一种用于微细加工的液体腐蚀剂。它的主要用途是蚀刻二氧化硅(SiO2)或氮化硅(Si3N4)的薄膜。它是氟化铵(NH4F)和氢氟酸(HF)等缓冲液的混合物。浓缩的HF蚀刻二氧化硅的速度太快，不能很好地进行工艺控制，同时也会剥落用于光刻图案化的光刻胶。BOE6:1is6partsbyvolume40%ammoniumfluorideand1partbyvolume49%HF.应用缓冲氧化物蚀刻剂(BOE)6：1可用于栅极光刻(gatephotolithography)的AlGaN/GaN基高电子迁移率晶体管的氧化物去除。它可用于缓冲氧化物蚀刻剂法，制造微型生物芯片。BOE蚀刻液的技术指标哪家比较好？河南BOE蚀刻液按需定制

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