山东无机BOE蚀刻液厂家现货

时间:2023年12月07日 来源:

Cu2+的蚀刻作用由次要地位而跃居主要地位,此时蚀刻速率慢,即应考虑蚀刻液的更新。一般工厂很少分析和测定蚀刻液中的含铜量,多以蚀刻时间和蚀刻质量来确定蚀刻液的再生与更新。蚀刻铜箔的同时,还伴有一些副反应,就是CuCl2和FeCl3的水解反应:FeCl3+3H2O→Fe(OH)3↓+3HClCuCl2+2H2O→Cu(OH)2↓+2HCl生成的氢氧化物很不稳定,受热后易分解:2Fe(OH)3→Fe2O3↓+3H2OCu(OH)2→CuO↓+H2O结果生成了红色的氧化铁和黑色的氧化铜微粒,悬浮于蚀刻液中,对抗蚀层有一定的破坏作用。2.影响蚀刻速率的因素Fe3+的浓度和蚀刻液的温度蚀刻液温度越高,蚀刻速率越快,温度的选择应以不损坏抗蚀层为原则。Fe3+的浓度对蚀刻速率有很大的影响。蚀刻液中Fe3+浓度逐渐增加,对铜的蚀刻速率相应加快。当所含Fe3+超过某一浓度时,由于溶液粘度增加,蚀刻速率反而有所降低。什么制程中需要使用BOE蚀刻液。山东无机BOE蚀刻液厂家现货

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铜酸蚀刻液是半导体和显示技术中一类重要的原材料。半导体、薄膜晶体管液晶显示器),有机发光半导体)等微电路原件首先由铜、钼或其合金在玻璃基板或者绝缘层上形成一定厚度的膜层,再用光刻胶形成图案,然后用铜酸蚀刻液将图案外的金属蚀刻掉,再用去光阻液将光刻胶去掉,以进行金属膜层的图案化,形成电极电路。随着显示器的大型化以及画质高清化,需要电阻率更低的金属来做电子传输导线,目前铜金属可以满足电导率高、价格相对较低等要求,但由于其与玻璃基板的粘附性较差以及铜元素易于向氧硅或者氮硅膜内进行扩散,所以会在其与玻璃之间加一层很薄的缓冲层,一般选用钼或者钼合金。安徽介绍BOE蚀刻液联系方式维信诺用的哪家的BOE蚀刻液?

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Buffered Oxide Etch,BOE就是buffer oxide etch, B.O.E 缓冲蚀刻液 BOE是HF与NH4F依不同比例混合而成。6:1 BOE蚀刻即表示49%HF水溶液:40%NH4F水溶液=1:6(体积比)的成分混合而成。刻蚀速度约10nm每秒。HF为主要的蚀刻液,NH4F则作为缓冲剂使用。利用NH4F固定〔H+〕的浓度,使之保持一定的蚀刻率。HF会浸蚀玻璃及任何含硅石的物质,对皮肤有强烈的腐蚀性,不小心被溅到,应用大量水冲洗。

BOE(Buffered Oxide Etch),缓冲氧化物刻蚀液。由氢氟酸(49%)与水或氟化铵与水混合而成。

   蚀刻(etching)是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术可以分为湿蚀刻(wetetching)和干蚀刻(dryetching)两类。湿蚀刻就是利用合适的化学溶液腐蚀去除材质上未被光阻覆盖(感光膜)的部分,达到一定的雕刻深度。蚀刻精度高,则可以完成精度要求更高的精细零件的加工,扩大蚀刻应用的范围。目前已经使用的蚀刻液类型有六种类型:酸性氯化铜,碱性氯化铜,氯化铁,过硫酸铵,硫酸/铬酸,硫酸/双氧水蚀刻液。常用的化学药水,硝酸、氢氟酸等。如何挑选一款适合公司的BOE蚀刻液?

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