福建哪些新型BOE蚀刻液主要作用

时间:2023年12月21日 来源:

缓冲氧化物蚀刻液(BOE)又称为缓冲氧化物蚀刻剂,是由氢氟酸(49%)与水或氟化铵与水混合而成。作为一种湿式蚀刻剂,缓冲氧化物蚀刻液具有速率快、蚀刻容易控制、溶解能力高等特点。缓冲氧化物蚀刻液主要用于蚀刻二氧化硅(SiO2)或氮化硅(Si3N4)的薄膜,下游应用涉及到光伏太阳能、半导体、平板显示等多个领域。

年来,得益于新能源、电子等产业的快速发展,全球缓冲氧化物蚀刻液市场规模不断扩大,发展到2020年,全球缓冲氧化物蚀刻液市场规模已达到4.2亿元。目前缓冲氧化物蚀刻液下游市场处于发展阶段,对缓冲氧化物蚀刻液的需求仍保持增长态势,因此未来缓冲氧化物蚀刻液行业发展前景较好。 友达光电用的哪家的BOE蚀刻液?福建哪些新型BOE蚀刻液主要作用

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    三氯化铁蚀刻液在印制电路、电子和金属精饰等工业中被采用,一般用来蚀刻铜、铜合金、不锈钢、铁及锌、铝等。虽然近些年来越来越要求再生容易,更加环保的蚀刻液,但由于三氯化铁蚀刻液它的工艺稳定,操作方便,价格便宜,因此还仍然被广大蚀刻加工企事业单位采用。三氯化铁蚀刻液适用于网印抗蚀印料、液体感光胶、干膜、镀金抗蚀层等抗蚀层的印制板的蚀刻。(但不适用于镍、锡、锡-铅合金等抗蚀层)1.蚀刻时的主要化学反应三氯化铁蚀刻液对铜箔的蚀刻是一个氧化-还原过程。在铜表面Fe3+使铜氧化成氯化亚铜。同时Fe3+被还原成Fe2+。FeCl3+Cu→FeCl2+CuClCuCl具有还原性,可以和FeCl3进一步发生反应生成氯化铜。FeCl3+CuCl→FeCl2+CuCl2Cu2+具有氧化性,与铜发生氧化反应:CuCl2+Cu→2CuCl所以,FeCl3蚀刻液对Cu的蚀刻时靠Fe3+和Cu2+共同完成的。其中Fe3+的蚀刻速率快,蚀刻质量好;而Cu2+的蚀刻速率慢,蚀刻质量差。新配制的蚀刻液中只有Fe3+,所以蚀刻速率较快。但是随着蚀刻反应的进行,Fe3+不断消耗,而Cu2+不断增加。当Fe3+消耗掉35%时,Cu2+已增加到相当大的浓度,这时Fe3+和Cu2+对Cu的蚀刻量几乎相等;当Fe3+消耗掉50%时。 福建哪些新型BOE蚀刻液主要作用

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