10pWAFER制造厂

时间:2021年06月12日 来源:

通常,参数测试系统将电流或电压输入被测器件(DUT),然后测量该器件对于此输入信号的响应。这些信号的路径为:从测试仪通过电缆束至测试头,再通过测试头至针座,然后通过针座至芯片上的焊点,到达被测器件,并后沿原路径返回测试仪器。如果获得的结果不尽如人意,问题可能是由测量仪器或软件所致,也可能是其它原因造成。通常情况下,测量仪器引进一些噪声或测量误差。而更可能导致误差的原因是系统的其它部件,其中之一可能是接触电阻,它会受针座参数的影响,如针座的材料、针尖的直径与形状、焊接的材质、触点压力、以及针座的平整度。此外,针座尖磨损和污染也会对测试结果造成极大的负面影响。针座测片子时,用细砂子轻轻打磨针尖并通以氮气,减缓氧化过程。10pWAFER制造厂

在设备方面,生产半导体测试针座的相关设备价格较高,国内厂商没有足够的资金实力,采购日本厂商的设备。另一方面,对于半导体设备而言,产业链各个环节均会采购定制化的设备,客户提出自身需求和配置,上游设备厂商通过与大型客户合作开发,生产出经过优化的适合该客户的设备。因此,即使国产针座厂商想采购日本设备厂商的专业设备,也只能得到标准化的产品。在原材料方面,国产材质、加工的刀具等也不能达到生产半导体测试针座的要求,同时日本厂商在半导体上游原材料方面占据的优势,其提供给客户的原材料也是分等级的,包括A级、B级、S级,需要依客户的规模和情况而定。10pWAFER制造厂随着针座开始接触并逐渐深入焊点氧化物和污染物的表层,接触电阻减小而电流流动迅速开始。

针尖有铝粉:测大电流时,针尖上要引起多AL粉,使电流测不稳,所以需要经常用洒精清洗针座并用氮气吹干,同时测试时边测边吹氮气,以减少针尖上的AL粉。针尖有墨迹:测试时打点器没有调整好,尼龙丝碰到针尖上,针尖上沾上墨迹,然后针尖与压点接触时,压点窗口上墨迹沾污,使片子与AL层接触不良,参数通不过,还有对后续封装压焊有影响,使芯片与封装后成品管脚焊接质量差,所以平时装打点器时,不要把打点器装得太前或太后和太高或太低,而应该使尼龙丝与硅片留有一定距离,然后靠表面涨力使墨水打到管芯中心,如已经沾上墨迹,要立即用酒精擦干净,并用氮气吹干。

在实际的芯测试中针座的状态是非常重要的,如针座氧化,触点压力、以及针座的平整度,针座尖磨损和污染都会对测试结果造成极大的负面影响,这些常见故障是如何形成的,而我们应该如何避免:如果是集成电路的问题,就需要将坏的集成电路拆卸下来,将替换的集成电路安装上去。很多现代大规模集成电路的封装往往是BGA封装,手工拆卸几乎不可能,需要专门的仪器。可见,集成电路如果在PCB阶段才测试出问题,对生产的影响高于单片的阶段。对于复杂的设备,如果在整机阶段才发现集成电路的问题,其影响更是巨大。因此,集成电路生产时的测试具有很重要的意义。针座是自动测试仪与待测器件之间的接口。

将晶圆针座的输入输出针座垫片(I/O pads)放在接脚和针座正确对应的晶圆后,针座会将晶圆向上挪动,使其电气和连接于测试仪上的针座接触,以进行探测。当测试完成,则会自动将下一个待测晶圆替换到针座下面,如此周而复始地循环着。半导体生产过程中的探测,可略分为三大类:参数探测:提供制造期间的装置特性测量;晶圆探测:当制造完成要进行封装前,在一系列的晶圆上(wafer sort)测试装置功能;以针座为基础的晶圆处理探测(Final Test):在出货给顾客前,对封装完成的装置做后的测试。某些针尖位置低的扎伤AL层,对后续封装压焊有影响。四川连接器针座

针座尖磨损和污染也会对测试结果造成极大的负面影响。10pWAFER制造厂

“精确度”是探测仪器基本的指针,涵盖定位、温度及生产率等三个层面。首先,必须能稳定、精确地探测到小型垫片,载台系统亦须精确、能直接驱动晶圆托盘,并在晶圆移动的过程中准确地将晶圆和晶圆对位;其次,必须具备动态监控机制,确保所挟带的空气以监控温度、掌握可靠度和稳定性;后,必须对高产出的进阶移动做动态控制才能拥有佳的终结果。整体而言,针脚和垫片之间的相应精确度应在±1.5μm之间。随着新工艺的微缩,为了强化更小晶粒定位的精确性,需要动态的Z轴辅助校正工作,以避免无谓的产出损失。10pWAFER制造厂

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