浙江针座联系方式

时间:2021年06月29日 来源:

半导体生产过程中的探测,可略分为三大类:1.参数探测:提供制造期间的装置特性测量;2.晶圆探测:当制造完成要进行封装前,在一系列的晶圆上(wafer sort)测试装置功能;3.以针座为基础的晶圆处理探测(Final Test):在出货给顾客前,对封装完成的装置做后的测试。晶圆在通过基本的特性测试后,即进入晶圆探测阶段,此时需要用复杂的机器、视觉及软件来侦测晶圆上的每颗裸晶,精确度约在±2.0μm之间。将晶圆针座的输入输出针座垫片(I/O pads)放在接脚和针座正确对应的晶圆后,针座会将晶圆向上挪动,使其电气和连接于测试仪上的针座接触,以进行探测。当测试完成,则会自动将下一个待测晶圆替换到针座下面,如此周而复始地循环着。系统在测试每个芯片的时候对芯片的好坏与否进行判断,发出合格与不合格的信号。浙江针座联系方式

在半导体器件与集成电路制造工艺中,从单晶硅棒的制取到终器件制造的完成需经过复杂的工序,可分为前道工序与后道工序,针座是检测半导体芯片的电参数、光参数的关键设备。经过检测,针座将参数特性不符合要求的芯片记录下来,在进入后序工序前予以剔除,降低器件的制造成本。针座是半导体(包括集成电路、分立器件、光电器件、传感器)行业重要的检测装备之一,其普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。浙江针座联系方式针座尖磨损和污染都会对测试结果造成极大的负面影响。

针座治具的校准:我们希望校准过程尽可能的把测试网络中除DUT外所有的误差项全部校准掉,当使用针座夹具的方式进行操作有两种校准方法:1-->一种方式是直接对着电缆的SMA端面进行校准,然后通过加载针座S2P文档的方式进行补偿; 2-->第二种方法是直接通过针座搭配的校准板在针座的端面进行校准。是要告诉大家如果直接在SMA端面进行校准之后不补偿针座头,而直接进行测量的话会带来很大的误差。针座厂商一般都会提供针座的S2P文档与校准片,校准片如下图所示,上面有Open、Short、Load及不同负载的微带线。

针座的使用:1、将样品载入真空卡盘,开启真空阀门控制开关,使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。2、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台,在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。3、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。4、显微镜切换为高倍率物镜,在大倍率下找到待测点,再微调显微镜聚焦和样品,将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。待测点位置确认好后,再调节针座座的位置,将针座装上后可眼观先将针座移到接近待测点的位置旁边,再使用针座座-Z三个微调旋钮,慢慢的将针座移至被测点,此时动作要小心且缓慢,以防动作过大误伤芯片。针座并通过测试数据反馈,让设计芯片的工程师能及时发现并纠正制作过程中的问题。

通常,参数测试系统将电流或电压输入被测器件(DUT),然后测量该器件对于此输入信号的响应。这些信号的路径为:从测试仪通过电缆束至测试头,再通过测试头至针座,然后通过针座至芯片上的焊点,到达被测器件,并后沿原路径返回测试仪器。如果获得的结果不尽如人意,问题可能是由测量仪器或软件所致,也可能是其它原因造成。通常情况下,测量仪器引进一些噪声或测量误差。而更可能导致误差的原因是系统的其它部件,其中之一可能是接触电阻,它会受针座参数的影响,如针座的材料、针尖的直径与形状、焊接的材质、触点压力、以及针座的平整度。此外,针座尖磨损和污染也会对测试结果造成极大的负面影响。某些针尖位置高的扎不上AL层,使测试时这些针上电路不通。针座批发

芯片测试是为了检验规格的一致性而在硅片集成电路上进行的电学参数测量。浙江针座联系方式

如何将针座连接至待测点:(1) 显微镜小倍数物镜下找到待测点(或附近的位置),使待测点成像清晰。(2) 确认定位器XYZ三轴均中间行程位置(即各轴导轨端面螺丝对齐)。Z轴也可略向上错开3mm左右。(3) 安装并调节好针座的高度,侧向平视,观察针座与样品台(或样品)间的距离(大概5mm,或略小于5mm)。可通过调节针座臂或针座臂适配器的高度进行粗调定位。(4) 移动定位器,将所有针座移动至显微镜光斑下。此时通过目镜观察可看到针座的虚影(针座成像未实体化)。浙江针座联系方式

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