金山区金属类金刚石加工

DLC薄膜本身没有颜色，不具备色素显色（如花朵的颜色）的条件，其显色都来源于结构的不同，属于典型的结构显色（如彩虹的颜色）。其中，氢元素和sp2杂化碳的含量直接影响DLC薄膜颜色的鲜艳程度，薄膜显色可以归结于等距层状结构的薄膜干涉；而随着氢含量的降低和sp2杂化碳一定程度的增加，使得薄膜光吸收增加，DLC颜色变得暗淡，薄膜干涉不能完全解释，需引入非晶光子晶体显色机制。当sp3含量明显增加时，DLC薄膜接近于透明的金刚石薄膜时，非晶光子晶体显色机制占主导作用。据此，研究人员成功发展出利用DLC薄膜颜色快速分析DLC薄膜种类和结构的新方法。该方法不需要传统DLC分类手段的苛刻实验条件，通过简单的颜色规律实现DLC薄膜的快速初步分类，将推动其在多个重要应用领域的快速发展。相关研究成果在线发表在AdvancedOpticalMaterials上。类金刚石薄膜的性能与应用。金山区金属类金刚石加工

纳米压印是一种理想的光刻技术,它具有生产率和分辨率高的特点.脱模过程中,粘连限制了图形的精确转移,因此,抗粘连成为纳米压印技术需要解决的关键问题.氟化自组装单分子层是一种被多种应用的抗粘连涂层,介绍和分析了其在耐热性和降解方面的新的研究进展.介绍了类金刚石碳膜、在光刻胶上喷涂脱模剂和含氟表面活化剂在纳米压印抗粘连研究上的进展,分析了这些方法所存在的问题及纳米压印抗粘连的发展趋势.上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。金山区金属类金刚石加工DLC涂层在骨科中也有应用。

类金刚石薄膜(DLC)是1种非晶薄膜，可分为无氢类金刚石碳膜(a-C)和氢化类金刚石碳膜(a-C:H)(图2)两类。无氢类金刚石碳膜有a-C膜(主要由sp3和sp2键碳原子相互混杂的三维网络构成)，以及四面体非晶碳(tetrahedralcarbon，简称ta-C)(主要由超过80%的sp3键碳原子为骨架构成);氢化类金刚石碳膜(a-C:H)又可分为类聚合物非晶态碳(polymer-likecarbon，简称PLC)、类金刚石碳、类石墨碳3种，其三维网络结构中同时还结合一定数量的氢.类聚合物非晶态碳是含氢金刚石薄膜的一种它是非晶体又有类似于聚合物那种通过相同简单的结构单元通过共价键重复连接而成的化合物。这种类金刚石薄膜因为sp2键占据了主要数量，所以比较软，又不具备石墨的特性，使得它的用途受到了限制，在摩擦学的应用上还处在起步阶段。

虽然液相电沉积技术在制备类金刚石薄膜及其相关材料方面具有很多优势，目前对电化学沉积DLC薄膜的研究报道也越来越多，但这一领域仍有很多方面需要进一步研究:(1)继续扩大成膜基底的选择范围,并深入研究不同基底材料对DLC薄膜性能的影响;(2)更为全面地研究不同电解液和沉积条件对薄膜性质的影响;(3)深入研究成膜机理,并建立具有普遍指导意义的理论模型;(4)开展功能元素的掺杂,使其可以在微电子、生物传感器等高新领域得到应用。电沉积方法的独特优势，决定了它巨大的发展潜力，已在近年来受到了人们的普遍重视，相信随着研究的不断深入，技术的不断发展和成熟，该领域的研究范围将会越来越广，研究成果也会越来越丰硕。DLC薄膜的性能与应用DLC薄膜将高硬度、低摩擦系数、耐磨损、抗划伤性、耐腐蚀性、抗粘连、化学稳定性等特性完美地结合，在力学、摩擦学、生物学、电学、光学、热学和声学等方面展示出优良特性，可广泛应用于机械、工模具、刀具、汽车、电子、光学、生物医学、航空航天、装饰外观保护，如手表外壳、首饰配件、手机外壳等领域。类金刚石碳膜淀积工艺及设备研制。

纳米金刚石微粉：纳米技术是上世纪9O年代后兴起的一项高新技术，纳米级金刚石由尺寸为纳米级，即十亿分之一米的金刚石微粒组成，是近几年来用炸裂技术合成的新材料。它不但具有金刚石的固有特性，而且具有小尺寸效应、大比表面积效应、量子尺寸效应等，因而展现出纳米材料的特性。在爆轰波中合成的这种金刚石具有立方组织结构，晶格常数为（O.3562+0.0003）nm，晶体密度为3.1g／cm³，比表面积为300m²／g~390m²／g。用不同的化学方法处理后，金刚石表面可形成多种不同的官能团，这种金刚石晶体具有很高的吸附能力。DLC膜不仅具有优异的耐磨性，而且具有很低的摩擦系数。闵行区钻头类金刚石加工

DLC薄膜本身没有颜色，不具备色素显色。金山区金属类金刚石加工

分别以氩气-甲烷、氩气-乙炔为辅助气体,高纯石墨为靶材,利用中频脉冲非平衡磁控溅射技术制备了类金刚石薄膜.采用Raman光谱、X射线光电子能谱、纳米压痕测试仪、表面形貌进行了分析.Raman光谱和X射线光电子能谱测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜中sp3杂化键的含量比以氩气-乙炔为辅助气体制备的类金刚石薄膜的高.纳米压痕测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜的纳米硬度比以氩气-乙炔为辅助气体的高.原子力显微镜测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜的RMS表面粗糙度比以氩气-乙炔为辅助气体的低.以上结果说明辅助气体组成对类金刚石薄膜的键结构、机械性能、表面形貌有较大的影响.上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。金山区金属类金刚石加工