宝山工具DLC技术

DLC形式的碳膜因其高硬度、低摩擦系数成为一种具有广泛应用前景的镀层，但其通常具有较高的内应力因而薄膜沉积的厚度受到限制。类金刚石薄膜通常又被人们称为DLC薄膜，是英文词汇DiamondLikeCarbon的简称，它是一类性质近似于金刚石，具有高硬度，高电阻率。良好光学性能等，同时又具有自身独特摩擦学特性的非晶碳薄膜。主要包含sp2和sp3两种杂化键，而在含氢的DLC膜中还存在一定数量的C-H键。了它作为刀具对钢铁材料的加工应用。以sp2杂化为主的高硬度类石墨膜，具有较高的硬度，又有低的摩擦系数，内应力比较小，因而可以沉积相对较厚的膜层，在与钢铁材料接触时不会出现触媒反应，是一种优异的抗磨减摩镀层。DLC膜是一种共价键形式的非晶碳材料，它主要以SP2和SP3两种杂化方式存在，而DLC膜的性质也主要由SP2和SP3键的相对含量所决定，由于SP3键的含量变化范围宽，在不同工艺条件下制备的DLC膜的性能也有所不同。DLC膜的性能包括：低摩擦系数、高耐磨性、高导热率、高电阻率、高硬度、良好的光学透过性和生物相容性，所以现在被广泛应用在机械、汽车、电子、光学、医疗等领域。纯DLC膜具有优异的耐蚀性，各类酸、碱甚至王水都很难侵蚀它。类金刚（DLC）石薄膜的分类。宝山工具DLC技术

类金刚石膜是一类性质类似于金刚石的具有多项质量性能的新型膜材料，它的面世是人类膜材料科学的一大进步。由于类金刚石膜的高耐磨性、低摩擦系数、热稳定性、红外透光性、高电阻、低介电常数及生物相容性，适合于多个领域的应用，同时类金刚石膜的制备方法简单，使其引起人们的关注。我们来谈谈类金刚石膜的发现、结构和制备方法，介绍一下多层类金刚石膜在机械、光学、医疗、电子、航天等领域的应用，总结一下它的研究现状和发展前景。随着人类对金刚石的研究的深入和其应用的，人类对其的需求越来越大，但是，由于制备金刚石的工业化工艺条件比较难以实现，因此人们渴望能有一种可以替代金刚石的新材料。类金刚石膜（diamond-like-carbon）简称DLC，是一类性质类似于金刚石具有高电阻率、高硬度、热稳定性、高电阻、低介电常数、的光学性能、及良好的生物相容性等多项优良性能的非晶体碳膜，一般利用非平衡气相工艺合成的以碳或以碳和氢为主要成分的一种兼有自身独特低摩擦系数和高耐磨性的材料。随着人们研究的深入，发现DLC是一种集多个优点于一身的且应用前景十分广阔的新型薄膜材料。世界各国对其的研究也在不断的深入中。永康纳米DLCDLC涂层结合强度不高，通过纳米调制等手段来提高其结合力。

在DLC薄膜应用的过程中，选择合适种类的DLC薄膜显得尤为重要。因此，DLC薄膜的分类以及分类标准的制定，直接影响了其在众多领域的应用。而传统的DLC薄膜分类方法通常需要根据DLC薄膜的微结构定量分析来完成。然而，这一方法需要基于大型同步辐射光源的X射线近边吸收精细结构谱（NEXAFS）分析碳元素的成分和状态；需要大型静电加速器的卢瑟福背散射弹性反冲（RBS/ERDA）或者中子源等分析氢元素含量，执行起来非常困难。因此，一般实验条件难以实现对DLC的准确分类，从而导致DLC在应用领域难以实现精细调控和定量研发。

DLC薄膜的制备方法：利用化学气相沉积制备的DLC薄膜膜层致密，和基体结合力好。某些特殊薄膜还具有特异的光学、点穴和热血等各种物理和化学性能，这类膜层表现出许多优点，包括膜厚比较均匀，膜层质量稳定，绕镀性好且易于实现批量生产，因此得到了广泛应用。从沉积条件看，要实现气体与基体界面的化学反应，在沉积反应过程中必须有一定的开启能。按照开启方式的不同，可以分为热丝化学气相沉积（HFCVD）、直接光化学气相沉积（DPCVD）和等离子体增强化学气相沉积（PECVD）等几种方式。优化的沉积类金刚石(DLC)涂层工艺及过渡层技术。

类金刚石(DLC)薄膜与不锈钢的结合强度是DLC薄膜应用于血管支架表面改性的关键技术问题.利用磁过滤阴极真空弧源沉积方法在316L不锈钢表面沉积DLC薄膜,研究沉积时基体偏压、薄膜厚度以及钛过渡层对DLC薄膜与基体结合强度的影响.研究结果表明,316L表面制备相同厚度的DLC薄膜,采用-1000V脉冲偏压制备的薄膜结合强度明显优于-80V直流偏压下制备的DLC薄膜;随着DLC薄膜厚度的增大,DLC薄膜与316L基体的结合力下降;316L不锈钢表面制备一层100nm的钛过渡层之后可以改善DLC薄膜的结合状况,并且经过20%的拉伸变形后,DLC薄膜完整,耐蚀性优于未表面处理的316L不锈钢.以上研究结果表明,磁过滤阴极真空弧源方法制备DLC薄膜与316L结合强度高,可以有效的提高316L的耐腐蚀性,是一种具有应用前景的血管支架表面改性方法.上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达到60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。类金刚石（DLC）涂层的主要成份是碳。浦东工具DLC哪个好

类金刚石薄膜通常又被人们称为DLC薄膜。宝山工具DLC技术

类金刚石在生物医学特性及其应用。由于DLC薄膜在化学成分上（碳、氢元素）能够满足生物相容性的要求并具有高硬度、低摩擦系数、化学惰性等特性，同时具备优异的生物相容性和化学稳定性，越来越多的研究者将目光投向了DLC薄膜在生物医学领域的应用。例如人工关节表面沉积的DLC薄膜，可以增强人工关节的耐磨、耐蚀性能、减少磨屑、增加生物相容性，提高使用性能。在作为人工心脏瓣膜的钛合金或不锈钢表面沉积一层DLC薄膜，不仅能满足生物相容性的要求，而且能够提高该部件的机械和耐腐蚀性能，提高这些部件的使用性能。此外，DLC薄膜对蛋白质的吸附率高，对血小板的吸附率低，可以在不影响主体特征的前提下，从多种途径促进材料表面生成具有活性的功能簇，从而减少血液凝固，使生物组织与植入的人工材料和谐相处，减轻患者的痛苦。宝山工具DLC技术