浦东金属表面DLC工艺

类金刚石镀膜——金属表面摩擦惊人的减少40%。DLC是一种由碳元素构成、在性质上和钻石类似，同时又具有石墨原子组成结构的物质。类金刚石薄膜（DLC）是一种非晶态薄膜，由于具有高硬度和高弹性模量，低摩擦因数，耐磨损以及良好的真空摩擦学特性，很适合于作为耐磨涂层，从而引起了摩擦学界的重视。目前制备DLC薄膜的方法很多，不同的制备方法所用的碳源以及到达基体表面的离子能量不同，沉积的DLC膜的结构和性能存在很大差别，摩擦学性能也不相同。

DLC涂层是在电离和分解的碳或烃类物质以通常为10-300eV的能量降落在基底表面时形成的。浦东金属表面DLC工艺

DLC膜在机械功能领域上的应用(1)钻头、铣刀：DLC膜可以应用于钻头和铣刀上，特别是掺杂金属的DLC膜，它不仅具有高的硬度，还具有低的摩擦系数、抗有色金属粘结。荷兰的Hauzer公司制备的掺金属DLC膜层，用于切削度铝合金时，能减少表面所谓的切屑瘤（BUE）。结果是延长工具的寿命并使工件材料在切削后表面光滑。特别是在干切削和深孔加工方面，膜层性能非常好。广州有色金属研究院也进行了在铣刀上镀TiAlN+DLC膜，在加工有色金属时明显提高使用寿命及加工质量。(2)光盘模具及其辅助模具：光盘模具是生产CD、CDR、DVD的重要工具，为了减少它与母盘（镍盘）的摩擦，希望模具表面硬且摩擦系数小，目前，国外大多采用DLC膜层，有效提高了模具的寿命和盘片的质量。我们制备的DLC膜层也开始用于该领域，并取得了成功。图2为广州有色金属研究院制备的DLC膜层光盘模具模仁，其寿命已达开闭合200万次以上（无涂层模具只有50万次左右）。同时在其辅助模具上镀DLC膜，其寿命也达到了配套使用的要求。镀膜之后有硬度高，摩擦系数低，耐磨，耐腐蚀，抗粘结性好且环保等特点。 扬州塑胶模DLC技术类金刚石薄膜（DLC）是一种非晶态薄膜。

类金刚石(DLC)薄膜与不锈钢的结合强度是DLC薄膜应用于血管支架表面改性的关键技术问题.利用磁过滤阴极真空弧源沉积方法在316L不锈钢表面沉积DLC薄膜,研究沉积时基体偏压、薄膜厚度以及钛过渡层对DLC薄膜与基体结合强度的影响.研究结果表明,316L表面制备相同厚度的DLC薄膜,采用-1000V脉冲偏压制备的薄膜结合强度明显优于-80V直流偏压下制备的DLC薄膜;随着DLC薄膜厚度的增大,DLC薄膜与316L基体的结合力下降;316L不锈钢表面制备一层100nm的钛过渡层之后可以改善DLC薄膜的结合状况,并且经过20%的拉伸变形后,DLC薄膜完整,耐蚀性优于未表面处理的316L不锈钢.以上研究结果表明,磁过滤阴极真空弧源方法制备DLC薄膜与316L结合强度高,可以有效的提高316L的耐腐蚀性,是一种具有应用前景的血管支架表面改性方法.上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达到60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。

类金刚石(DiamondlikecarbonDLC)薄膜是近年来出现的备受关注的新型碳材料，具有高硬度、低摩擦、化学惰性和导热性佳等优异性能，在摩擦学领域具有广阔的应用前景，也是PVD涂层的一种新的应用，特别是对于汽车零部件行业的减磨、自润滑具有重要的意义。汽车行业的长期压力是减少车辆的尾气排放，预计在未来几年内，对排放的要求会更加严格。这将导致大力提倡使用新材料和新处理技术，以增加发动机和传动系统的效率。欧洲、亚洲和美洲各地政策决策者为未来的汽车时代制定新要求已不可避免。现代真空涂层技术是满足上述新要求的关键因素之一，尤其是类金刚石涂层对于减磨、自润滑意义重大，且制备类金刚石薄膜能真正做到无污染、零排放。在零件上应用类金刚石涂层，可通过减少摩擦损失增加发动机效率，提高零件的使用寿命。类金刚石涂层同时也是一种可满足更高负荷要求的特殊新材料，其主要特点为自润滑、低摩擦、抗腐蚀、耐高温，且具有非常高的化学惰性。不同工艺下的DCL薄膜形貌不一样。

DLC薄膜的制备方法：利用化学气相沉积制备的DLC薄膜膜层致密，和基体结合力好。某些特殊薄膜还具有特异的光学、点穴和热血等各种物理和化学性能，这类膜层表现出许多优点，包括膜厚比较均匀，膜层质量稳定，绕镀性好且易于实现批量生产，因此得到了广泛应用。从沉积条件看，要实现气体与基体界面的化学反应，在沉积反应过程中必须有一定的开启能。按照开启方式的不同，可以分为热丝化学气相沉积（HFCVD）、直接光化学气相沉积（DPCVD）和等离子体增强化学气相沉积（PECVD）等几种方式。利用颜色快速分辨类金刚石（DCL）薄膜。浦东金属表面DLC工艺

真空镀DLC膜的膜系结构。浦东金属表面DLC工艺

类金刚石在生物医学特性及其应用。由于DLC薄膜在化学成分上（碳、氢元素）能够满足生物相容性的要求并具有高硬度、低摩擦系数、化学惰性等特性，同时具备优异的生物相容性和化学稳定性，越来越多的研究者将目光投向了DLC薄膜在生物医学领域的应用。例如人工关节表面沉积的DLC薄膜，可以增强人工关节的耐磨、耐蚀性能、减少磨屑、增加生物相容性，提高使用性能。在作为人工心脏瓣膜的钛合金或不锈钢表面沉积一层DLC薄膜，不仅能满足生物相容性的要求，而且能够提高该部件的机械和耐腐蚀性能，提高这些部件的使用性能。此外，DLC薄膜对蛋白质的吸附率高，对血小板的吸附率低，可以在不影响主体特征的前提下，从多种途径促进材料表面生成具有活性的功能簇，从而减少血液凝固，使生物组织与植入的人工材料和谐相处，减轻患者的痛苦。浦东金属表面DLC工艺