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    一边由输送辊输送切取多块用玻璃母材50，一边在蚀刻腔室内使蚀刻液与切取多块用玻璃母材50的单面或者两面接触，从而进行针对切取多块用玻璃母材50的蚀刻处理。此外，在蚀刻装置300中的蚀刻腔室的后级设置有清洗腔室，该清洗腔室用于将附着于切取多块用玻璃母材50的蚀刻液冲走，因此切取多块用玻璃母材50以排除了蚀刻液后的状态从蚀刻装置300排出。作为使蚀刻液与切取多块用玻璃母材50接触的手法的一例，如图22的(a)所示，可列举在蚀刻装置300的各蚀刻腔室302中对切取多块用玻璃母材50喷淋蚀刻液的喷淋蚀刻。另外，还能取代喷淋蚀刻，而如图22的(b)所示，采用如下构成：在溢流型的蚀刻腔室304中，在与溢流的蚀刻液接触的同时输送切取多块用玻璃母材50。进而，如图22的(c)所示，还能采用浸渍式的蚀刻，即，使收纳于载台的单个或者多个切取多块用玻璃母材50浸渍于收纳有蚀刻液的蚀刻槽306。无论在哪种情况下，在蚀刻处理中，使得形状切断预定线在厚度方向上贯通且使切取多块用玻璃母材50不发生分割是重要的。故而，在蚀刻处理中(尤其是蚀刻处理的后半部分)，需要减慢蚀刻速率来准确地控制蚀刻量。

    能在带透明薄膜的玻璃面板的制造方法、带透明薄膜的液晶面板的制造方法、玻璃面板制造方法以及液晶面板制造方法中将伴随蚀刻处理的侧面蚀刻的影响抑制到**小限度。附图说明图1是表示玻璃面板制造方法的一实施方式中所含的工序的图。图2是表示玻璃面板制造方法的一实施方式中所含的工序的图。图3是表示玻璃面板制造方法的一实施方式中所含的工序的图。图4是表示从切取多块用玻璃母材得到了多个玻璃面板的状态的图。图5是表示本发明的一实施方式所涉及的液晶面板的概略构成的图。图6是表示包含多个液晶面板的切取多块用玻璃母材的概略构成的图。图7是表示液晶面板制造方法的一实施方式中所含的工序的图。图8是表示液晶面板制造方法的一实施方式中所含的工序的图。图9是表示本发明所应用的蚀刻装置的一例的图。图10是表示本发明所应用的蚀刻处理的变形例的图。图11是表示针对切取多块用玻璃母材的划线折断加工的概略的图。图12是表示分割后的状态的切取多块用玻璃母材的概略的图。图13是表示液晶面板的构成的特征的图。图14是表示玻璃面板制造方法的一实施方式中所含的工序的图。图15是表示玻璃面板制造方法的一实施方式中所含的工序的图。玻璃面型检测设备可突破玻璃贴膜解决汽车舒适性问题产业瓶颈。

    推荐将耐蚀刻膜6的厚度抑制为75μm以下，进一步推荐地，可以将耐蚀刻膜6的厚度设为60μm以下。如后所述，在本实施方式中，通过形成改性线来加快蚀刻处理，因此即使将耐蚀刻膜6超薄化，也不易带来缺点。在切取多块用玻璃母材4粘贴耐蚀刻膜6后，转移至图14的(c)所示的激光扫描步骤。在激光扫描步骤中，沿与要取出的玻璃面板2的形状对应的形状切断预定线来进行激光束的扫描。其结果是，沿形状切断预定线去除耐蚀刻膜而形成开口部。进而，如图15的(a)～图15的(c)所示，在切取多块用玻璃母材4形成具有易被蚀刻的性质的改性线20。通过沿形状切断预定线去除耐蚀刻膜6，从而沿形状切断预定线来形成耐蚀刻膜6的开口部，其结果是，如图15的(c)所示，切取多块用玻璃母材4的改性线20的形成位置将露出至外部。在本实施方式中，采用了基于皮秒激光的纤线加工，改性线20的宽度被设定为大致10μm以下。若激光扫描步骤结束，则转移至蚀刻步骤。在激光扫描步骤后，通过使切取多块用玻璃母材4与蚀刻液接触来蚀刻改性线20。沿改性线20，蚀刻液变得容易浸透，因此在侧面蚀刻加剧前能结束蚀刻处理。其结果是，能在将伴随蚀刻处理的侧面蚀刻的影响抑制到**小限度的同时。技术特点：整体重复性好，对同一片玻璃 36 个测点进行 3 次玻璃面型检测重复测量，测量值一致。汽车玻璃面型检测采购

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