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该狭缝的尺寸可以通过放置在掩模之前的曝光狭缝来控制。掩模、物镜布置和晶片220中的一个或更多个能够在曝光期间相对于彼此移动，以横跨曝光场扫描曝光窗口。曝光场是在曝光狭缝或窗口的一次扫描中被曝光的晶片220的区域。本实施例还可以使用下列方面进行描述：1.一种具有扁平线的实质上平坦的线圈，所述扁平线包括：导体，具有实质上矩形的横截面，且具有***对侧边和第二对侧边，所述***对侧边定向成实质上垂直于所述线圈的平面，所述第二对侧边定向成实质上平行于所述线圈的平面；和电绝缘材料，在所述***对侧边的侧边中的至少一个上，所述第二对侧边的侧边中的至少一个没有任何电绝缘材料。2.根据方面1所述的实质上平坦的线圈，其中，所述线圈实质上为圆形。3.根据方面1所述的实质上平坦的线圈，其中，所述线圈具有跑道形状。4.根据方面1所述的实质上平坦的线圈，其中，在***对侧边的两个侧边上电绝缘材料。5.根据方面1所述的实质上平坦的线圈，其中，在第二对侧边的两个侧边上没有电绝缘材料。6.一种致动器，包括：永磁体；和具有扁平线的实质上平坦的线圈，所述扁平线包括：导体，具有实质上矩形的横截面，并具有***对侧边和第二对侧边。无线充线圈的制造过程需要严格的质量控制和测试，以确保其性能和安全性符合相关标准和要求。江门线圈联系人
和从所述实质上平坦的***表面的至少一部分去除所述电绝缘材料。可以至少部分通过机加工执行所述去除步骤。可以至少部分通过单点飞切执行所述去除步骤。可以至少部分通过铣削执行所述去除步骤。所述方法可以包括在所述去除步骤之后的附加步骤：去除所述导体中的一些部分以调节所述线圈的电学属性。所述电学属性可以是电阻。所述方法可以包括在所述去除步骤之后的附加步骤：测量所述线圈的电阻。所述方法可以包括在所述去除步骤之后的附加步骤：测量所述线圈的q因子。根据另一方面，公开了一种制造线圈的方法，包括如下步骤：提供导电材料的片材；用电绝缘材料的层覆盖所述片材的至少一侧；卷绕所述片材和层以形成卷；和横向于所述卷的长度切割所述卷以形成线圈。本发明的另外的实施例、特征和优点以及各个实施例的结构和操作将参考随附附图在下文更详细地进行描述。附图说明附图并入本文中并构成说明书的部分，并且通过举例但决不是限制的方式图示了本发明的实施例的方法和系统。所述附图和详细描述一起进一步用来解释本文所呈现的方法和系统的原理，以使得相关领域的技术人能够实施和使用本文所呈现的方法和系统。在附图中，相似的附图标记表示相同的或功能类似的元件。韶关立绕线圈联系人铝线圈的制作工艺较为简单，可以通过手工或机器自动绕制。
所述***对侧边定向成实质上垂直于所述线圈的平面，所述第二对侧边定向成实质上平行于所述线圈的平面；和电绝缘材料，在所述***对侧边的侧边中的至少一个上，所述第二对侧边的侧边中的至少一个没有任何电绝缘材料，所述永磁体和线圈布置成使得当充足幅值的电流流过所述线圈时在所述永磁体和线圈之间形成力。7.一种在光刻设备中用于定位掩模版或晶片的平台，所述平台包括：台；和致动器，机械耦接至所述台，所述致动器包括永磁体和具有扁平线的实质上平坦的线圈，所述扁平线包括：导体，具有实质上矩形的横截面，且具有***对侧边和第二对侧边，所述***对侧边定向成实质上垂直于所述线圈的平面，所述第二对侧边定向成实质上平行于所述线圈的平面；和在所述***对侧边的侧边中的至少一个上的电绝缘材料，所述第二对侧边的侧边中的至少一个没有任何电绝缘材料，所述永磁体和线圈布置成使得当充足幅值的电流流过所述线圈时在所述永磁体和线圈之间形成力。8.一种制造线圈的方法，包括以下步骤：提供一长度的扁平线，所述扁平线包括具有实质上矩形的横截面的导体，用电绝缘材料覆盖所述导体；将所述长度的扁平线卷绕成实质上平坦的线圈。
大部分光束在第二部分中被朝向扫描仪215引导。例如，束分离装置260将光束210的一部分(例如1-2％)引导至量测系统270。束分离装置260能够是例如分束器。扫描仪215包括具有例如一个或更多个聚光透镜、掩模、掩模版和物镜布置的光学布置。掩模可沿一个或更多个方向移动，诸如沿光束210的光轴或在垂直于光轴的平面上。物镜布置包括投影透镜，并使得能够发生图像从掩模转印到晶片220上的光致抗蚀剂。照射器系统调整射到掩模上的光束210的角度范围。照射器系统还使横跨掩模的光束210的强度分布均匀化(使得均匀)。除其它特征部外，扫描仪215能够包括光刻控制器240、空调装置和用于各种电气部件的电源。光刻控制器240控制如何在晶片220上印制多个层。光刻控制器240包括存储器242，该存储器242储存诸如过程选配方案的信息，并且还可以储存关于可以使用或推荐如下文更***地描述的重复率的信息。晶片220被光束210照射。处理程序或选配方案确定晶片120上的曝光长度，所用的掩模以及影响曝光的其它因素。在光刻期间，光束110的多个脉冲照射晶片220的同一区域以构成照射剂量。照射同一区域的光束210的脉冲数n能够被称为曝光窗口或狭缝。无线充线圈通常与控制电路、保护电路和其他辅助部件一起组成完整的无线充电系统。
尽管这可能会导致线圈的厚度发生变化。扁平线圈的顶部和底部通常会表现出绝缘材料的犬牙形卷边，这能影响绕组品质。截去端部去除了所述卷边，所以绕组品质可以得到改善。修改常规的扁平线圈的替代例是使线具有未绝缘的顶表面和/或底表面。应该注意的是，在线圈卷绕期间中，线上的粘合剂层可能会在裸线上挤出。这会增加隔热性(和温度)，并可能增加零件公差。修改常规的扁平线圈的另一种替代例是使用“果冻卷(jellyroll)”过程。箔片材的一面或两面覆盖有绝缘材料和粘结层，卷绕成“果冻卷”，加热以固化粘结层，然后切成所期望厚度的线圈。可以修改单个线圈或已经粘结成叠层的线圈。单个线圈可以在一个侧面或两个侧面上进行修改。存在几种方法可以用于去除绝缘材料。例如，单点飞切可用于修改扁平铜线线圈。也可以使用表面研磨。也可以使用铣削。术语“机加工”旨在涵盖这些方法中的至少任何一种。电阻测量能够用于检测绕组之间是否存在短路。替代地或附加地，线圈的品质因数(电感l与电阻r的比率)能被测量以获得更准确的确定。可以使用截去端部的扁平线圈和结合有截去端部的扁平线圈的致动器，例如以在光刻系统中定位晶片平台或掩模版平台。参考图5。在制作跑道型扁平线圈时，需要注意线圈的绕制方法和材料的质量，以保证线圈的稳定性和可靠性。韶关立绕线圈联系人
立绕扁平线圈的匝数和线径可以根据实际应用需要进行调整，以实现不同的电感和电阻等性能参数。江门线圈联系人
图1a是致动器的前视图。图1b是图1a的致动器的侧视图。图2是示例性电机线圈的图示。图3是沿着图2的线aa截取的图2的示例性电机线圈的横截面图。图4是根据本发明的一个方面的电机线圈的横截面图。图5是能够实施根据本发明的线圈的实施例的示例性光刻设备的图示。本发明的另外的特征和优点以及本发明的各实施例的结构和操作被参考附图在下文更详细地描述。注意到，本发明不限于本文描述的具体实施例。本文*出于图示的目的来呈现这些实施例。基于本文包含的教导，相关领域的技术人员将明白另外的实施例。具体实施方式现在参考附图描述各种实施例，其中，相同的附图标记在全文中用于表示相同的元件。在下面的描述中，出于解释的目的，阐述了许多具体细节以便促进对一个或更多个实施例的透彻理解。然而，在一些或所有的实例中可能清楚的是，可以在不采用以下描述的具体设计细节的情况下实践以下描述的任何实施例。在其它示例中，以框图形式示出了公知的结构和装置，以便于描述一个或更多个实施例。以下呈现了一个或更多个实施例的简化概述，以便提供对实施例的基本理解。这一概述不是所有设想实施例的详尽综述，且不旨在示出所有实施例的关键或重要元素。江门线圈联系人