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时间:2021年02月23日 来源:

    。MicroelectromechanicalSystems,这个让老美念起来都绕口的词,中文叫做“微机械机电系统”。MEMS的飞速发展,是因为传统机电工艺制成的驱动器和传感器,在体积、价格、产能上无法适应电子消费、工业界、科学研究乃至**的需求。上世纪80年代末,随着集成电路工业的迅速发展,把驱动器和传感器和集成电路芯片集成在一起,就成为了科技发展的必然趋势,这也就促成了MEMS的诞生。【使用MEMS技术的好处】列举几个**重要的:原材料价格低廉,产量充足。大部分集成电路和MEMS的原材料是硅(Si),这个神奇的VI族元素可以从二氧化硅中大量提取出来。而二氧化硅是什么?说的通俗一点,就是沙子。沙子君在经历了一系列复杂的加工过程之后,就变成了单晶硅,长这个样子:这个长长的大柱子,直径可以是1inch(cm)到12inch(30cm),被切成一层层500微米厚的硅片(英文:wafer,和威化饼同词),长这个样子:批量生产-产能高,良品率高MEMS驱动器和传感器大部分都含有微机械机构。试想一下,我们要检测一个一微米长的弹簧移动了一纳米(微米尺度的悬臂梁在纳米尺度的范围内移动),这种加工精度在传统机械加工工艺上面是难以实现的。正因为有了MEMS技术。云南专业mems芯片报价

MEMS全称Micro Electromechanical System,微机电系统 。是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置,其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个**的智能系统。主要由传感器 、动作器(执行器)和微能源三大部分组成。微机电系统涉及物理学、半导体、光学、电子工程、化学、材料工程、机械工程、医学、信息工程及生物工程等多种学科和工程技术,为智能系统、消费 电子、可穿戴 设备、智能家居、系统生物技术 的合成生物学与微流控技术等领域开拓了广阔的用途。

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    在50s的时候,把目标液位设置为2米,液位下降,2秒后稳定到2米。说明PID完成了它原始的使命——作为控制器使用。PID作为信号跟随器——倾角传感器的设计这里倾角传感器的设计就不涉及到任何控制了。我们的目标是测量角度,硬件选用加速度计和陀螺仪构成。为了方便,我们只测量单轴角度,这里用2轴微电子加速度计和1轴微电子陀螺仪。陀螺仪的输出量是角速度,角速度积分就是角度,这不是用陀螺仪就能解决了吗?为什么还要加速度计呢?是因为陀螺仪输出的角速度包含有各种噪声,积分得到的角度会随着时间误差越来越大。具体的可以看下面的图像分析。上面左图是以1度/秒的角速度运动10秒,右图在角速度1度/秒的基础上加了±,可以发现在10秒后角度值为106度(图可能看不清),这是因为角度值的获取是通过角速度积分得到的,存在累计误差。而加速度计具备良好的稳定性,测量的偏移也很小,**重要的是它测量的角度没有累计误差。θ是加速度计测量的倾角。定义当测量角为0时,az沿着重力方向竖直向下,和重力加速度的关系是az=g*cos(θ),ax垂直于az,和重力加速度的关系是az=g*sin(θ)。这就是加速度计测量倾角的原理。那既然加速度计没有累计误差,测量比陀螺仪更好。

  航向陀螺仪(directiONalgyroscope)就是利用陀螺特性测量飞机航向的飞行仪表,测量飞机转弯时航向角的变化。由于陀螺自转轴不能自动**经线,因此测量航向需要对自转轴进行校正,并使其稳定在经线方向上,航向指标指示的角就是航向角。   航向陀螺仪的组成   航向陀螺仪主要有陀螺电机、万向支架、随动托架系统、水平修正装置、信号输出装置、输电装置、减震装置、电连接器、外壳等组成。   航向陀螺仪的类型   1、直读式航向陀螺仪,又称陀螺半罗盘。   2、远读式航向陀螺仪,输出飞机航向角变化的信息,供指示器指示或作为陀螺磁罗盘和航向系统的一个主要部件。   航向陀螺仪的功能   1、航向陀螺仪用于陀螺磁罗盘时,用来稳定来自磁航向传感器的磁航向信号。   2、用于陀螺半罗盘时,本身就是**的航向传感器,处处陀螺航向信号。   3、输出有效地信号。   航向陀螺仪的特点   1、具有良好的稳定性。   2、就有较高灵敏度。

    一般还内置有温度计进行实时的温度校准。汽车中的IMUIMU的应用IMU大多用在需要进行运动控制的设备,如汽车和机器人上,也被用于需要用姿态进行精密位移推算的场合,如潜艇、飞机、导弹和航天器的惯性导航设备等。与其他导航系统相比,惯导系统同时具有信息***、完全自主、高度隐蔽、信息实时与连续,且不受时间、地域的限制和人为因素干扰等重要特性,可在空中、水中、地下等各种环境中正常工作。例如,IMU的上述优势,在自动驾驶系统中表现的尤为明显。在自动驾驶系统中,IMU可作为其他传感器数据缺失时的有效补充。通过计算车辆的姿态(俯仰角和滚动角)、航向、速度和位置变化,IMU可用于填补GNSS信号更新之间的空白,甚至可在GNSS和系统中的其他传感器失效时,进行航位推算。因此,作为一个**的数据源,IMU可用于短期导航,并验证来自其他传感器的信息。有人说,自动驾驶系统在定位领域的***一道防线是IMU,主要原因有三个:首先,IMU对相对和***位置的推演没有任何外部依赖,是一个类似于黑匣子的完备系统;相比而言,基于GPS的***定位依赖于卫星信号的覆盖效果,基于高精地图的***定位依赖于感知的质量和算法的性能,而感知的质量与天气有关,都有一定的不确定性。云南专业mems芯片报价

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