西藏标准分子涡轮泵批量定制

为了获得高真空和大抽气量的需要，通常这种抽气系统包括一个涡轮分子泵，一台机械增压泵，一台干泵。这会产生以下问题：抽气设备的成本增加，油蒸气的反流会造成真空室的污染。复合分子泵可以在相对高的压强下抽气，以便一台前级泵如干式膜片泵可以用于备用。另一个优点是在半导体工艺中可以较好的处理大量的微粒，特别是在刻蚀以及CVD的工艺过程中。为了减少微粒提高工艺性能，迫切需较高的真空，这集中的体现在高密度的等离子体上。在高真空的条件下可以形成满意的致密的等离子体。涡轮分子泵常用于机械增压泵的上游，当机械增压泵在几十帕压强时，排气量下降，而涡轮分子泵的抽速下降。为了解决这个问题，近期出现了螺旋槽涡轮增压泵，这种泵比不烘烤的复合分子泵的极限压强稍高，在高真空时抽速稍低。在低真空时比复合分子泵的抽速高得多。泵的特点是级数多，转速高、间隙小、精度高。西藏标准分子涡轮泵批量定制

    本文介绍一下EdwardsTIC涡轮分子泵站TIC涡轮分子泵站所有Edwards涡轮分子泵工作站都配有TIC涡轮和仪表控制器，可以从控制面板启动/停止系统，并可轻松集成Edwards有源真空计。TIC涡轮分子泵站的抽取速度范围为85l/s至400l/s，配有TIC控制器，可选搭油封或干式前级泵。我们所有的TIC涡轮分子泵站都配有市场**的nEXT涡轮分子泵，可靠性久经考验，且**终用户可维护。油封泵标配EMF油雾过滤器，nXDS干式涡旋泵标配有涡轮泵和前级泵之间的隔离阀。T-station85主要特点T-Station85——完备的泵送解决方案底板包括橡胶垫脚和设在侧面的手动断路器，设计紧凑但稳定，不会被撞翻全金属框架意味着坚固耐用，不会出现划痕或破损或XDD1大容量前级泵可提供油封泵或全干式直流隔膜泵两种选择集成空气冷却器可作为冷却内部电源，泵/控制器可安静运行，避免使用多个风扇客户集成的控制功能T-Station85——整装待发......一键启动和停止易于准确读取的显示屏安装TAV5排气阀时能够选择通风模式，以自动排气，无需用户干预还可提供NW40、ISO63或CF63入口法兰。西藏标准分子涡轮泵批量定制涡轮分子泵损坏**严重的故障是高速旋转的叶片或转子筒的断裂。

泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。压缩比除与泵的级数和转速有关外，还与气体种类有关。分子量大的气体有高的压缩比。对氮(或空气)的压缩比为108～109；对氢为102～104；对分子量大的气体如油蒸气则大于1010。泵的极限真空度为10-9帕，工作压力范围为10-1～10-8帕，抽气速率为几十到几千升每秒(1升=10-3米)。涡轮分子泵必须在分子流状态(气体分子的平均自由程远大于导管截面比较大尺寸的流态)下工作才能显示出它的优越性，因此要求配有工作压力为1～10-2帕的前级真空泵。分子泵本身由转速为10000～60000转/分的中频电动机直联驱动。

    这使转子的转速得到进一步提高。除此之外，近些年还出现了多种新型分子泵，如可有效抽取水分子的低温型分子泵，可在强磁场、强腐蚀条件下工作的陶瓷分子泵，以及可实现无接触支撑、高效率、高寿命的磁悬浮分子泵等。轴承的分类涡轮分子泵结构原理立式涡轮分子泵结构图卧式涡轮分子泵结构图工作原理涡轮分子泵的转子叶片具有特定的形状，在它以20000~30000r/min的高速旋转的同时，叶片将动量传给气体分子。叶片高速旋转，其周边的线速度一般200~300m/s，相当于空气分子平均速率的一半。为了获得高真空，涡轮分子泵中装有多级。上级叶片输送过来的气体分子又会收到下级叶片的作用继续被压缩到更下级。因此，涡轮分子泵的的一个特点是对一般气体的抽出极为有效。例如对于氮气，其压缩比可以达到109但是涡轮分子泵抽除分子质量较小的气体能力较差，例如氢气，其压缩比*有103。由于涡轮分子泵对于气体的压缩比很好，因此工作时油蒸汽的回流问题基本可以忽略不计。涡轮分子泵的极限真空度能达到10-8Pa的数量级，抽速可以达到1000L/s，达到**大抽速的压力区间是1~10-8Pa之间，因此在使用时要以旋片机械泵作为其前级泵。涡轮分子泵注意事项1、不能在前级泵工作时。分子涡轮泵气体输送能力强。

    gb7774-87），并在涡轮分子泵中使用了磁悬浮轴承。中国制定了立式涡轮分子泵行业标准（JB/T9125-95）和涡轮分子泵性能侧面试验方法国家标准（gb7774-87），并在涡轮分子泵中使用了磁悬浮轴承。广东振华真空设备发现近十年来，由于轴承，高速旋转和数控加工技术的不断发展，世界涡轮分子泵的发展取得了长足的进步。抽速已从50L/s发展到25000l/S（日本）甚至40000L/S（俄罗斯）。在各种真空泵中，分子泵是一种结构精确，技术要求高的泵。泵的动叶片和静叶片的几何形状与抽速有很大关系。需要特殊处理以确保刀片的尺寸和准确性。同时，要求转子具有良好的动平衡，动叶片应具有较高的强度以承受高速旋转产生的离心力，以保证泵的可靠运行。分子泵由泵体内的中频电机直接驱动，涡轮转子为一体式结构。该泵对大分子气体具有较高的压缩比，中频电机置于前级空间，可获得高真空和超高真空进行清洁。其性能特点是：结构紧凑，工作压力范围宽，抽速稳定在10-1pa-10-7pa范围内。它运行稳定。由于采用了精密轴承，严格的动平衡过程和一系列减振措施，该泵振动小，噪音小，启动时间短，一般可在4min-15min内达到全抽速。标准化的法兰连接尺寸和垂直结构使其易于与真空系统连接。回转体的动能瞬间作用到定子叶片和泵体上，形成很大的转矩。西藏标准分子涡轮泵批量定制

阻尼环内外有胶圈的作用是将内部振动转为热能而消失，能对振动起隔离作用。西藏标准分子涡轮泵批量定制

    涡轮分子泵的抽气原理是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。分子泵输送气体应满足二个必要条件：1).涡轮分子泵必须在分子流状态下工作。因为当将一定容积的容器中所含气体的压力降低时，其中气体分子的平均自由程则随之增加。在常压下空气分子的平均自由程只有μm，即平均看一个气体分子只要在空间运动μm，就可能与第二个气体分子相碰。而在时，分子间平均自由程可达。若平均自由程增加到大于容器壁间的距离时，气体分子与器壁的碰撞机会将大于气体分子之间的碰撞机会。在分子流范围内，气体分子的平均自由程长度远大于分子泵叶片之间的间距。当器壁由不动的定子叶片与运动着的转子叶片组成时，气体分子就会较多地射向转子和定子叶片，为形成气体分子的定向运动打下基础。2).分子泵的转子叶片必须具有与气体分子速度相近的线速度。具有这样的高速度才能使气体分子与动叶片相碰撞后改变随机散射的特性而作定向运动。分子泵的转速越高，对提高分子泵的抽速越有利。实践表明，对不同分子量的气体分子其速度越大，泵抽除越困难。分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度。西藏标准分子涡轮泵批量定制

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