检测标准分子涡轮泵厂家

时间:2021年03月05日 来源:

    英国伯格斯希尔--(美国商业资讯)--Edwards自豪地推出新型涡轮分子泵nEXT85,该泵是基于深受欢迎的EXT75DX的成功基础上而打造的,***提升了泵的抽气性能,并减少安装空间,同时保持同等高标准的可靠性。新型nEXT85的转子已经过优化,旨在提升抽气速度和提供更高压缩比,同时保持相同的可靠性并缩小安装空间。Edwards科学产品部高级产品经理JohnWood评论道:“我们为新型nEXT85的推出感到高兴——它是一次令人难以置信的技术飞跃,为所有应用提供同类**的性能,而且也是市面上同类产品中安装空间**小的泵。”nEXT85完美适合各种研发和高能物理学应用,而且是分析仪器用途的理想之选。nEXT85保留了现有nEXT大型系列泵的操作和维护优点,例如**终用户可维修性和增强的通信选项。内置红外温度传感器是nEXT85的独有设计,可直接测量转子温度,提供能够增强的抽气性能的泵壳设计和更好的热控制。此外,nEXT85在nEXT泵机载控制通讯基础上增加了额外USB接口的通信功能,从而简化了泵与Edwards的**nST软件的通信,即使当泵在运行状态保持正常通讯。此外,这款泵提供标准型号或更高压缩比的型号,您可针对具体应用选择**适合的型号。对主轴轴承的外侧设置橡胶减振环可以减少分子涡轮泵在使用过程产生振动的现象。检测标准分子涡轮泵厂家

    因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程,氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵,适用于刻蚀、反应离子刻蚀,离子束加工,低压化学气相沉积,外延及离子注入等工艺操作。在这些工艺过程中,抽除的气体会对低温泵、离子泵、扩散泵油等有腐蚀作用。甚至也会破坏标准的未加保护的涡轮分子泵。由于涡轮分子泵属于传输型泵,被抽气体可穿膛而过,不在泵内积存。因而它适于气体负荷高的工艺过程。如溅射、刻蚀等。(4)适于超高真空应用一台密封和除气良好的涡轮分子真空泵,配以性能良好的双级旋片泵(或同样性能的干式前级泵),其极限真空一般可达到10-9~10-10Torr(即~)之间。若一台涡轮分子泵再串一台涡轮分子泵,用金属密封并除气良好的泵,一般其极限压力在1×10-10~1×10-11Torr(即~)之间。而且不像低温泵或离子泵那样,涡轮分子泵在超高真空条件下能满抽速运转。这些性能再加上它有良好的清洁性(测不到碳氢化合物),显然用户会选择涡轮分子泵用于高分辨率质谱仪,分子束外延设备及超高真空分析仪器等设备上的。(5)高压力下性能良好有些涡轮分子真空泵的入口压力可在10-1~10-3Torr(即~)之间运行。重庆标准分子涡轮泵设备分子涡轮泵无气体存储和解吸效应。

    经抽气通道流至泵体两侧,被叶列压缩**终由排气口排出。此涡轮分子泵转子由19级叶列组成,直径170mm,转速为16000r/min,抽速为140L/s。1966年,法国SENCMA公司开发了一种14级叶列的立式涡轮分子泵,其转子直径为286mm,转速为12000r/min,抽速为650L/s,开创了立式涡轮分子泵的先河。当前,现代分子泵的基本结构基本定型为为卧式和立式两种。卧式分子泵具有抽气时转子受力均匀,轴承定位受力状态好,使用寿命长,轴承更换过程中转子位置不动,维修方便等特点。立式分子泵的装配工艺要比卧式分子泵简单,所以近些年立式分子泵的发展速度很快。现代分子泵现代分子泵更是朝着智能、灵活、高效的方向发展。近些年随着控制理论与计算机技术的飞速发展并应用于分子泵上,使分子泵实现了电脑控制,从而实现了远距离控制泵的起动、停车及调速,同时基于信息技术可建立完善的安全及监控系统,使分子泵朝向智能化方向发展。抽速是分子泵的**参数,提高转速是加大抽速**为直接的方法之一,随着动平衡技术的发展,分子泵转子可顺利地在超高转速下稳定运转。随着材料科学的发展,分子泵转子材料也发生了变化,可用硬铝合金、碳纤维、钛合金等高硬度材料制成。

    掌握涡轮分子泵工作原理的五个小贴士:涡轮泵的工作原理,是通过让气体分子与移动的固体表面碰撞,使其沿特定方向运动。快速旋转的风扇转子击打气体分子,将其从泵的入口吹向出口处,从而形成并保持真空状态。以下是了解涡轮泵工作原理的五个小贴士。大多数涡轮泵采用多级泵。每一级都有快速旋转的转子叶片和定子叶片。泵就像压缩机一样工作,即赋予气体能量,而非将其排出。当气体分子进入泵的入口时,受到转子叶片的击打,叶片的机械能被传递到气体分子上,从而赋予其动能。气体分子利用这种动能进入定子上的气体传递孔。气体分子与转子表面再次碰撞,进而向外运动到出口。轴承通过两只滚珠轴承安装涡轮泵转子轴时,由于轴承中存在润滑油,需要将两个轴承都安置在前级真空侧。转子的质量大,可实现单侧支撑。从转子动力学角度来考虑,采用混合轴承支撑比较有利。混合轴承要求采用双轴承概念。在前级真空侧的轴端安装一只油润滑滚珠轴承。真空侧的另一端则安装一只免维护、无磨损的永磁轴承,使转子径向居中。电机╱驱动能支持高达1500HZ转动频率的无刷直流电机,对于驱动转子较为理想。这样的频率可使叶片达到泵送气体所要求的速度。驱动器直接连接到泵上。涡轮分子泵的优点是启动快,能抗各种射线的照射,耐大气。

电源的问题可能涉及到供电以及排风扇,开启质谱电源后,电源排风扇及分子涡轮泵风扇启动说明电源的风扇没有故障,不过风扇不启动,则可断定是由于风扇的原因导致分子涡轮泵不能启动。如果是机械泵的原因,可能是机械泵的机油不够,以及机械泵本身故障,通过开启质谱仪,机械泵开启如果能抽真空即真空系统侧板不能拉开,说明机械泵没有问题,可以排除机械泵故障质谱端分子涡轮泵不启动可能的原因有离子源系统漏气、机械泵的问题、分子涡轮泵本身的问题以及电源的问题。如果是离子源系统漏气,通过检查真空系统的密封圈是否安装好,此外可以取下密封圈用凡士林均匀涂抹,再安装上,检查是否为密封圈的问题。Agilent气质联用使用之【分子涡轮泵不启动的原因分析】:在使用过程中突然发现Agilent气质联用的真空度下降或者开机过程中分子涡轮泵不能启动的情况,分子涡轮泵不能启动或者不工作,软件将会报错,界面的真空控制界面无法打开。真空系统的问题通常会从以下几个方面分析:1、气相端问题还是质谱端问题在进行原因分析时,通常先将质谱端传输线的色谱柱取出。分子涡轮泵使用方便。品质标准分子涡轮泵杭州瑞特世科技有限公司

整个转子系统为涡轮式动片、静片。两者相互穿插排列而成,一般有20~40级。检测标准分子涡轮泵厂家

    它只能在垂直±5°范围内工作)。这个特点,可用于安装位置受限制的地方。(3)气体输送能力强大多数涡轮分子泵对于输送轻气体(如氢、氦)的能力很强。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程,氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵,适用于刻蚀、反应离子刻蚀,离子束加工,低压化学气相沉积,外延及离子注入等工艺操作。在这些工艺过程中,抽除的气体会对低温泵、离子泵、扩散泵油等有腐蚀作用。甚至也会破坏标准的未加保护的涡轮分子泵。由于涡轮分子泵属于传输型泵,被抽气体可穿膛而过,不在泵内积存。因而它适于气体负荷高的工艺过程。如溅射、刻蚀等。(4)适于超高真空应用一台密封和除气良好的涡轮分子泵,配以性能良好的双级旋片泵(或同样性能的干式前级泵),其极限真空度一般可达到10-9~10-10Torr(即~nPa)之间。若一台涡轮分子泵再串一台涡轮分子泵,用金属密封并除气良好的泵,一般其极限压力在1×10-10~1×10-11Torr(即~nPa)之间。而且不像低温泵或离子泵那样,涡轮分子泵在超高真空条件下能满抽速运转。这些性能再加上它有良好的清洁性(测不到碳氢化合物)。检测标准分子涡轮泵厂家

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