南京气体管道设计安装

近20年来，随着更复杂、更密集的大规模和超大规模集成电路的生产，对高纯气体洁净度的要求，已不亚于对纯度和干燥度的要求，凡工艺气体，无一不对其中的粒子提出限制。因此，对于高纯气体，纯度、干燥度、洁净度是三项重要的标度。由于高纯度气体的使用地点、性质、工况（如温度、压力等）都不完全一致，所以，如何确定高纯气体的“三度”（纯度、干燥度、洁净度），还没有一个严格而明确的概念。 对于纯度和干燥度的控制，我国CBJ73—84《洁净厂房设计规范》中指出，“高纯气体系指纯度大于或等于99.9995%，含水量小于5ppm气体。”气体管道不得和电缆、导电线路同架敷设。南京气体管道设计安装

主要工作参数的确定：1 输送物料量，作为气力输送计算依据的物料输送量 ，应该是各输料管在单位时间内通过的较大输送量，即：2 混合比(输送浓度)在气力输送计算中，一般采用的混合比或称输送浓度，以质量浓度 表示，它是指单位时间内通过输料管某一截面物料的质量与输送气体质量的比值，以下公式均以空气表示输送气体，在相同的输送物料量下，提高混合比，可减少空气量，从而节约动力消耗和管材，在相同的空气量时，提高混合比，可以增加物料的输送能力。但混合比过大会带来输送状态的不均匀，从而降低设备的可靠性。在表5.2.2中，推荐了各种输送方式的合适混合比。杭州卫生院气体管道设计市场价格应有适当的过滤和净化系统，以除去气体中的杂质和水分。

物料的性质：1、粘附性，实践表明，细粉末或水分多或有明显带电性的物料，在设备和输料管中粘附严重。对一般的物料，孔隙率越小，水分越大，附着应力越大。为了减少物料的粘附，避免造成输料管堵塞，通常应根据经验选择合适的气流速度，同时将管壁加工光滑，以尽可能降低其危害程度。2、脆性，脆性物料可能在输送过程中发生破碎而影响使用效果，为此，对输送风速的选择要格外谨慎。以免物料破碎受损。3、粒度与形状，一般可通过目测将物料分为4类：(1)微细粉末(50～100μ)(2)粉粒，(3)颗粒(1mm以上)，(4)块状或不规则形状的物料。将大小不同的物料粒子进行粒度分级时，一般可用筛分法。我国常用泰勒标准筛。在选择气力输送系统型式、风速、除尘设备时，物料的粒度和形状是重要的参考因素。

对于低蒸汽压气体(WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等)，需要考虑钢瓶加热，气体面板加热，管道伴热等。为了精确控制流量，在气源端一般会考虑配置高精度的压力变送器、电子秤、温控器等。在机台用气点也都配置了质量流量计，压力调节阀。对于剧毒、高反应性和自燃气体，应使用双套管输送。同时管道的设计要采用零死区设计，即整个管道系统从气柜到VMB、从VMB到用气点，要点对点，中间不允许有在气体置换时有残留空气的死角。因此，整个管路系统中由VMB完成气体的分配，中间没有三通。然后管道还要有良好的接地。管道应有适当的保护措施，避免机械损伤和化学腐蚀。

气体管道设计规范：1.阀门与氧气接触部分应采用非燃烧材料。其密封圈应采用有色金属、不锈钢及聚四氟乙烯等材料。填料应采用经除油处理的石墨石棉或聚四氟乙烯。2.气体管道的连接应采用焊接或法兰连接等形式，氢气管道不得用螺纹连接，高纯气体管道应采用承插焊接。3.气体管道与设备、阀门及其他附件的连接应采用法兰或螺纹连接，螺纹接头的丝扣填料应采用聚四氟乙烯薄膜或一氧化铅、甘油调和填料。4.气体管道设计的安全技术应符合每台（组）用氢设备的支管和氢气放空管上应设置阻火器的规定。实验室气体管道功能性要求，管道设计应满足气体使用的流量和压力要求，保证实验过程中供气的稳定性。特种气体管道设计供应商

所有管道应清晰标识，包括气体名称、流向标记和安全警示。南京气体管道设计安装

气瓶间布局，1.由于存放的气体由于有可燃性气体和助燃气体，按国家规定必须分库存放。分别放入不同的气瓶间内。2.气瓶间内设立一次调压面板，其中二托一面板带吹扫铜镀铬面板4套。3.压力调节器入口前需加装烧结金属过滤器以防止颗粒等杂质污染系统。4.所有面板均配备吹扫阀，可实现对面板的清洗置换。5.压力调节器及相关管件均需牢固的固定在压力调节面板上，面板应设计的紧凑而合理，以尽量减少系统中的死体积。6.压力调节面板应采用全不锈钢材料制成，并且牢固的固定在可靠的位置上，确保其安全性。7.排空气路应分类收集、固定牢固并排放至室外安全地点。南京气体管道设计安装