湖州气体管道设计解决方案
气体管道连接规范:1、气体管道的连接应采用焊接或法兰连接等形式。氢气管道不得用螺纹连接。高纯气体管道应采用承插焊接。2、气体管道与设备、阀门及其他附件的连接应采用法兰或螺纹连接。螺纹接头的丝扣填料应采用聚四氟乙烯薄膜或一氧化铅、甘油调合填料。气体管道设计安全技术:1、气体管道设计的安全技术应符合下列规定:2、每台(组)用氢设备的支管和氢气放空管上应设置阻火器。3、各种气体管道应设置明显标志。4、使用氢气及可燃气体的实验室应设置报警装置。5、气瓶应放在主体建筑物之外的气瓶存放间。对曰用气量不超过一瓶的气体,实验室内可放置一个该种气体的气瓶,但气瓶应有安全防护设施。6、氢气和氮气的气瓶存放间应有每小时不小于三次换气的通风措施。管道与套管之间应采用非燃烧材料严密封堵。湖州气体管道设计解决方案
气体管道设计有很多方面,都有不同的要求,气体管道敷设,气体管道、阀门和附件,气体管道连接及安全问题都有要求。气体管道设计规范:1、穿过实验室墙体或楼板的气体管道应敷在预埋套管内,套管内的管段不应有焊缝。管道与套管之间应采用非燃烧材料严密封堵。2、氢气、氧气管道的末端和较高点宜设放空管。放空管应高出层顶2m以上,并应设在防雷保护区内。氢气管道上还应设取样口和吹扫口。放空管、取样口和吹扫口的位置应能满足管道内气体吹扫置换的要求。3、氢气、氧气管道应有导除静电的接地装置。有接地要求的气体管道其接地和跨接措施应按国家现行有关规定执行。浙江氢气气体管道设计规范气体管道与设备的连接段宜采用金属管道。
流量测量有策略性地将流量计安装在公司内部管网中经济的和转换性的节点上。压缩空气是一种生产工具,它是公司内各个部门产品成本的一部分。从这个角度看,所有部门都要试图去减少消耗以让所有部门都能受益。现在在市场上可以买到的流量计,所有数值都可以人工读取,测量数据也可以读取到电脑或转换模块中。半导体制造用气体按照使用时的危险性分类:1.可燃、助燃、易燃易爆气体:H2 、CH4、H2S、NH3 、SiH4、PH3 、B2H6、SiH2CL3、CLF3、SiHCL3等;2.有毒气体:AsH3、PH3 、B2H6等;3.助燃气体:O2 、N2O、F2 、HF等;4.窒息性气体:N2 、He 、CO2、Ar等;5.腐蚀性气体:HCL 、PCL3 、POCL3 、HF、SiF4、CLF3等。
日本把微电子生产中所采用的气体,按其不同的品位,具体分为下列几个不同的档次:1.超高纯气体,气体中杂质总含量控制在1ppm以下,水份含量控制在0.2~1ppm。2.高纯气体,气体中杂质总含量控制在5ppm以下,水份含量控制在3 ppm以内。3.洁净气体,气体中杂质总含量控制在10 ppm以下,对水份含量未作严格规定。 上述规定,都未涉及洁净度。我们知道集成电路的生产,几乎都是在洁净环境中进行,是防止尘埃粒子污染微电子产品所必需的。所以,对洁净的生产环境绝不允许采用不洁净的气体来破坏,必须使气体的洁净度与洁净环境保持一致,根据相关资料以及近些年公司相关工程的经验进行了一些归纳。管道应有适当的保护措施,避免机械损伤和化学腐蚀。
当供气系统有若干台压缩机组成的时候,储气罐的大小需要基于排量较大的压缩机排量进行选型。这些管路辅件的尺寸选择对整个官网压损有非常大的影响,因为通常系统压损大正是因为辅件选型不当而导致的。下面这个公式可以用于计算供气管网系统在指定允许压损时管路较长尺寸:管网系统总体管路长度 (m); ∆p = 管网系统指定允许的压损 (bar); p = 进气压力(绝压 (bar(a)); qc = 空压机自由排气流量 (l/s); d = 管网管道直径 (mm)供气管网较好采用围绕终端用气点的闭式环形管网设计,然后通过供气支管从环形主管道送往各个用气点。这样的设计实现了单一供气的目的,同时避免了严重的间歇性用气问题,因为气源可以同时从两个方向向用气点供气。除了较大用气点位于离空压机较远的情况,所有供气系统都应该采用此设计。当上述情况出现时,应该用单独的供气管道向较远端的较大用气点供气。设计中应考虑防火、防爆措施,尤其是对于易燃、易爆气体。南京医院气体管道设计服务商
螺纹接头的丝扣填料应采用聚四氟乙烯薄膜或一氧化铅、甘油调合填料。湖州气体管道设计解决方案
医用空气系统(压缩空气系统):1医用压缩空气,经压缩空气机房输送至各医疗部分终端供使用。2压缩空气站,压缩空气站由空压机、储气罐、空气干燥器、三级过滤器及控制柜等组成。储气罐:防止空压机频繁启动。干燥器:空气干燥,使空气的压力lu点为+5℃,即使低温环境也不至于空气出现水珠。过滤器:满足医疗气体使用标准。3所输送的压缩空气应无菌、干燥、无油。吸进气体为室外清洁空气,吸气口必须阔别各类污气排放口。其它医用气体(N2O、CO2、N2)系统:1其它医用气体(N2O、CO2、N2)由气源站,经双路汇流排减压后,供至医用终端。2气源站 由于N2O、CO2、N2用气量较小,气源可以是钢瓶供给。气源站由钢瓶气体及汇流排组成,钢瓶气体二组,一用一备。小型气源站位置可靠近用气点,如手术间技术夹层等处,房间应有透风。湖州气体管道设计解决方案
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