集中供气特气管道安装施工规范

对于低蒸汽压气体（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考虑钢瓶加热，气体面板加热，管道伴热等。为了精确控制流量，在气源端一般会考虑配置高精度的压力变送器、电子秤、温控器等。在机台用气点也都配置了质量流量计，压力调节阀。对于剧毒、高反应性和自燃气体，应使用双套管输送。同时管道的设计要采用零死区设计，即整个管道系统从气柜到VMB、从VMB到用气点，要点对点，中间不允许有在气体置换时有残留空气的死角。因此，整个管路系统中由VMB完成气体的分配，中间没有三通。然后管道还要有良好的接地。特气管道工程施工注意事项：避免出现管道经常出现问题，影响研究和工作进度。集中供气特气管道安装施工规范

大宗特气供气系统，大规模供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大规模集成电路厂（气体种类包括SiH 4 、N 2 O、 2 、 C 2 F 6 、 NH 3 等），100MW以上的太阳能电池生产线（气体种类包括NH3），发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括NH3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括SIH4、CL2、NH3、NF 3 ）等、光纤（气体种类包括SiCl 4 ）、硅材料外延生产线（气体种类包括HCL）等行业。它们的投资规模巨大，采用先进的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出较严格的要求。车间特气管道安装价格特种气体管道需要选用适合的材料，如不锈钢、玻璃钢等，以确保管道的密封性和耐腐蚀性。

特种气体管道配管应符合下列规定：1 管外径大于1/2”的管道弯头应采用成品弯头；管外径小于或等于1/2”的弯头可在现场使用专门使用弯管器揻制，BA级管道弯头弯曲半径不应小于管外径的3倍，EP级管道弯头弯曲半径不应小于管外径的5倍，公、英制弯管器不应混用；2不锈钢管道密封接头的密封垫片应根据气体的性质采用不锈钢垫片或镍垫片，严禁采用非金属垫片、有划伤的垫片以及将使用过的垫片，在同一密封面应采用一个垫片；3特种气体管道与用气生产工艺设备之间的连接应采用不锈钢管道面密封接头或自动轨道氩弧焊机焊接，不得采用非金属软管；管道穿墙部位应设套管，并应以难燃材料填充套管与管道之间的间隙：同时应对穿墙部位加以密封。

施工管理和现场施工的注意点：（1）项目管理人员和施工人员都要进行施工安全和施工质量的培训,了解特种管道的施工作业要求和规范,了解特种气体的基本知识,从而加深对特种管道施工质量重要性的认识。（2）特气管道一般采用小管道输送，为了降低成本，管道采用直接用弯管器煨弯的方式，弯管器一般采用5-10倍的，但不小于5倍。因此对管道施工人员要进行各种角度下的弯管培训，对焊工也必须进行焊接程序的培训，熟悉各种焊接参数的调整，然后管工和焊工都必须经过考试，由专门的质量管理人员确认合格后，发给作业许可证后方可施工，这也是QA/QC保证程序的组成部分。也是施工程序中人员培训的重点。管道系统不仅看起来整洁规整，而且可以节省更多的家庭空间，为家庭的居室带来更add的美观和舒适感。

随着我国经济的不断发展、科技不断自主进步，半导体等对特气有需求的行业领域也在不断扩大，特气管道在我们的日常生活中应用也越加的普遍起来。特气管道一般采用电解研磨方式加工的EP管，充氩气加热处理而成。现在市面上，特气管道供应商非常的多，但是，除了少部分像奥飞克、沃飞等提供交钥匙式的特气管道安装服务的公司，大多数的厂商只是提供产品，没有管道安装这一方面的服务。所以，为了让大家后期在购买特气管道产品之后能够自如的安装，避免安装过程中老是出错，下面小编会以半导体生产制程用电子特种气体供气系统为例子为大家具体的来介绍：管道切割时使用不锈钢专门使用切割器缓慢进行切割，操作时保持切面直度(90°±0.5)。南京铝合金特气管道安装设计

焊工的焊缝是否符合质量要求，每个焊缝都必须仔细检查，并作好焊接作业者和焊接数量记录。集中供气特气管道安装施工规范

设备材料进场验收、焊接样品鉴定时，建设单位技术人员应在场检验确认。主要设备、材料进场验收，气瓶柜、气瓶架、阀门箱、阀门盘进场验收应符合下列规定：1 外包装上应具有防止倾倒、轻放、防雨标识、防震标识，并应完整无损；2 表面应平整光洁、色泽一致、无毛刺、无划痕、无锈蚀、不起鼓；柜体顶部应设抽风口，柜门下方应设可调节空气过滤网进风口；3 面板上应有气体的名称、化学式、浓度、化学性质和危险标志的标识，并应有管线、阀体及附件相互连接的系统图；同时，应配有与其对应的操作手册；4 内部引出的管路和阀件接口应用专门使用管帽和堵头封堵；5 在运输过程中盘面内应保有不低于0.1MPa(表压)压力的氮气；6 阀门、仪表与面板之间应有专门使用阀门支撑件，支撑件材质应采用不锈钢；不得将阀门、仪表等直接用螺栓固定在面板上。集中供气特气管道安装施工规范