浙江氮气气体管道设计注意事项

时间:2024年03月16日 来源:

日本把微电子生产中所采用的气体,按其不同的品位,具体分为下列几个不同的档次:1.超高纯气体,气体中杂质总含量控制在1ppm以下,水份含量控制在0.2~1ppm。2.高纯气体,气体中杂质总含量控制在5ppm以下,水份含量控制在3 ppm以内。3.洁净气体,气体中杂质总含量控制在10 ppm以下,对水份含量未作严格规定。 上述规定,都未涉及洁净度。我们知道集成电路的生产,几乎都是在洁净环境中进行,是防止尘埃粒子污染微电子产品所必需的。所以,对洁净的生产环境绝不允许采用不洁净的气体来破坏,必须使气体的洁净度与洁净环境保持一致,根据相关资料以及近些年公司相关工程的经验进行了一些归纳。管道系统应有维护保养的方便性,包括检修口、阀门的可访问性和更换部件的便捷性。浙江氮气气体管道设计注意事项

医用空气系统(压缩空气系统):1医用压缩空气,经压缩空气机房输送至各医疗部分终端供使用。2压缩空气站,压缩空气站由空压机、储气罐、空气干燥器、三级过滤器及控制柜等组成。储气罐:防止空压机频繁启动。干燥器:空气干燥,使空气的压力lu点为+5℃,即使低温环境也不至于空气出现水珠。过滤器:满足医疗气体使用标准。3所输送的压缩空气应无菌、干燥、无油。吸进气体为室外清洁空气,吸气口必须阔别各类污气排放口。其它医用气体(N2O、CO2、N2)系统:1其它医用气体(N2O、CO2、N2)由气源站,经双路汇流排减压后,供至医用终端。2气源站 由于N2O、CO2、N2用气量较小,气源可以是钢瓶供给。气源站由钢瓶气体及汇流排组成,钢瓶气体二组,一用一备。小型气源站位置可靠近用气点,如手术间技术夹层等处,房间应有透风。江苏实验室气体管道设计厂家设计中应考虑防火、防爆措施,尤其是对于易燃、易爆气体。

中心供氧系统:1)中压输送中心供氧站:0.8~1.0 MPa氧气经过二级减压后,以0.3~0.5MPa(可调)送至各医疗用氧气终端。根据病区的要求,可调节末端压力值,同时中压输送气体,相对管经较细。2)低压输送中心供氧站:0.5~0.6 MPa氧气经过气体阀箱(包括气体压力表、气体压力接触器、气体压力传感器及报警控制系统)0.2~0.4 MPa供至各医疗用氧气终端。中心供氧系统技术要求,为保证系统正常供氧,应有供氧欠压报警装置。当供氧系统压力低于报警压力时,应有声、光同时报警;声报警要求在55db(A)噪声环境下,在距1.5m范围内可以听到;氧气管道须有可靠接地,接地电阻小于100Ω。凡是用氧气的管道、管件、仪表、阀门和其他一切接触氧气的附件都必须事先进行脱脂,脱脂后管道用不含油气体吹干。

阀门的选用: ①高纯气体一般采用手工氩弧焊接和自动氩弧焊接,焊接型式通常采用承插焊和对焊,承插焊的好处在于施焊时管道的对中,方便焊接,但缺点是由于管道与承插口之间有间隙,会存在“死空间’不易将杂质吹除,影响高纯气体质量。因此对于要求极为严格的高纯气体来说,应采用对接焊连接并要求内表面无焊缝,即在施工时不得使用不锈钢焊丝,利用母材的本身融化填满焊缝。②高纯气体管道与阀门等附件连接应采用密封不易泄漏的专门使用接头予以连接,常用的接头方式有两种:分别为VCR(Vacuum Coupling Retainer)和SWG(Swaglok),VCR采用优良的金属垫,利用纵向压力压紧,因此泄漏率极低,约为10~9A cc/s,且耐压较高,常用于气体杂质含量1.0×10-9级的高纯气输送系统,而SWG则不如VCR,耐压较低,基本上这两种接头方式的安全性足可代替焊接的方式。系统安装完毕后要用高纯氮气进行高压部分、低压部分气密性实验,对整个系统进行检测。

物料的性质:1 真实密度,真实密度是指物料在密实状态下单位体积所具有的重量,以符号rs'表示,它的单位为kg/m3。2 松散密度或堆积密度,松散密度或堆积密度,以rs表示。孔隙率ε是指物料颗粒之间的空间体积与包含空间的物料的整个体积之比,真实密度与松散密度之间存在以下的关系:rs=(1-ε)rs'在气力输送设计中,贮料斗和供料器所需的容积、输送器等直接与物料的容重有关。3 湿度,湿度是指物料中水分的含量,通常以湿态材料的质量百分数表示,即:气力输送设计时,要注意材料的湿度,材料越湿,输送中越可能发生粘壁现象,设计时采用的安全系数应该越大,否则会发生堵塞现象。对于易潮解的物料,可能需要用干燥空气或其他气体作输送介质。氢气和氧气管道所用的附件和仪表必须是该介质的专门使用产品,不得代用。浙江氮气气体管道设计注意事项

氢气管道不得用螺纹连接。浙江氮气气体管道设计注意事项

终端布局:1.系统设置为二次减压系统。终端采用壁挂式设计。上设有压力调节器、输出压力指示计、紧急切断阀,同一气路的呈上下对应排布,方便操作。面板为不锈钢产品,该终端可以实现在室内对设备的压力调节、输出压力的监控及气路开关控制,省去了每日往返于气瓶间和实验间的奔波,提高了办事效率。2.控制终端上的气体出口尺寸要与分析仪的气体入口尺寸相对应。气体出口接头还应方便安装。压力调节面板和气路控制终端上粘贴气路编号、气体种类、浓度等标识。实验室供气系统是实验室设计中的一个重要组成部分,其安全性、可靠性和功能性对实验室的正常运行至关重要。浙江氮气气体管道设计注意事项

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