上海氧化铟镓锌靶材图片

其他服务: 打穿的钯靶材、钯残料可提供回收再加工服务。

回收流程如下:称重----清洗、提纯---熔炼加工---靶材等成品

江阴典誉新材料科技有限公司，是专业从事镀膜材料、合金制备等相关材料研发、销售、服务为一体的全球化高科技综合性公司。以业内**企业为支撑，整合技术资源，拥有自主进出口经营权和成熟的运营管理团队，科学化管理运营，为公司向化、高新化发展奠定了基础。典誉新材料在光电器件、芯片半导体、太阳能电池、光学镀膜、航空航天、**、冶金、功能材料、新能源等行业产品开发、创新方面，有着得天独厚的优势。以客户需求为导向，以前沿技术为基础，开发了多个产品系列，涵盖溅射靶材、蒸镀膜料、高纯合金、金属粉末、耗材配件等千余种产品，质量稳定、工艺完善，得到广大客户好评。典誉新材料坚持“诚信为本、高质的经营理念，关注客户需求，追求客户满意，以服务求生存，以质量求发展，不断优化产品线，为广大用户提供一站式服务，力争做全球**的金属材料供应商。 对材质的要求：一般选用无氧铜和钼靶，厚度在3mm左右。上海氧化铟镓锌靶材图片

磁控溅射镀膜生产ZnO∶Al（AZO）薄膜的工艺探讨 目前主要的薄膜太阳能电池有：碲化镉（CdTe）系薄膜太阳能电池、硒铟铜（CIS）系薄膜太阳能电池、非晶硅系薄膜太阳能电池、晶硅系薄膜太阳能电池。研究人员研制出了价格低廉、原材料丰富且性能稳定的绒面ZnO∶Al陷光结构来作为薄膜太阳能电池的前电极。具有弹坑状绒面结构的AZO透明导电薄膜可以增强太阳光的散射作用，改善陷光效果，增加电池对太阳能的吸收量，提高薄膜太阳能电池的转换效率。磁控溅射镀膜工艺在玻璃衬底上制作AZO透明导电薄膜具有成膜速度快、膜层均匀、成膜面积大等优点，是较为合适的生产AZO薄膜的工艺方法。 目前由磁控溅射工艺生产透明导电薄膜AZO时所用靶材有两种类型：①陶瓷AZO靶材；②合金锌铝靶材。应根据实际情况，选择适合本企业的靶材产品。 作为一种新的TCO材料，AZO相对于ITO和FTO有很大优势，要大规模产业化还必须在如何降低设备及工艺成本上进一步研发。从根本上说，AZO薄膜的结构性能的好坏决定了其光电性能的优劣，必须在工艺参数上多做研究，实现高质量和低成本的双赢。上海氧化铟镓锌靶材图片一般靶材抛光后，溅射速率、电压等工艺参数比较稳定，容易控制。

电致变色智能玻璃的特点： 电致变色智能玻璃在电场作用下具有光吸收透过的可调节性，可选择性地吸收或反射外界的热辐射和内部的热的扩散，减少办公大楼和民用住宅在夏季保持凉爽和冬季保持温暖而必须消耗的大量能源。同时起到改善自然光照程度、防窥的目的。解决现代不断恶化的城市光污染问题。是节能建筑材料的一个发展方向。 调光玻璃的调光原理是：在自然状态下（断电不加电场），它内部液晶的排列是无规则的，液晶的折射率比外面聚合物的折射率低，入射光在聚合物上发生散射，呈乳白色，即不透明。当加上电场（通电）以后，有弥散分布液晶的聚合物内液滴重新排列，液晶从无序排列变为定向有序排列，使液晶的折射率与聚合物的折射率相等，入射光完全可以通过，形成透明状态。

与实施例1的区别*在于所述靶材表面的比较高点和比较低点的垂直距离为8mm；所得靶材组件溅射强度差，使得溅射过程中薄膜厚度不均匀，使用寿命减少。

对比例3

与实施例1的区别*在于所述靶材表面的硬度为10hv；所得靶材组件溅射强度差，使得溅射过程中薄膜厚度不均匀，使用寿命减少。

对比例4

与实施例1的区别*在于所述靶材表面的硬度为35hv；所得靶材组件溅射强度差，使得溅射过程中薄膜厚度不均匀，使用寿命减少。

通过上述实施例和对比例的结果可知，本发明中，通过调整靶材表面的高度差及硬度，保证溅射强度，使得溅射过程中薄膜厚度均匀，使用寿命增加。

申请人声明，本发明通过上述实施例来说明本发明的详细结构特征，但本发明并不局限于上述详细结构特征，即不意味着本发明必须依赖上述详细结构特征才能实施。所属技术领域的技术人员应该明了，对本发明的任何改进，对本发明所选用部件的等效替换以及辅助部件的增加、具体方式的选择等，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。 如果反应气体量增加过度，化合物覆盖面积增加。

所得靶材组件溅射强度好，使得溅射过程中薄膜厚度均匀，使用寿命增加。

实施例4

本实施例提供一种长寿命靶材组件，所述靶材表面的比较高点和比较低点的垂直距离为5.9mm；所述靶材表面的硬度为25hv；

其中，所述靶材的比较大厚度为24mm；所述靶材组件还包括用于固定靶材的背板；所述靶材呈凹形结构；所述靶材包括用于溅射的溅射面；所述溅射面包括***平面、第二平面和斜面；所述斜面与水平面的夹角为3°；所述斜面位于所述***平面和第二平面之间；所述***平面为圆形；所述第二平面为环形；所述靶材的材质包括铝；所述背板的材质包括铜。

所得靶材组件溅射强度好，使得溅射过程中薄膜厚度均匀，使用寿命增加。

实施例5

本实施例提供一种长寿命靶材组件，所述靶材表面的比较高点和比较低点的垂直距离为5.82mm；所述靶材表面的硬度为21hv； 因为用处不一样，所以不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。成都NiCrCu靶材图片

反应溅射生成物在靶表面、基片表面、和其他结构表面进行。上海氧化铟镓锌靶材图片

靶材600呈长方体状，其顶部表面为靶材溅射面610，底部表面为靶材焊接面620，所述靶材焊接面620贴合于背板表面上，所述靶材600通过所述靶材焊接面620与背板焊接固定。所述靶材600具有四个侧壁表面630。

靶材600具有十二条侧棱601，各条侧棱601均经过圆角处理。在圆角处理前，所述靶材600的侧棱601位置较为锐利。如果使用侧棱未经圆角处理的靶材600进行溅射镀膜，在溅射镀膜工艺过程中，所述靶材600的侧棱601位置容易发生前列放电的现象，导致镀膜的均匀性差，影响镀膜质量。圆角处理使得靶材侧棱601钝化，有助于防止前列放电现象的发生。 上海氧化铟镓锌靶材图片

江阴典誉新材料科技有限公司地处江苏省江阴市，是一家专业生产溅射靶材和蒸发材料的公司，溅射靶材充分借鉴国外的先进技术，并通过与国内外**研发机构合作，整合各行业资源优势，生产出多系列***溅射靶材产品。 公司目前主要生产金属，合金，陶瓷三大类靶材产品。经过几年的发展和技术积累，已经拥有：真空热压，冷压烧结，真空熔炼，热等静压，等离子喷涂等技术。另外也可根据客户要求研发新型靶材并提供靶材金属化、绑定和背板服务。 江阴典誉新材料科技有限公司已为以下行业提供***的靶材：平面显示、装饰与工具、太阳能光伏和光热、电子和半导体、建筑与汽车玻璃大面积镀膜等工业领域。同时也为国内外各大院校和研究所提供了很多常规和新型的试验用靶材。 江阴典誉目前拥有真空热压炉两台，冷压烧结炉一台，真空熔炼设备两台，等静压设备一台，等离子喷涂两套，绑定平台两套，各类机加工设备七台，检验设备若干，确保出厂的每件产品都能达到甚至超过客户的预期。 江阴典誉秉承：“一切以客户的需求为导向，客户的所有需求一次做好。”的发展理念。