晶圆片隔振台轮廓测量应用

TS-150支撑面测试:

尽管这些系统几乎可以在任何支撑面上运行，但采用软支撑结构共振放大某些建筑物的振动频率，因此这些振动频率会降低隔离的。

您可以通过观察诊断信号来了解支持结构的适用性同时推动支持。 此测试应禁用隔离。 如果支撑是刚性的信号几乎不应响应任何方向对支撑的推动。 现在尝试点击支持激发其内部共鸣。 通常，支架会对水平**产生更强烈的反应而不是垂直的。 一个非常共振的支撑将显示长寿命的共振，并且隔离将

在这些频率上受到严重影响。 更好的支撑将显示出良好的阻尼共振。

该表在支持灵敏实验（例如膜片钳，显微注射或用于测量Langmuir-Blodgett膜的液体的槽）方面非常成功。晶圆片隔振台轮廓测量应用

AVI 200-XL

AVI 200-XL的基本配置包括两个单独的承载模块和一个控制单元，比较大可承载400公斤重量。通过增加隔振模块的数量，可以轻松承受更大的负载。为了使AVI200-M适应用户特定的应用，可以按特殊顺序提供不同长度的单个元件。

AVI 200-XL的隔离始于1,2 Hz，然后迅速增加至超过10Hz的35dB

减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能

AVI 200-XL系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性

AVI 200-XL的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式

AVI 200-XL隔振模块不需要任何大型工具即可安装。我们努力提供一种简单，友好的概念-避免在安装出现中比较复杂的过程。 重庆隔振台质保期多久HERZ在被动式隔振系统产品之外，补充了由瑞士Table Stable Ltd.开发的先进主动式隔振系统。

TS-140+40技术指标：

频率                   负载范围            尺寸

0,7-1000 Hz           50-180公斤    500 x

600 x 84毫米

隔离：

动态0.7Hz至1kHz无源（超过1kHz）

传递率：

参见附件曲线10 Hz以上的透射率<0.01（-40dB）

矫正力：垂直+/- 8 N     水平+/- 4 N

静态合规性：垂直约12 µm

/ N 水平30-40 µm / N

比较大负载：50-180公斤

尺寸：500 x 600 x

84毫米

重量：28.5公斤

TS-140 +40结合了久经考验的技术***性与优雅且用户友好的设计

这种中型动态隔振系统非常适合所有需要顶板上空间比TS-150更大的应用。

在公制（M6 x 25mm）或非公制网格上钻孔的顶板可将各种设备安装在隔离的桌面上。

传感器LFS-3有一个单独的电源，通过D-Sub25插座连接到LFS-3控制单元。用D-Sub25电缆将电源连接到传感器。每个单独的AVI元件必须连接到传感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的实际位置并不重要，但它当然必须放置在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上D-Sub 15插座（诊断插座）连接到传感器

设置并将电源连接到传感器后，系统即可使用。

按下电源上的电源旋钮，打开电源。绿色的LED将亮起。红色的发光二极管开始闪烁，这意味着存在一些振动。现在您可以通过按下启用按钮来启用系统。红色的发光二极管不应该再亮了。如果它们亮了，那意味着系统超载，建筑物内的振动太严重。 LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz。

关键词：主动式隔震台、主动式隔振台、主动式防振台、防振台、AVI、Herz、Tablestable、

·AVI系列振动传递率

横坐标为频率，纵坐标为传递率的数据，在10hz频率以上时，传递率的数据小于0.02，很好地起到了隔振作用。

AVI承载不同重量时不同方向上振动衰减的数据（实验室实验数据）

垂直方向上的振动传递衰减，在承重时10hz的频率以上时，比较大可以达到40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。

AVI 400-M紧凑型装置不需要任何大型安装工具。半导体设备隔振台有哪些品牌

使用D-Sub 15M-F电缆将T-Box连接到TS的背面。无需单独的电源。通过模式开关可以选择不同的激励方向。晶圆片隔振台轮廓测量应用

LFS-2传感器测量两个轴的水平加速度，直至频率为约0.2Hz 传感器直接放置在地板上，并用于前馈回路中与标准AVI / LP系统结合使用，可在非常低的情况下提高隔振效果频率。 LFS-2可以改装为现有的AVI-LP系统。下表显示了在AVI / LP上测得的水平隔离度（透射率）有和没有LFS的系统。

将传感器连接到AVI /系统？

传感器LFS-2具有单独的电源，该电源通过D-Sub25插座连接到LFS-2控制单元。 用D-Sub 25将电源连接到传感器电缆。

每个AVI元素必须连接到背面的D-Sub15插座之一传感器的 LFS的实际位置并不重要，但必须放置它在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上部D-Sub 15插座连接到传感器。