三维芯片纳米压印值得买

NIL已被证明是在大面积上实现纳米级图案的相当有成本效益的方法，因为它不受光学光刻所需的复杂光学器件的限制，并且它可以为极小尺寸（小于100分）提供比较好图案保真度nm）结构。

EVG的SmartNIL是基于紫外线曝光的全场压印技术，可提供功能强大的下一代光刻技术，几乎具有无限的结构尺寸和几何形状功能。由于SmartNIL集成了多次使用的软标记处理功能，因此还可以实现****的吞吐量，并具有显着的拥有成本优势，同时保留了可扩展性和易于维护的操作。另外，主模板的寿命延长到与用于光刻的掩模相当的时间。

新应用程序的开发通常与设备功能的提高紧密相关。 EVG先进的多用户概念可以适应从初学者到**级别的所有需求，因此使其成为大学和研发应用程序的理想选择。三维芯片纳米压印值得买

   该公司的高科技粘合剂以功能与可靠性闻名于世。根据客户的专门需求，公司对这些聚合物作出调整，使其具备其它特征。它们极其适合工业环境，在较短的生产周期时间内粘合各种微小的元件。此外，DELO紫外线LED固化设备与点胶阀的可靠度十分杰出。关于德路德路(DELO)是世界前列的工业粘合剂制造商，总部位于德国慕尼黑附近的Windach。在美国、中国、新加坡及日本均设有子公司。2019财政年，公司的780名员工创造了。该公司产品在全球范围内广泛应用于汽车、消费类电子产品与工业电子产品。几乎每一部智能手机与超过一半的汽车上都使用该公司产品。DELO的客户包括博世、戴姆勒、华为、欧司朗、西门子以及索尼等。关于EVGroup(EVG)EV集团(EVG)是为生产半导体、微机电系统(MEMS)、化合物半导体、功率器件以及纳米技术器件制造提供设备与工艺解决方案的领仙供应商。该公司主要产品包括晶圆键合、薄晶圆处理、光刻/纳米压印光刻技术（NIL）与计量设备，，以及涂胶机、清洗机与检测系统。EV集团创办于1980年，可为遍及全球的众多客户与合作伙伴提供各类服务与支持。上海纳米压印有哪些品牌EVG的纳米压印设备括不同的单步压印系统，大面积压印机以及用于高 效母版制作的分步重复系统。

EVG ® 520 HE热压印系统

特色：经通用生产验证的热压印系统，可满足比较高要求

EVG520 HE半自动热压印系统设计用于对热塑性基材进行高精度压印。EVG的这种经过生产验证的系统可以接受直径比较大为200 mm的基板，并且与标准的半导体制造技术兼容。热压印系统配置有通用压花腔室以及高真空和高接触力功能，并管理适用于热压印的整个聚合物范围。结合高纵横比压印和多种脱压选项，提供了许多用于高质量图案转印和纳米分辨率的工艺。

如果需要详细的信息，请联系我们岱美仪器技术服务有限公司。

IQ Aligner UV-NIL 自动化紫外线纳米压印光刻系统

应用：用于晶圆级透镜成型和堆叠的高精度UV压印系统

IQ Aligner UV-NIL系统允许使用直径从150 mm至300 mm的压模和晶片进行微成型和纳米压印工艺，非常适合高度平行地制造聚合物微透镜。该系统从从晶圆尺寸的主图章复制的软性图章开始，提供了混合和整体式微透镜成型工艺，可以轻松地将其与工作图章和微透镜材料的各种材料组合相适应。此外，EV Group提供合格的微透镜成型工艺，包括所有相关的材料专业知识。EV Group专有的卡盘设计可为高产量大面积印刷提供均匀的接触力。配置包括从压印基材上释放印章的释放机制。

EVG770是用于步进重复纳米压印光刻的通用平台，可用于进行母版制作或对基板上的复杂结构进行直接图案化。

纳米压印光刻设备-处理结果：

新应用程序的开发通常与设备功能的提高紧密相关。 EVG的NIL解决方案能够产生具有纳米分辨率的多种不同尺寸和形状的图案，并在显示器，生物技术和光子应用中实现了许多新的创新。HRI SmartNIL®压印上的单个像素的1.AFM图像压印全息结构的AFM图像

资料来源：EVG与SwissLitho

AG合作（欧盟项目SNM）

2.通过热压花在PMMA中复制微流控芯片

资料来源：EVG

3.高纵横比（7：1）的10 µm柱阵列

由加拿大国家研究委 员会提供

4.L / S光栅具有优化的残留层，厚度约为10 nm

资料来源：EVG

5.紫外线成型镜片300 µm

资料来源：EVG

6.光子晶体用于LED的光提取

多晶硅的蜂窝织构化（mc-Si）

由Fraunhofer ISE提供

7.金字塔形结构50 µm

资料来源：EVG

8.**小尺寸的光模块晶圆级封装

资料来源：EVG

9.光子带隙传感器光栅

资料来源：EVG（欧盟Saphely项目）

10.在强光照射下对HRISmartNIL®烙印进行完整的晶圆照相

资料来源：EVG 岱美仪器代理的SmartNIL是一项关键的启用技术，可用于显示器，生物技术和光子应用中的许多新创新。UV纳米压印可以试用吗

SmartNIL集成了多次使用的软标记处理功能，因此还可以实现****的吞吐量。三维芯片纳米压印值得买

纳米压印应用二：面板尺寸的大面积纳米压印

EVG专有的且经过大量证明的SmartNIL技术的***进展，已使纳米图案能够在面板尺寸比较大为Gen 3（550 mm x 650 mm）的基板上实现。对于不能减小尺寸的显示器，线栅偏振器，生物技术和光子元件等应用，至关重要的是通过增加图案面积来提高基板利用率。 NIL已被证明是能够在大面积上制造纳米图案的**经济、高 效的方法，因为它不受光学系统的限制，并且可以为**小的结构提供比较好的图案保真度。岱美作为EVG在中国区的代理商，欢迎各位联系我们，探讨纳米压印光刻的相关知识。

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