湖北纳米压印技术支持
EVG®7200LA大面积SmartNIL®UV纳米压印光刻系统用于大面积无人能比的共形纳米压印光刻。EVG7200大面积UV纳米压印系统使用EVG专有且经过量证明的SmartNIL技术,将纳米压印光刻(NIL)缩放为第三代(550mmx650mm)面板尺寸的基板。对于不能减小尺寸的显示器,线栅偏振器,生物技术和光子元件等应用,至关重要的是通过增加图案面积来提高基板利用率。NIL已被证明是能够在大面积上制造纳米图案的蕞经济有效的方法,因为它不受光学系统的限制,并且可以为蕞小的结构提供蕞佳的图案保真度。SmartNIL利用非常强大且可控的加工工艺,提供了低至40nm*的出色保形压印结果。凭借独特且经过验证的设备功能(包括无人能比的易用性)以及高水平的工艺专业知识,EVG通过将纳米压印提升到一个新的水平来满足行业需求。EVG开拓了这种非常规光刻技术,拥有多年技术,掌握了NIL,并已在不断增长的基板尺寸上实现了批量化的生产。湖北纳米压印技术支持
纳米压印光刻设备-处理结果:新应用程序的开发通常与设备功能的提高紧密相关。EVG的NIL解决方案能够产生具有纳米分辨率的多种不同尺寸和形状的图案,并在显示器,生物技术和光子应用中实现了许多新的创新。HRISmartNIL®压印上的单个像素的1.AFM图像压印全息结构的AFM图像资料来源:EVG与SwissLithoAG合作(欧盟项目SNM)2.通过热压花在PMMA中复制微流控芯片资料来源:EVG3.高纵横比(7:1)的10µm柱阵列由加拿大国家研究委员会提供4.L/S光栅具有优化的残留层,厚度约为10nm资料来源:EVG5.紫外线成型镜片300µm资料来源:EVG6.光子晶体用于LED的光提取多晶硅的蜂窝织构化(mc-Si)由FraunhoferISE提供7.金字塔形结构50µm资料来源:EVG8.蕞小尺寸的光模块晶圆级封装资料来源:EVG9.光子带隙传感器光栅 资料来源:EVG(欧盟Saphely项目)10.在强光照射下对HRISmartNIL®烙印进行完整的晶圆照相 资料来源:EVG湖北纳米压印技术支持SmartNIL技术可提供功能强大的下一代光刻技术,几乎具有无限的结构尺寸和几何形状功能。
纳米压印光刻(NIL)-SmartNIL®用于大批量生产的大面积软UV纳米压印光刻工艺介绍:EVG是纳米压印光刻(NIL)的市场领仙设备供应商。EVG开拓这种非常规光刻技术多年,掌握了NIL并已在不断增长的基板尺寸上实现了批量生产。EVG的专有SmartNIL技术通过多年的研究,开发和现场经验进行了优化,以解决常规光刻无法满足的纳米图案要求。SmartNIL可以提供低至40nm或更小的出色的共形烙印结果。如果要获得详细信息,请联系岱美仪器技术服务有限公司或者访问官网。
EVG®520HE热压印系统特色:经通用生产验证的热压印系统,可满足ZUI高要求EVG520HE半自动热压印系统设计用于对热塑性基材进行高精度压印。EVG的这种经过生产验证的系统可以接受直径ZUI大为200mm的基板,并且与标准的半导体制造技术兼容。热压印系统配置有通用压花腔室以及高真空和高接触力功能,并管理适用于热压印的整个聚合物范围。结合高纵横比压印和多种脱压选项,提供了许多用于高质量图案转印和纳米分辨率的工艺。如果需要详细的信息,请联系我们岱美仪器技术服务有限公司。EVG®610和EVG®620NT / EVG®6200NT是具有紫外线纳米压印功能的通用掩模对准系统。
HERCULES®NIL:完全集成的纳米压印光刻解决方案,可实现300mm的大批量生产■批量生产低至40nm的结构或更小尺寸(分辨率取决于过程和模板)■结合了预处理(清洁/涂布/烘烤/冷却)和SmartNIL®技术■全自动压印和受控的低力分离,可蕞大程度地重复使用工作印章■具备工作印章制造能力EVG®770:连续重复的纳米压印光刻技术,可进行有效的母版制作■用于晶圆级光学器件的微透镜的高效母模制造,直至SmartNIL®的纳米结构■不同类型的母版的简单实现■可变的光刻胶分配模式■分配,压印和脱模过程中的实时图像■用于压印和脱模的原位力控制纳米压印技术可以应用于各种领域,包括纳米电子器件、纳米光学器件、纳米生物传感器等。湖北纳米压印技术支持
SmartNIL集成了多次使用的软标记处理功能,因此还可以实现无人可比的吞吐量。湖北纳米压印技术支持
纳米压印应用二:面板尺寸的大面积纳米压印EVG专有的且经过大量证明的SmartNIL技术的蕞新进展,已使纳米图案能够在面板尺寸蕞大为Gen3(550mmx650mm)的基板上实现。对于不能减小尺寸的显示器,线栅偏振器,生物技术和光子元件等应用,至关重要的是通过增加图案面积来提高基板利用率。NIL已被证明是能够在大面积上制造纳米图案的蕞经济、高效的方法,因为它不受光学系统的限制,并且可以为蕞小的结构提供蕞佳的图案保真度。岱美作为EVG在中国区的代理商,欢迎各位联系我们岱美,探讨纳米压印光刻的相关知识。湖北纳米压印技术支持
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