广州MEMS扫描微镜提供商

MEMS微镜是指采用光学MEMS技术制造的，把微光反射镜与MEMS驱动器集成在一起的光学MEMS器件。MEMS微镜的运动方式包括平动和扭转两种机械运动。对于扭转MEMS微镜，当其光学偏转角度较大（达到10°以上），主要功能是实现激光的指向偏转、图形化扫描、图像扫描时，可被称为“MEMS扫描镜”，以区别于较小偏转角度的扭转MEMS微镜。MEMS扫描镜是激光应用必不可少的关键激光元器件，应用领域已渗透到消费电子、医疗、**、通讯等。这其中有已经量产的应用，还有许多概念性的应用。主要应用领域有三个方面：激光扫描、光通讯、数字显示。一维MEMS扫描镜的特征：大扫描角度。广州MEMS扫描微镜提供商

MEMS微镜中所谓静电驱动技术，就是利用电荷间的库仑力作为驱动力进行驱动的技术。通过静电作用使可以活动的微镜面转动，从而改变光路。虽然驱动力较其他原理的器件相比偏小，但工艺兼容性较好，可以使用体硅和表面硅机械加工工艺制作，便于实现集成。静电驱动技术按结构分，主要有平行板电容结构、抓刮结构（scratch drive actuator，SDA）和梳齿结构三大类。所谓的平板电容结构，就是在平板电容的两端施加电压，上级板可动，下极板固定。当外加驱动电压时，静电力使极板间距减小，造成静电力增大；静电力的增大进一步引起极板间距的减小，又使静电力进一步增大，这是一个正反馈过程。因此，通过对外加电压的控制实现镜面的扭转，但只有当驱动电压在一定范围内才是稳定的。上海3D建模MEMS扫描微镜MEMS微镜的运动方式包括平动和扭转两种机械运动。

MEMS微镜扫描方法使用洛伦兹力磁体来控制1cm²微镜设备的运动，这是朝着小尺寸传感器模块迈出的一步，它无需使用电机，且限制了 会引起摩擦的机械部件。从理论上讲，降低了那些可能影响传感器模块可靠性和使用寿命的因素。分辨率的提高主要来自调整反射镜和激光发射器的尺寸。通过提高分辨率，开发者旨在提高对象检测和识别的可靠性。一维MEMS扫描镜(直径1.4mm)采用半导体硅工艺制造, 低功耗静电驱动,以高速谱振模式,可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率,目前已经量产,可大批量交付客户,亦可大规模制造中采用铝为镜面材料,实现其他波段的高反射率。同时,可以根据不同需求定制其他不同大小镜面的MEMS微镜芯片。

MEMS扫描微镜在整片的单晶硅上采用拥有技术的无万向节设计和独特的多级悬梁制造工艺制作一个完整的微镜促动器。其中采用无万向节设计可以使微镜在成像或光束偏转时可以在两个轴上达到同样的高速度。一个普通的拥有0.8mm直径的微镜，当机械偏角为-6°到+6°时，非谐振偏转速度超过1000rad/s，谐振频率更是达到3.6KHz。与常规的MEMS扫描镜不同的是，该微型振镜可以在多个模式下工作，即点对点模式（受迫振动）、混合模式和谐振模式。随着使用时间的推移，MEMS扫描镜依然保持着极高的性能。

该MEMS扫描镜采用静电驱动且选用整个单晶硅制备而成，因此使得驱动电压和偏转角度之间存在良好的一一对应的关系，并且有着可重复性，而且随着使用时间的推移依然保持着极高的性能。对于开环的微振镜，致动器在每个轴上至少有14Bits（约16384个位置），因此当机械偏转角度为-5°到+5°是，角度的分辨率可达到10微弧度。一维MEMS扫描镜(直径1.4mm)采用半导体硅工艺制造, 低功耗静电驱动,以高速谱振模式,可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率。一维MEMS扫描镜设计上采用高速共振模式，以达到大光学扫描角的性。激光扫描MEMS器件开发

一维MEMS扫描镜的特征：抗冲击、抗振动。广州MEMS扫描微镜提供商

MEMS扫描镜的注意事项：根据扫描镜运动方式，MEMS扫描镜可以分为谐振式和准静态式两种。谐振式MEMS扫描镜工作在机械谐振状态，其扫描角度大、驱动功耗低、扫描电压低，图像化激光扫描、激光成像是其主要的应用市场。准静态MEMS扫描镜工作在非谐振状态，扫描镜可以在扫描范围内的任意扫描角度暂停，主要应用于激光指向、激光矢量化图形扫描，其扫描角度范围相对较小。在同一MEMS扫描镜中，其二维扫描也可以分别工作于谐振和非谐振两种状态。广州MEMS扫描微镜提供商

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