谐振式MEMS扫描镜报价

MEMS微镜在DLP的应用是一个成功的例子。DLP显示的主要技术则是采用静电原理的MEMS微镜组成的阵列，每一面微镜构成一个单色像素，由微镜下层的寄存器控制特定镜片在开关状态间的高速切换，将不同颜色的像素糅合在一起。DLP技术在1987年问世，较初只用于**，直到1996年才投入商业化应用：投影仪。与传统的35毫米胶片电影相比，DLP影院显示技术所呈现的影像色彩更鲜艳、更准。这多亏了DLP显示引擎光学效率的BrillianColor（色彩）技术，这种技术不只让电影公司在影片的包装和发行上变得更得心应手，同时也让观众能享受到更精彩的视觉盛宴。更重要的是，DLP芯片出色的高稳定性和高可靠性也是让其能够在影院大放异彩的重要原因之一。一维MEMS扫描镜是低功耗静电驱动,以高速谱振模式，实现大的光学扫描角度和高扫描频率。谐振式MEMS扫描镜报价

MEMS扫描镜裸片与用于垂直扫描位置反馈的压阻式应变传感器靠得很近。位置系统反馈信号可以提高投影式显示器长时间使用和在不同环境条件下的稳定性，红、蓝和绿色激光二极管与MEMS扫描镜集成在一起形成一个紧凑的彩色显示引擎，如图6所示。扫描镜系统在设计中使用了MEMS和小型激光器，包含光源在内，整个体积不超过5cm^3，高度只6mm。二维MEMS扫描镜（直径3.0mm /直径1.4mm）采用半导体硅技术制造， 低功耗静电驱动，快轴可达到几kHz共振模式，慢轴可实现稳定旋转，并可以实现 二维光束空间用户可以根据光学系统的实际应用选择合适的镜面尺寸。智能安防MEMS器件行业二维扫描镜是指沿着两个方向同时对光束进行调节。

芯片封装形式：MEMS 芯片产品，其封装形式可以根据不同的使用需求进行定制化开发。我司可提供 1 种（CLCC 封装,如下图所示）标准封装形式供客户使用。一维MEMS扫描镜需要特殊的驱动控制模块，我司可提供与之匹配的专业驱动控制模块，可缩短客户对其开发周期。一维MEMS扫描镜(直径1.4mm)采用半导体硅工艺制造, 低功耗静电驱动,以高速谱振模式,可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率,目前已经量产,可大批量交付客户,亦可大规模制造中采用铝为镜面材料,实现其他波段的高反射率。

扫描镜是通过精确控制镜面的偏角来控制光束的偏转方向，扫描镜可用于光束的指向控制和扫描。昊量光电可提供的光束偏转产品包括以下产品：MEMS 扫描镜：由静电驱动，可提供镜面直径从0.8-7.5mm不等产品。一个产品可在点对点、一个轴谐振另外一个点对点控制，两个轴谐振三种不同模式下工作。二维MEMS扫描镜（直径3.0mm /直径1.4mm）采用半导体硅技术制造， 低功耗静电驱动，快轴可达到几kHz共振模式，慢轴可实现稳定旋转，并可以实现 二维光束空间用户可以根据光学系统的实际应用选择合适的镜面尺寸。一维MEMS扫描镜可为红外波长光束提供高反射率。

MEMS扫描镜全部由单晶硅制成，也就是说这种设计使运动部件不包括任何易出故障的部件，例如，金属、聚合物、压电材料等。使其拥有优良的重复性和可靠性。采用无万向节设计，使大镜面尺寸和大角度偏转的MEMS微振镜拥有更高的速度。静电驱动的MEMS扫描微振镜两个轴的偏转角度可达到32°，在满振幅运转功耗只为几毫瓦。目前静电驱动的微振镜可提供的一维和二维的MEMS扫描镜，可提供直径从0.8mm到5mm微型振镜。一维MEMS扫描镜(直径1.4mm)采用半导体硅工艺制造, 低功耗静电驱动,以高速谱振模式,可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率,目前已经量产,可大批量交付客户,亦可大规模制造中采用铝为镜面材料,实现其他波段的高反射率。一维 MEMS扫描镜的应用：编码结构光投影器。微型MEMS器件定做

MEMS扫描镜可以满足信息激光应用的要求。谐振式MEMS扫描镜报价

MEMS扫描镜的应用是比较普遍的，扫描镜已成为MEMS业界关注的焦点，微镜是指采用光学MEMS技术制造的，把微光反射镜与MEMS驱动器集成在一起的光学MEMS器件。MEMS微镜的运动方式包括平动和扭转两种机械运动。对于扭转MEMS微镜，当其光学偏转角度较大（达到10°以上），主要功能是实现激光的指向偏转、图形化扫描、图像扫描时，可被称为“MEMS扫描镜”，以区别于较小偏转角度的扭转MEMS微镜。MEMS扫描镜在激光投影、激光成像、激光加工、激光传感等应用具有普遍的需求，是激光应用必不可少的关键激光元器件，较近成为关注的热点。谐振式MEMS扫描镜报价

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