苏州电子MEMS扫描微镜厂家价格

一维MEMS扫描镜简介：一维MEMS扫描镜设计上采用高速共振模式，以达到大光学扫描角的性能，可实现光束。一维空间的精确扫描；用户可根据实际应用的光学系统需求，选择合适的反射镜面尺寸及性能参数；镜面表面以金或铝为标准镀膜材料，为不同工作波长光束提供高反射率；若采用两颗一维MEMS扫描镜组合即可实现光束在二维空间的精确扫描，可实现高性能要求应用的开发。一维MEMS扫描镜(直径1.4mm)采用半导体硅工艺制造,低功耗静电驱动,以高速谱振模式,可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率,目前已经量产,可大批量交付客户,亦可大规模制造中采用铝为镜面材料,实现其他波段的高反射率一维 MEMS扫描镜的应用：编码结构光投影器。苏州电子MEMS扫描微镜厂家价格

MEMS扫描微镜及其选型参数：对于自动驾驶应用的双轴MEMS激光雷达，MEMS扫描微镜的横轴（水平方向，快轴）扫描频率应在0.5-2KHz之间，纵轴（垂直方向，慢轴）扫描频率应在10-30Hz之间。此外，若选用的MEMS扫描微镜的谐振频率较高，激光雷达的分辨率、帧率及鲁棒性均更佳。多种用途激光雷达的MEMS扫描微镜参考：总体而言，MEMS扫描微镜的FoM值越大，越利于激光雷达性能提升。相较而言，单轴MEMS扫描微镜因整体结构更为简便，所以更容易得到更大的扫描角度，更大的光学孔径和更高的谐振频率。苏州电子MEMS扫描微镜厂家价格一维MEMS扫描镜目前已经量产，可大批量交付客户。

MEMS扫描微镜为了得到较大的驱动力矩使得振镜扭转较大角度，同时尽可能地降低功耗，通常使用电磁驱动或压电驱动来驱动大尺寸振镜.其中，压电驱动虽然能够产生比较大的驱动力，但由于其难以与MEMS工艺相结合，并且驱动产生的位移较小，故器件中采用了更加灵活和高效的电磁驱动方式.电磁驱动方式根据其结构的不同，通常有两种驱动形式：一种为电磁铁型，将表面附有铁钴镍等导磁性能良好金属的微扫描镜放置在按照一定频率变化的交变磁场中，利用交变磁场与金属相互作用产生磁力驱动微描镜扭转；另一种为双极子型，需要在微扫描镜上沉积磁材料，利用磁材料在交变电场下产生的作用力，驱动微扫描镜扭转。

MEMS器件的主要分类：射频MEMS技术传统上分为固定的和可动的两类。固定的MEMS器件包括本体微机械加工传输线、滤波器和耦合器，可动的MEMS器件包括开关、调谐器和可变电容。按技术层面又分为由微机械开关、可变电容器和电感谐振器组成的基本器件层面；由移相器、滤波器和VCO等组成的组件层面；由单片接收机、变波束雷达、相控阵雷达天线组成的应用系统层面。MEMS所包含的内容正在不断增加，并变得更加丰富。人们还把微机械、微结构、灵巧传感器和智能传感器归入MEMS范畴。制作MEMS的技术包括微电子技术和微加工技术两大部分。微电子技术的主要内容有：氧化层生长、光刻掩膜制作、光刻选择掺杂（屏蔽扩散、离子注入）、薄膜（层）生长、连线制作等。微加工技术的主要内容有：硅表面微加工和硅体微加工（各向异性腐蚀）技术、晶片键合技术、制作高深宽比结构的LIGA技术等。利用微电子技术可制造集成电路和许多传感器。微加工技术很适合于制作某些压力传感器、加速度传感器、微泵、微阀、微沟槽、微反应室、微执行器、微机械等，这就能充分发挥微电子技术的优势，利用MEMS技术大批量、低成本地制造高可靠性的微小卫星。一维MEMS扫描镜目前已经量产。

MEMS扫描镜所采用的驱动技术有哪些？MEMS扫描镜的驱动技术有四种，即静电驱动、电磁驱动、压电驱动和电热驱动，其中前两种技术比较成熟，应用也更广。静电驱动MEMS扫描镜采用单晶硅制造，工艺简单、成熟，芯片尺寸小，驱动功耗极低，封装也比较简单，属电压驱动型器件。静电驱动MEMS扫描镜由于器件工作于谐振状态，可以实现大角度的扫描，但驱动电压会比较高。由于电磁驱动的力密度大，电磁驱动MEMS扫描镜也获得普遍的应用，其扫描角度大，可以实现线性扫描。电磁驱动器件工艺涉及数十微米厚度的电磁线圈的制造，封装需要配置永磁铁，器件模块尺寸稍大些。该器件属电流驱动型器件，驱动电流达数十毫安，驱动功耗较高。器件既可工作于谐振状态，也可以工作于非谐振状态，当工作与谐振状态时，驱动功耗可以大幅度降低。相较于传统的扫描镜，MEMS扫描镜具有响应速度快和功耗低等优点。汽车HUDMEMS扫描镜报价

一维MEMS扫描镜的质量轻，成本低。苏州电子MEMS扫描微镜厂家价格

MEMS微镜的应用领域比较普遍，MEMS微镜扫描方法使用洛伦兹力磁体来控制1cm²微镜设备的运动，这是朝着小尺寸传感器模块迈出的一步，它无需使用电机，且限制了会引起摩擦的机械部件。从理论上讲，降低了那些可能影响传感器模块可靠性和使用寿命的因素。分辨率的提高主要来自调整反射镜和激光发射器的尺寸。通过提高分辨率，开发者旨在提高对象检测和识别的可靠性。MEMS微镜的使用仍然涉及移动部件的使用，并伴随着可靠性和准确性的风险。但MEMS微镜也已经应用于汽车其他领域，例如DLP方案的HUD和前照灯系统，且已经通过了车规级的NVH测试。苏州电子MEMS扫描微镜厂家价格

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