山东数字显示MEMS扫描微镜定做

MEMS器件的主要分类：生物MEMS技术是用MEMS技术制造的化学/生物微型分析和检测芯片或仪器，有一种在衬底上制造出的微型驱动泵、微控制阀、通道网络、样品处理器、混合池、计量、增扩器、反应器、分离器以及检测器等元器件并集成为多功能芯片。可以实现样品的进样、稀释、加试剂、混合、增扩、反应、分离、检测和后处理等分析全过程。它把传统的分析实验室功能微缩在一个芯片上。生物MEMS系统具有微型化、集成化、智能化、成本低的特点。功能上有获取信息量大、分析效率高、系统与外部连接少、实时通信、连续检测的特点。扫描镜具有的特点是比较多的。山东数字显示MEMS扫描微镜定做

MEMS微镜的一大特点是价格便宜，MEMS微镜现在已经很小了，未来还会怎么发展呢？沈文江认为，其发展方向主要是针对特定的应用市场开发特定的MEMS微镜。比如激光雷达用的MEMS微镜需要大镜面，镜面大了光学发射出去的脉冲就更聚焦，能打得更远，接收的脉冲信号就更强；再比如在激光扫描投影应用中，要求扫描频率更高，这样能够实现更高的投影分辨率。微镜的另一个很大的应用场景是光通信，包括光开关、光交换机等，现在大部分是从美国、加拿大进口的芯片，这应该是光通信领域国产替代的一个重要方向。一维MEMS扫描镜(直径1.4mm)采用半导体硅工艺制造,低功耗静电驱动,以高速谱振模式,可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率,目前已经量产。MEMS扫描微镜加工相较于传统的扫描镜，MEMS扫描镜具有尺寸小的特点。

MEMS扫描微镜也叫振镜，微镜沿着x、y两个方向扫描，可以实现非常高频率的扫描。现在用于激光扫描投影的MEMS芯片，扫描频率可以达到40kHz，相当于一秒钟扫描4万次。微镜是一个硅结构的微型机械装置。有些微镜是用静电力来驱动的，与机械式相比，MEMS的优势很多，如安装简单、体积更小、价格便宜，有希望在乘用车上普及。MEMS激光雷达只需要一个激光器和MEMS微镜组合就能实现激光脉冲的扫描，装配起来很简单。从成本考虑，由于采用半导体工艺，量大了成本也会很便宜。

扫描镜具有的特点是比较多的，扫描镜是通过精确控制镜面的偏角来控制光束的偏转方向，扫描镜可用于光束的指向控制和扫描。昊量光电可提供的光束偏转产品包括以下产品：MEMS扫描镜：由静电驱动，可提供镜面直径从0.8-7.5mm不等产品。一个产品可在点对点、一个轴谐振另外一个点对点控制，两个轴谐振三种不同模式下工作。二维MEMS扫描镜（直径3.0mm/直径1.4mm）采用半导体硅技术制造，低功耗静电驱动，快轴可达到几kHz共振模式，慢轴可实现稳定旋转，并可以实现二维光束空间用户可以根据光学系统的实际应用选择合适的镜面尺寸。MEMS微镜是指采用光学MEMS技术制造的。

用于光通讯交换的MEMS器件：对于光通讯而言，发展全光交换系统一直就是业界孜孜不倦所追求的目标。而MEMS技术则被普遍认为是目前能够被用来实现全光交换较有希望的技术手段。基于MEMS技术的全光交换原理并不复杂。MEMS技术被用来在硅晶上刻出微小的反射镜，这些微小的反射镜被排成一个二维的阵列。每一个反射镜都有一个活动的微镜架以及可以被电信号驱动的微铰链。处于正常状态的微反射镜平躺着，电压信号加上后，微反射镜立起来，可以将入射光信号反射到垂直的方向上去。一个n x n的二维反射阵列可以用来控制n束信号光之间的全交换。一维MEMS扫描镜是采用 MEMS 静电驱动原理，体积小。MEMS扫描微镜加工

一维 MEMS扫描镜的应用：手势动作感测。山东数字显示MEMS扫描微镜定做

MEMS扫描镜可以应用于激光加工等能量激光领域吗？MEMS扫描镜的尺寸很小，其反射镜面直径通常为数毫米，镜面厚度、支撑悬臂梁的厚度/宽度只为数十微米至数百微米。MEMS扫描镜面采用金属反射薄膜，可以承受的激光功率可达到瓦级以上，因此可以满足信息激光应用的要求。MEMS扫描镜可以满足激光加工等能量激光应用。能量激光应用可以划分为十瓦、百瓦和千瓦量级三个层级，十瓦、百瓦两个层级的MEMS扫描镜是可以期待的。实现十瓦、百瓦两个层级的MEMS扫描镜的商业应用，则需要在超高光反射率反射镜设计与制造、大镜面尺寸大角度器件设计、MEMS扫描镜传热/散热设计、器件光电封装等技术方面实现突破。山东数字显示MEMS扫描微镜定做

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