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时间:2024年08月01日 来源:

通过将空间频率为62.5lp/mm时的MTF解析结果保持在MTFS>MTFT×10或MTFT>MTFS×10,尤其是让解析结果满足:MTFS≥0.5且MTFT<0.05、或者MTFT≥0.5且MTFS<0.05,能够让光斑在感光元件的感光单元的主要排列方向上的延伸更加明显,进一步降低成像物镜的设计难度、以及制造和维护成本;对于弧矢方向和子午方向MTF值差距不大的成像物镜,通过在成像物镜前和/或在成像物镜后加入能够引入像散的光学元器件(如平板玻璃等),配合微调成像物镜与所述感光元件之间的相对距离来使得成像物镜和感光元件所组成整体的MTF值满足上述要求,能够很容易地让光斑被拉长,更加容易被感光元件所接收;高精度激光位移传感器还可以用于科学研究和实验室应用。广州激光位移传感器厂家现货

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根据权利要求1所述的激光位移传感器,其特征在于,在进行解析时,空间频率为62.5lp/mm,如果所述多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向,则MTFS≥0.5,MTFT<0.05;如果所述多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向,则MTFT≥0.5,MTFS<0.05。4.根据权利要求1所述的激光位移传感器,其特征在于,进一步包括:反光元件,所述反光元件设置在所述成像物镜的出射光路上,所述成像物镜的出射光经所述反光元件反射后,入射到所述感光元件。5.根据权利要求1所述的激光位移传感器,其特征在于,进一步包括:带通滤光片,设置于所述成像物镜的入射光路上。6.根据权利要求1所述的激光位移传感器,其特征在于,进一步包括:聚焦透镜,设置于所述激光器的出射光路上。7.根据权利要求1至6中任一项所述的激光位移传感器,其特征在于,所述感光元件为线阵感光元件,所述线阵感光元件的多个感光单元沿直线排列,该直线的延伸方向为所述多个感光单元的主要排列方向。合肥激光位移传感器调试此外,它们通常具有用户友好的界面和操作方式,使得使用者能够轻松地进行测量和数据分析。

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本实用新型涉及一种检验校准装置,特别指一种激光位移传感器检验校准装置。激光位移传感器是一种利用激光技术进行测量的传感器,它由激光器、激光检测器、测量电路组成。激光位移传感器是一种新型的测量仪表,能够非接触测量被测物体的位移变化,并且测量精度高。在激光位移传感器的使用过程中,由于设备的磨损老化等原因,导致激光位移传感器的测量误差增大,此时需要将激光位移传感器进行定期的检验、校准。目前,对激光位移传感器的检验、校准,主流的做法是测量一个已知的距离(比如:1米、5米、10米等),通过对比测量的数值与实际的数值来判断测量的精确度。但是这种方法存在有如下问题:1、检验的精度不够高;2、需要较大的场地。

系统的整体结构如图1所示。从图1可以看出,整个系统由上位机、激光位移传感器和平台运动控制系统三部分组成。激光位移传感器由激光位移控制器、感测头和监视器组成。平台运动控制系统主要由平移台运动控制器、驱动器、电源和二维电动平移台组成。系统的部分设备如图2所示。图2列出了激光位移传感器感测头和二维电动平移台。图3为激光位移传感器感测头测量对象物原理。参考距离根据被测对象物的变化可测量范围为2 mm,基准距离为30 mm,传感器显示解析度为0.3μm,线性度达到满量程的0.3%,即精度达到6μm。它可以实时测量物体的位移,并提供高精度的测量结果。

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在图1所示的实施例中,成像物镜6包含以下两种结构形式:(形式一)成像物镜6为物侧面和像侧面都为非球面的单一非球面镜片,(形式二)成像物镜6是由多个镜片组合而成的透镜组。综上所述,本发明在激光位移传感器的光学系统设计时,利用增加像散,在感光元件的感光单元沿着S方向排列的情况下,拉高成像物镜S方向的MTF值同时降低T方向上的MTF值,使得线阵感光元件上的光斑呈现长条状态,进而实现以下技术效果:降低激光位移传感器中成像物镜的设计难度,同时降低了设备的成本;为什么要使用激光位移传感器呢?普陀区激光位移传感器常用解决方案

激光位移传感器在半导体行业的应用案例。广州激光位移传感器厂家现货

将纸币放置在平台上,调整感测头与纸币的距离大约在30mm左右,直至焦点对准纸币且监视器中显示可变化的读数;(2)按下人机界面中的Start按钮,平台将以设置好的速度、相邻数据点物理间隔和时间间隔进行移动,直到数据采集完为止;(3)保存步骤(2)中所采集到的数据,取下纸币,对平台进行复位;(4)重复步骤(2)操作,采集到的为平台表面离基准线间的距离,为了减小平台表面起伏对纸币表面检测的影响,将步骤(2)中采集到的数据减去步骤(4)中的数据;广州激光位移传感器厂家现货

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