高速激光位移传感器调试

成像物镜6和感光元件7组成的成像系统经调制传递函数进行解析后会得到解析结果MTFS和MTFT，其中MTFS为弧矢方向上的MTF值，MTFT是子午方向上的MTF值。[0043]在一个实施例中，如果感光元件的多个感光单元为沿着S方向(弧矢方向，可以将弧矢向定义为水平方向)排列，则在光学系统设计时，可以利用成像物镜6的像散拉高S方向(弧矢方向，可以将弧矢方向定义为水平方向)的MTF值，降低T方向MTF值。通过将成像系统的MTFS和MTFT设计为满足MTFS＞MTFT，能够让呈现的光斑在子午方向上被拉长，在弧矢方向上被缩短。它具有较长的使用寿命，能够长时间稳定地运行。高速激光位移传感器调试

针对相关技术中的问题，本发明提出一种激光位移传感器，能够在不影响测量精度的情况下，降低成像物镜的设计难度，同时让测量系统能够更有效地应对振动、机械变形等不良影响。根据本发明，提供了一种激光位移传感器。根据本发明的激光位移传感器包括激光器、成像物镜以及感光元件，激光器用于射出激光束，由成像物镜接收并出射的光入射到感光元件。其中，在对成像物镜和感光元件CN1 06855391B3进行调制传递函数MTF解析时，解析结果满足以下条件：[0011]在感光元件的多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向的情况下，MTFS＞MTFT；在感光元件的多个感光单元的主要排列方向为子午方向的情况下，MTFT＞MTFS；其中，MTFS为弧矢方向上的MTF值，MTFT为子午方向上的MTF值。进一步地，在进行解析时，空间频率为62.5lp/mm，如果多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向，则MTFS＞MTFT×10；如果多个感光单元的主要排列方向为子午方向，则MTFT＞MTFS×10。[0015]可选地，空间频率为62.5lp/mm，如果多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向，则MTFS≥0.5，MTFT＜0.05；如果多个感光单元的主要排列方向为子午方向，则MTFT≥0.5，MTFS＜0.05。高速激光位移传感器定做高精度激光位移传感器可以用于测量材料的压缩和伸展性能。

从图3所示的成像光学系统结构图可看出，在整个物面并不垂直于光轴时，经过系统成像以后得到的像面也不垂直于光轴，与光轴存在一定的夹角β，设计的lastβ优化值取为60.4628°，此时像面上可得到比较理想的光斑分布。在工作范围内不同视场的散射光均能很好地成像于探测器。在图4中可看到不同视场的成像光斑形状，此点列图表明成像光斑分布均匀，但还存在一定的剩余像差，主要为球差，光斑大小可见表2，光斑直径在20μm左右。同时根据设计结果可得像距为33.092mm，经计算tanα/tanβ=0.6137，di/do=0.6145，此物镜设计基本满足于Scheimpflug理想成像条件。

如权利要求1所述的激光位移传感器检验校准装置，其特征在于：所述可伸缩导轨包括一电动伸缩双直线导轨、一number one支撑件、一第二支撑件、一滑动轮、一伸缩制动开关以及一控制面板；所述number one支撑件安装在所述电动伸缩双直线导轨固定端的底部，所述第二支撑件安装在所述电动伸缩双直线导轨可伸缩端的底部；所述滑动轮设于所述第二支撑件的底部；所述伸缩制动开关设于所述第二支撑件的侧面；所述控制面板与所述电动伸缩双直线导轨电连接。为什么要使用激光位移传感器呢？

本实用新型涉及一种检验校准装置，特别指一种激光位移传感器检验校准装置。激光位移传感器是一种利用激光技术进行测量的传感器，它由激光器、激光检测器、测量电路组成。激光位移传感器是一种新型的测量仪表，能够非接触测量被测物体的位移变化，并且测量精度高。在激光位移传感器的使用过程中，由于设备的磨损老化等原因，导致激光位移传感器的测量误差增大，此时需要将激光位移传感器进行定期的检验、校准。目前，对激光位移传感器的检验、校准，主流的做法是测量一个已知的距离(比如：1米、5米、10米等)，通过对比测量的数值与实际的数值来判断测量的精确度。但是这种方法存在有如下问题：1、检验的精度不够高；2、需要较大的场地。它可以用于测量电子元件的尺寸和形状。江苏激光位移传感器产品基本性能要求

它可以用于测量液压系统的位移，以提高系统的控制精度。高速激光位移传感器调试

激光位移传感器的测量精度容易受到被测物体表面特征的影响，为了减小测量误差，在整形镜设计中应尽量使出射光斑在有效的测量范围内实现光斑小且均匀。针对传感头小型化设计的要求，半导体激光器体积小、重量轻的优点正好符合这一要求，但其光束质量并不理想，需要对其进行光束整形。半导体激光器快慢轴的光束分布极不对称:快轴发散角较大，半角的典型值为30～40°，光束呈高斯分布，发光范围的半宽度为0.6～0.8μm，慢轴发散角的半角典型值为3～6°，光束分布不规则，发光范围半宽度为50～100μm。因此，在不允许能量损失的情况下，要求整形系统的物方数值孔径(NA)>0.573；但由于光束的快轴能量呈高斯分布，通常取半宽度(FWHM)为20°，此时NA=0.342。系统物距应尽量小一些，但考虑到工艺问题，不宜过小，选定为2.5mm。为了便于设计，将系统倒置，整个系统的主要要求为:工作波长为785±10nm，像方NA=0.342，像距l′=2.5mm，物距l=40～60mm，焦距f=3～4mm。高速激光位移传感器调试