光刻机的工作原理是什么呢？

岱美仪器技术服务2023-07-26

光刻机的工作原理主要涉及三个步骤：掩膜对准、曝光和显影。首先，通过对准系统，将掩膜的图案精确对准到硅片表面。然后，通过曝光光源，照射光源通过掩膜，将图案投影到硅片表面。再者，通过显影，去除未曝光区域的光敏剂，形成所需的图形。我们岱美拥有训练有素的工程师，能够为各地区用户提供快捷、可靠的技术支持和维修服务，在此欢迎广大客户前来咨询选购！

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