光刻机的分辨率是什么？如何提高分辨率？

岱美仪器技术服务2023-05-29

光刻机的分辨率是指其能够实现的至小线宽或至小特征尺寸。通常情况下，光刻机的分辨率越高，制造出的芯片的性能和稳定性就越好。提高分辨率的方法包括使用更高的光学放大率、更短的波长、更高的光能量、更高的对比度等。此外，还可以通过使用更高质量的光刻胶和更精确的悬浮物等方法来提高分辨率。我们岱美拥有训练有素的工程师，能够为各地区用户提供快捷、可靠的技术支持和维修服务，在此欢迎广大客户前来咨询选购！

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