如何评估蚀刻ITO不伤铜蚀刻液的效果？

苏州圣天迈电子科技有限公司2023-11-14

蚀刻速率：评估蚀刻液效果的重要指标之一是ITO蚀刻速率。蚀刻速率指的是在一定时间内，蚀刻液能够蚀刻ITO薄膜的深度或厚度。通常，蚀刻速率越快，说明蚀刻液的效果越好。 选择比：蚀刻液的一个重要特性是选择比，即蚀刻液对ITO薄膜和铜层的蚀刻速率之比。选择比越大，说明蚀刻液对ITO薄膜的蚀刻速率越高，对铜层的蚀刻速率越低，从而可以保护铜层不受损害。 均匀性：蚀刻液对ITO薄膜蚀刻的均匀性也是评估其效果的重要指标之一。均匀性越好，说明蚀刻液能够在ITO薄膜上形成一致的蚀刻效果，从而提高产品的质量和稳定性。

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