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    本发明提供如下技术方案：一种抛光减薄装置，包括：托盘，用于固定待加工部件，所述待加工部件包括inp基晶圆；喷头，用于向所述待加工部件的待加工表面喷涂抛光液，以对所述待加工表面进行抛光；磁转子，放置在所述待加工部件的待加工表面上，用于通过旋转对所述待加工表面进行机械研磨，对所述待加工表面进行减薄。可选地，还包括控制部件；所述控制部件与所述磁转子和所述喷头相连，用于控制所述喷头和所述磁转子交替工作，以对所述待加工表面交替进行抛光和减薄。可选地，所述磁转子包括截面为半圆形的柱状磁性结构和位于所述磁性结构底部的研磨层，以通过所述研磨层对所述待加工表面进行机械研磨。可选地，所述研磨层为金属氧化物层，所述金属氧化物层包括三氧化二铝层。可选地，还包括：热板，设置于所述托盘底部，用于对所述托盘进行加热，以使所述待加工部件与所述托盘键合固定。可选地，所述待加工部件与所述托盘通过光刻胶键合固定。一种抛光减薄方法，包括：将待加工部件固定在托盘上，所述待加工部件包括inp基晶圆；通过喷头向所述待加工部件的待加工表面喷涂抛光液，来对所述待加工表面进行抛光；通过磁转子旋转对所述待加工表面进行机械研磨。减薄清洗剂，采用独特工艺，轻松去除顽固涂层。绍兴哪家减薄用清洗剂厂家现货

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    所述控制器用于控制减薄处理过程，具体的，在所述玻璃加工治具4从所述冲洗区2移动至所述腔室31内合适位置时打开所述喷淋组件33进行减薄处理操作，并在由所述主厚度测量仪32测得的玻璃厚度达到目标厚度时关闭所述喷淋组件33停止对玻璃进行的减薄处理，以及在减薄完成后控制所述玻璃加工治具4再次向所述冲洗区2移动。所述控制器在喷淋减薄过程中控制所述玻璃加工治具4在所述腔室31内的往复移动。一般的，所述喷淋组件33包括设置于所述腔室31顶部的喷淋头、设置于所述腔室31底部的收集槽、以及与所述喷淋头、所述收集槽均连通的外部喷淋液管路，通过所述喷淋头对所述玻璃加工治具4上的玻璃喷淋喷淋液从而实现玻璃的减薄处理，所述收集槽收集减薄处理后的喷淋液并传输至所述喷淋液管路从所述腔室31内排出。在经历过减薄处理的玻璃从所述转换区1被卸载之后，将容纳玻璃的下一个玻璃加工治具4通过所述转换区1加载到所述腔室31中并且如上所述经历减薄处理。通过以上操作，玻璃顺序地经历减薄处理。值得指出的是，通过所述主厚度测量仪32测量在所述蚀刻区3中经历过减薄处理的所述玻璃厚度达到指定尺寸后再通过所述传输组件将玻璃卸载到所述腔室31外部。具体地。

    即两所述侧板422之间设置有一排所述固定板423，从而形成对应设置有所述侧支撑件44的所述竖直平板421，在各所述放置部内放置有一排玻璃，可实现所述放置部结构的小型化，便于在同一所述玻璃加工治具4上设置若干所述放置部以使各所述放置部对应不同尺寸的玻璃。图4为所述调节槽的另一种实施方式，所述调节槽包括若干所述水平槽424和与所述水平槽424均竖直贯通连接的所述竖直槽425，所述固定槽426设置于所述水平槽424的下边缘；两所述竖直平板421均设置有所述侧支撑件44，同一所述水平槽424可设置两个所述固定卡块427，即两所述侧板422之间设置有两排所述固定板423，两所述固定板423分别对应两所述竖直平板421，使在同一所述放置部内分割处两个放置空间，从而在各所述放置部内可放置两排玻璃，便于节省所述玻璃加工治具4上的有限空间，可大尺寸玻璃和小尺寸玻璃配合设置于同一所述放置部内。较佳的，两相邻所述水平槽424之间还设置有至少两个定位槽428，所述固定板423两端设置有定位孔429，当所述固定卡块427设置于所述固定槽426内时，所述定位槽428和所述定位孔429位置对应；通过将螺钉穿过所述固定槽426螺纹固定在所述定位孔429中，保证所述固定卡块427在所述固定槽426内。去除多余涂层，选择减薄用清洗剂，效果好。

    所述支撑条431和所述第二支撑条432一一平行对应设置，所述连接部433活动连接所述支撑条431和所述第二支撑条432，所述支撑条431固定设置于所述底座41上，所述接触部434均匀设置在所述第二支撑条432上。同时可通过设置所述支撑条431的高度或所述支撑条431的固定位置从而调节所述底支撑件43的高度，如通过将上述支撑条431的两端固定在两所述竖直平板421上。较佳的，所述支撑条431和所述第二支撑条432上设置有磁性组，所述支撑条431和所述第二支撑条432在所述磁性组提供的磁性斥力作用下具有调节间隙。所述磁性组包括磁性件435和第二磁性件436，所述磁性件435和所述第二磁性件436分别设置于所述支撑条431和所述第二支撑条432上，且所述磁性件435和所述第二磁性件436之间具有磁性斥力，从而使所述第二支撑条432悬浮于所述支撑条431的上方。所述连接部433设置有限位孔437，所述限位孔437设置为腰型孔，所述支撑条431的水平两侧均设置有若干限位块438，所述第二支撑条432的水平两侧均设置有若干第二限位块439，所述限位块438和所述第二限位块439一一对应设置，对应设置的所述限位块438和所述第二限位块439均设置在同一所述连接部433的所述限位孔437内。减薄清洗剂，轻松解决涂层过厚问题，让您的产品更好。台州哪家减薄用清洗剂主要作用

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    所述控制器控制所述玻璃加工治具4在所述蚀刻区3内作往复移动，所述主厚度测量仪32测量玻璃厚度并且将关于测得厚度的信息实时发送到所述控制器；当测得玻璃厚度达到预设目标厚度时，所述控制器停止在所述蚀刻区3中喷射喷淋液的减薄处理，并且控制所述玻璃加工治具4向所述冲洗区2移动。一般的，在所述腔室31内，减薄处理的具体工艺参数为：所述玻璃加工治具4的往复运动中单程单向时间设置为～4s，来回往复一次时间设置为3s～8s，往复移动幅度设置约为180mm左右；所述喷淋系统控制的喷淋液流量设置为1500lpm～2400lpm，在所述腔室31内的酸蚀温度一般设置为20℃～40℃；在上述参数下，玻璃的酸蚀速率一般在μm/min～μm/min，可有效实现对玻璃的整体减薄处理。s2，完成减薄处理的所述玻璃加工治具4在所述冲洗区2内经减薄后初清洗后待机，所述控制器进行次减薄厚度确认操作；具体的，通过设置于所述冲洗区2内的所述辅助厚度测量仪，进行检测厚度比较，从而实现所述减薄厚度确认操作，当所述减薄厚度未达到目标厚度时，所述控制器可控制所述玻璃加工治具4再次回撤至所述腔室31内进行再次减薄处理。s3，所述玻璃加工治具4移动至所述第三冲洗区2进行减薄后终清洗。绍兴哪家减薄用清洗剂厂家现货